CN213026053U - 一种半导体晶圆快速贴膜台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体，贴膜装置本体的顶部安装有工作台，工作台的四个拐角处均安装有第二液压缸，第二液压缸的顶部安装有顶板，顶板的底端中部安装有第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆的底部安装有压板，顶板的底部安装有玻璃外罩，玻璃外罩的底部安装有密封垫，玻璃外罩的内部一侧安装有膜带释放装置，玻璃外罩的内部另一侧安装有膜带收缴装置，工作台的顶部两侧均设有伸缩杆安装槽，该贴膜台整体稳定性能强，可以快速移动到合适的位置，灵活性强，可以快速对半导体晶圆进行固定，可以实现自动贴膜，可以对半导体晶圆上的灰尘进行清理，贴膜的时候还能提供照明，便于操作者使用。

Description

一种半导体晶圆快速贴膜台

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，具体为一种半导体晶圆快速贴膜台。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。半导体的应用十分广泛，在半导体加工的时候需要对半导体晶圆进行贴膜，现有的贴膜台功能比较单一，灵活性差，不能对半导体晶圆进行快速固定，不能对半导体晶圆上的灰尘进行自动清理，不能实现自动贴膜，贴膜的时候容易进入灰尘，降低贴膜效率和质量，而且现有的半导体晶圆贴膜台稳定性能差，不方便人们使用。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种半导体晶圆快速贴膜台，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体，所述贴膜装置本体的顶部安装有工作台，所述工作台的四个拐角处均安装有第二液压缸，所述第二液压缸的顶部安装有顶板，所述顶板的底端中部安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的底部安装有压板，所述顶板的底部安装有玻璃外罩，所述玻璃外罩的底部安装有密封垫，所述玻璃外罩的内部一侧安装有膜带释放装置，所述玻璃外罩的内部另一侧安装有膜带收纳装置，所述工作台的顶部两侧均设有伸缩杆安装槽，所述伸缩杆安装槽内安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的一端安装有半导体固定板，所述半导体固定板的顶部安装有热风机，所述热风机的顶部安装有热风管，所述贴膜装置本体的底部四个拐角处均安装有脚刹式滚轮，所述贴膜装置本体的底部两侧均安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部安装有支撑板，所述第一液压缸的一侧安装有液压油泵和液压油箱，所述贴膜装置本体上还安装有电源开关，所述玻璃外罩的顶部和背面均安装有照明灯板，所述膜带释放装置和膜带收纳装置上均设有滚筒，所述滚筒上连接有膜带，所述膜带收纳装置的一端安装有电机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述膜带释放装置和膜带收纳装置均通过螺栓安装在玻璃外罩的内部两侧上，所述滚筒通过轴承分别与膜带释放装置和膜带收纳装置固定相连，所述电机的转轴与膜带收纳装置上的滚筒固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一液压缸通过螺栓安装在贴膜装置本体的底部固定架上，所述支撑板通过螺栓安装在第一液压缸的底部上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二液压缸通过螺栓安装在工作台的四个拐角处，所述顶板与第二液压缸通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一电动伸缩杆通过螺栓安装在顶板的底部上，所述压板通过螺栓安装在第一电动伸缩杆的底部上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压油泵通过液压油管分别与第一液压缸、第二液压缸和液压油箱相连，液压油管与第一液压缸和第二液压缸的连接处安装有电磁阀。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二电动伸缩杆通过螺栓安装在工作台顶部的伸缩杆安装槽内，所述半导体固定板与第二电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述热风机通过螺栓安装在半导体固定板上，所述热风机内安装有风机和电热丝。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电源开关分别与液压油泵、电磁阀、第一电动伸缩杆、照明灯板、第二电动伸缩杆、热风机和电机电性连接。

本实用新型的有益效果是：该贴膜台整体稳定性能强，可以快速移动到合适的位置，灵活性强，可以快速对半导体晶圆进行固定，可以实现自动贴膜，可以对半导体晶圆上的灰尘进行清理，贴膜的时候还能提供照明，便于操作者使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型工作台的俯视图；

图3为本实用新型膜带的俯视图。

图中：1、贴膜装置本体，2、工作台，3、第一液压缸，4、支撑板，5、液压油泵，6、液压油箱，7、电源开关，8、脚刹式滚轮，9、第二液压缸，10、顶板，11、照明灯板，12、压板，13、第一电动伸缩杆，14、膜带，15、膜带释放装置，16、膜带收纳装置，17、玻璃外罩，18、第二电动伸缩杆，19、半导体固定板，20、热风机，21、热风管，22、密封垫，23、电机，24、滚筒。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体1，贴膜装置本体1的顶部安装有工作台2，工作台2的四个拐角处均安装有第二液压缸9，第二液压缸9的顶部安装有顶板10，顶板10的底端中部安装有第一电动伸缩杆13，第一电动伸缩杆13的底部安装有压板12，顶板10的底部安装有玻璃外罩17，玻璃外罩17的底部安装有密封垫22，玻璃外罩17的内部一侧安装有膜带释放装置15，玻璃外罩17的内部另一侧安装有膜带收纳装置16，工作台2的顶部两侧均设有伸缩杆安装槽，伸缩杆安装槽内安装有第二电动伸缩杆18，第二电动伸缩杆 18的一端安装有半导体固定板19，半导体固定板19的顶部安装有热风机20，热风机20的顶部安装有热风管21，贴膜装置本体1的底部四个拐角处均安装有脚刹式滚轮8，贴膜装置本体1的底部两侧均安装有第一液压缸3，第一液压缸3的底部安装有支撑板4，第一液压缸3的一侧安装有液压油泵5和液压油箱6，贴膜装置本体1上还安装有电源开关7，玻璃外罩17的顶部和背面均安装有照明灯板11，膜带释放装置15和膜带收纳装置16上均设有滚筒24，滚筒24上连接有膜带14，膜带收纳装置16的一端安装有电机23。

膜带释放装置15和膜带收纳装置16均通过螺栓安装在玻璃外罩 17的内部两侧上，滚筒24通过轴承分别与膜带释放装置15和膜带收纳装置16固定相连，电机23的转轴与膜带收纳装置16上的滚筒 24固定相连。

第一液压缸3通过螺栓安装在贴膜装置本体1的底部固定架上，支撑板4通过螺栓安装在第一液压缸3的底部上。

第二液压缸9通过螺栓安装在工作台2的四个拐角处，顶板10 与第二液压缸9通过螺栓固定相连。

第一电动伸缩杆13通过螺栓安装在顶板10的底部上，压板12 通过螺栓安装在第一电动伸缩杆13的底部上。

液压油泵5通过液压油管分别与第一液压缸3、第二液压缸9和液压油箱6相连，液压油管与第一液压缸3和第二液压缸9的连接处安装有电磁阀。

第二电动伸缩杆18通过螺栓安装在工作台2顶部的伸缩杆安装槽内，半导体固定板19与第二电动伸缩杆18通过螺栓固定相连，热风机20通过螺栓安装在半导体固定板19上，热风机20内安装有风机和电热丝。

电源开关7分别与液压油泵5、电磁阀、第一电动伸缩杆13、照明灯板11、第二电动伸缩杆18、热风机20和电机23电性连接，通过电源开关7分别接通液压油泵5、电磁阀、第一电动伸缩杆13、照明灯板11、第二电动伸缩杆18、热风机20和电机23的电源，使其通电工作。

工作原理：一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体1，使用的时候，通过将半导体晶圆放入到工作台2的顶部上，通过电源开关7接通第二电动伸缩杆18的电源，让第二电动伸缩杆18制动推动半导体固定板19移动，利用半导体固定板19对半导体晶圆进行固定，通过接通液压油泵5的电源，让液压油泵5给第一液压缸3供油，从而利用第一液压缸3将支撑板4伸出，让支撑板4接触到地面上，利用接通热风机20的电源，让热风机20内的风机和电热丝通电工作，将电热丝上的热量通过热风管21吹出到半导体晶圆上，对半导体晶圆上的灰尘进行吹走，然后利用液压油泵5将第二液压缸9内的液压油抽吸到液压油箱6内，让顶板10缓缓下降，从而让玻璃外罩17罩住工作台2，接通第一电动伸缩杆13的电源，让第一电动伸缩杆13 制动从而推动压板12移动，让压板12压住膜带14上的膜片，然后接通膜带收纳装置16上的电机23电源，让电机23制动带动滚筒24 旋转，从而将膜带14卷取，让膜带14上的膜片贴在半导体晶圆上，实现快速贴膜，灵活性强，便于人们使用。

该贴膜台整体稳定性能强，可以快速移动到合适的位置，灵活性强，可以快速对半导体晶圆进行固定，可以实现自动贴膜，可以对半导体晶圆上的灰尘进行清理，贴膜的时候还能提供照明，便于操作者使用。

上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体(1)，其特征在于：所述贴膜装置本体(1)的顶部安装有工作台(2)，所述工作台(2)的四个拐角处均安装有第二液压缸(9)，所述第二液压缸(9)的顶部安装有顶板(10)，所述顶板(10)的底端中部安装有第一电动伸缩杆(13)，所述第一电动伸缩杆(13)的底部安装有压板(12)，所述顶板(10)的底部安装有玻璃外罩(17)，所述玻璃外罩(17)的底部安装有密封垫(22)，所述玻璃外罩(17)的内部一侧安装有膜带释放装置(15)，所述玻璃外罩(17)的内部另一侧安装有膜带收纳装置(16)，所述工作台(2)的顶部两侧均设有伸缩杆安装槽，所述伸缩杆安装槽内安装有第二电动伸缩杆(18)，所述第二电动伸缩杆(18)的一端安装有半导体固定板(19)，所述半导体固定板(19)的顶部安装有热风机(20)，所述热风机(20)的顶部安装有热风管(21)，所述贴膜装置本体(1)的底部四个拐角处均安装有脚刹式滚轮(8)，所述贴膜装置本体(1)的底部两侧均安装有第一液压缸(3)，所述第一液压缸(3)的底部安装有支撑板(4)，所述第一液压缸(3)的一侧安装有液压油泵(5)和液压油箱(6)，所述贴膜装置本体(1)上还安装有电源开关(7)，所述玻璃外罩(17)的顶部和背面均安装有照明灯板(11)，所述膜带释放装置(15)和膜带收纳装置(16)上均设有滚筒(24)，所述滚筒(24)上连接有膜带(14)，所述膜带收纳装置(16)的一端安装有电机(23)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述膜带释放装置(15)和膜带收纳装置(16)均通过螺栓安装在玻璃外罩(17)的内部两侧上，所述滚筒(24)通过轴承分别与膜带释放装置(15)和膜带收纳装置(16)固定相连，所述电机(23) 的转轴与膜带收纳装置(16)上的滚筒(24)固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述第一液压缸(3)通过螺栓安装在贴膜装置本体(1)的底部固定架上，所述支撑板(4)通过螺栓安装在第一液压缸(3)的底部上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述第二液压缸(9)通过螺栓安装在工作台(2)的四个拐角处，所述顶板(10)与第二液压缸(9)通过螺栓固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述第一电动伸缩杆(13)通过螺栓安装在顶板(10)的底部上，所述压板(12)通过螺栓安装在第一电动伸缩杆(13)的底部上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述液压油泵(5)通过液压油管分别与第一液压缸(3)、第二液压缸(9)和液压油箱(6)相连，液压油管与第一液压缸(3)和第二液压缸(9)的连接处安装有电磁阀。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述第二电动伸缩杆(18)通过螺栓安装在工作台(2)顶部的伸缩杆安装槽内，所述半导体固定板(19)与第二电动伸缩杆(18)通过螺栓固定相连，所述热风机(20)通过螺栓安装在半导体固定板(19)上，所述热风机(20)内安装有风机和电热丝。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速贴膜台，其特征在于：所述电源开关(7)分别与液压油泵(5)、电磁阀、第一电动伸缩杆(13)、照明灯板(11)、第二电动伸缩杆(18)、热风机(20)和电机(23)电性连接。

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