CN213086099U - 一种pvd镀膜基材承载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种PVD镀膜基材承载装置，涉及PVD镀膜领域，包括装置主体，装置主体的顶部两侧均开设有滑槽，滑槽的内部连接有滑块。本实用新型通过设置有齿条、齿轮、转轴、转盘、滑块、支撑架、滑槽和转柄，当需要调节承载板的位置以便放置不同宽度的基材时，使用者通过转柄转动转盘，转盘转动带动转轴转动，转轴转动带动齿轮转动，齿轮转动以带动齿条移动，齿条移动带动承载板移动，承载板移动带动滑块和支撑架在滑槽内滑动，进而可调节承载板的间距，而由于夹持结构位于承载板上，承载板移动会带动夹持结构移动，从而调节夹持结构的位置，以便不同长度的基材可以放置在承载板上，并被夹持结构夹紧，进而提高了夹持结构的夹持范围。
Description
技术领域
本实用新型涉及PVD镀膜领域，具体为一种PVD镀膜基材承载装置。
背景技术
PVD是英文Physical Vapor Deposition(物理气相沉积)的缩写，指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程；一般在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在基材表面上。
一般的PVD镀膜设备中，基板承载装置包括基板载体和用于固定基板载体的夹持机构，当待镀膜基板需要固定在基板载体上时，夹持机构与基板载体接触而固定基板载体，避免基板载体带动基板一起晃动和位移，然后基板载体在载有待镀膜基板的情况下运行至进行PVD镀膜的工位进行镀膜，或者当已镀膜完毕的基板需要自基板载体上拿下时，夹持机构也要与基板载体接触而固定基板载体，避免基板载体带动基板一起晃动和位移。
根据公开号为CN209144251U的中国专利公开了一种PVD镀膜基材承载装置，包括夹持机构、真空吸附装置和用于承载基材的基材载体，基材载体竖向设置，夹持机构位于基材载体侧方并用于固定基材载体，真空吸附装置设置在夹持机构下方，且真空吸附装置用于吸附由基材载体上掉下的颗粒。
该实用新型提供的PVD镀膜基材承载装置能够提高PVD镀膜产品良率；但该承载装置上的夹持机构是固定不便的，而由于在对基材进行镀膜时，基材的长度可能会不同，当需要对较长或较短的基材进行镀膜时，由于无法移动夹持机构，导致夹持机构难以对基材进行夹持固定，进而使得其在镀膜过程中可能会发生移动，并影响基材的镀膜效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：为了解决不便对夹持机构进行位置调节的问题，提供一种PVD镀膜基材承载装置。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PVD镀膜基材承载装置，包括装置主体，所述装置主体的顶部两侧均开设有滑槽，所述滑槽的内部连接有滑块，所述滑块的顶部固定有支撑架，所述支撑架的顶部安装有承载板，所述承载板的内部安装有多个轴承，多个所述轴承的内部均连接有螺杆，所述螺杆的外表面套接有螺纹套，所述螺纹套的底部安装有挤压垫，所述螺杆的顶端固定有限位块，所述承载板的底部固定有齿条，所述装置主体的内部两侧均通过转轴连接有齿轮，所述转轴的外表面套接有转盘，所述转盘的一侧固定有转柄。
优选地，所述齿轮与齿条均设置有两个，所述齿条与齿轮相啮合。
优选地，多个所述螺纹套等距分布于承载板的上方，且所述螺纹套与螺杆螺纹连接。
优选地，所述承载板通过支撑架和滑块与滑槽滑动连接，且所述承载板的顶部光滑。
优选地，所述挤压垫的直径小于螺纹套的直径，且所述挤压垫采用橡胶材料制作而成。
优选地，所述齿轮通过转轴与装置主体转动连接。
优选地，所述转柄的外表面套接有防滑套。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过设置有齿条、齿轮、转轴、转盘、滑块、支撑架、滑槽和转柄，当需要调节承载板的位置以便放置不同宽度的基材时，使用者通过转柄转动转盘，转盘转动带动转轴转动，转轴转动带动齿轮转动，齿轮转动以带动齿条移动，齿条移动带动承载板移动，承载板移动带动滑块和支撑架在滑槽内滑动，进而可调节承载板的间距，而由于夹持结构位于承载板上，承载板移动会带动夹持结构移动，从而调节夹持结构的位置，以便不同长度的基材可以放置在承载板上，并被夹持结构夹紧，进而提高了夹持结构的夹持范围，使得使用者能够将不同长度的基材放置在承载板上，同时防止了基材在承载板上移动，并提高后续基材的镀膜效率。
附图说明
图1为本实用新型的装置主体正面结构示意图；
图2为本实用新型的装置主体正剖结构示意图；
图3为本实用新型的承载板正剖结构示意图；
图4为本实用新型的承载板俯视局部结构示意图。
图中：1、装置主体；2、承载板；3、螺纹套；4、限位块；5、挤压垫；6、螺杆；7、齿条；8、支撑架；9、转柄；10、转轴；11、齿轮；12、滑槽；13、滑块；14、轴承；15、转盘。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
请参阅图1-4，一种PVD镀膜基材承载装置，包括装置主体1、承载板2、螺纹套3、限位块4、挤压垫5、螺杆6、齿条7、支撑架8、转柄9、转轴10、齿轮11、滑槽12、滑块13、轴承14和转盘15，装置主体1的顶部两侧均开设有滑槽12，滑槽12的内部连接有滑块13，滑块13的顶部固定有支撑架8，支撑架8的顶部安装有承载板2，承载板2的内部安装有多个轴承14，多个轴承14的内部均连接有螺杆6，螺杆6的外表面套接有螺纹套3，螺纹套3的底部安装有挤压垫5，螺杆6的顶端固定有限位块4，承载板2的底部固定有齿条7，装置主体1的内部两侧均通过转轴10连接有齿轮11，转轴10的外表面套接有转盘15，转盘15的一侧固定有转柄9。
请着重参阅图1-4，齿轮11与齿条7均设置有两个，齿条7与齿轮11相啮合，齿轮11转动的时候可带动齿条7移动，齿条7移动带动承载板2移动，进而可调节承载板2的位置；多个螺纹套3等距分布于承载板2的上方，且螺纹套3与螺杆6螺纹连接，方便调节螺纹套3的位置，且螺纹套3可压住基材，防止基材随意移动。
请着重参阅图1-4，承载板2通过支撑架8和滑块13与滑槽12滑动连接，且承载板2的顶部光滑，支撑架8可对承载板2起到支撑作用，同时承载板2移动可带动支撑架8和滑块13在滑槽12内移动；挤压垫5的直径小于螺纹套3的直径，且挤压垫5采用橡胶材料制作而成，挤压垫5可压住基材，防止基材表面磨损。
请着重参阅图1-2，齿轮11通过转轴10与装置主体1转动连接，以使转轴10转动的时候带动齿轮11转动；转柄9的外表面套接有防滑套，方便使用者通过转柄9转动转盘15。
工作原理：首先，当需要调节承载板2的位置以便放置不同宽度的基材时，使用者通过转柄9转动转盘15，转盘15转动带动转轴10转动，转轴10转动带动齿轮11转动，齿轮11转动以带动齿条7移动，齿条7移动带动承载板2移动，承载板2移动带动滑块13和支撑架8在滑槽12内滑动，进而可调节承载板2的间距，而由于螺纹套3位于位于承载板2上，承载板2移动会带动螺纹套3移动，然后使用者将基材放置于承载板2上，并通过旋转螺纹套3，螺纹套3下移可对基材的四周进行夹持，以对基材进行固定，防止基材移动。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种PVD镀膜基材承载装置，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）的顶部两侧均开设有滑槽（12），所述滑槽（12）的内部连接有滑块（13），所述滑块（13）的顶部固定有支撑架（8），所述支撑架（8）的顶部安装有承载板（2），所述承载板（2）的内部安装有多个轴承（14），多个所述轴承（14）的内部均连接有螺杆（6），所述螺杆（6）的外表面套接有螺纹套（3），所述螺纹套（3）的底部安装有挤压垫（5），所述螺杆（6）的顶端固定有限位块（4），所述承载板（2）的底部固定有齿条（7），所述装置主体（1）的内部两侧均通过转轴（10）连接有齿轮（11），所述转轴（10）的外表面套接有转盘（15），所述转盘（15）的一侧固定有转柄（9）。
2.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：所述齿轮（11）与齿条（7）均设置有两个，所述齿条（7）与齿轮（11）相啮合。
3.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：多个所述螺纹套（3）等距分布于承载板（2）的上方，且所述螺纹套（3）与螺杆（6）螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：所述承载板（2）通过支撑架（8）和滑块（13）与滑槽（12）滑动连接，且所述承载板（2）的顶部光滑。
5.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：所述挤压垫（5）的直径小于螺纹套（3）的直径，且所述挤压垫（5）采用橡胶材料制作而成。
6.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：所述齿轮（11）通过转轴（10）与装置主体（1）转动连接。
7.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜基材承载装置，其特征在于：所述转柄（9）的外表面套接有防滑套。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114438492A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-06 | 常州美炬工具技术有限公司 | 一种用于纳米涂层刀具镀膜加工的推移调节式夹持组件 |
-
2020
- 2020-09-11 CN CN202021984881.2U patent/CN213086099U/zh not_active Expired - Fee Related
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