CN212960913U - 供液装置 - Google Patents

Abstract

该实用新型涉及供液装置，能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度，提升传输的稳定性，提升使用效果。为解决上述技术问题，以下提供了一种供液装置，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

Description

供液装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆的生产加工领域，具体涉及一种供液装置。

背景技术

在半导体工业中，经常需要使用到液体化学品，也经常需要将液体化学品从供液机台运送到需要液体化学品的目标机台。

在进行液体化学品的运输时，很容易出现液体化学品的流量测量不准确的问题，并且往往在液体化学品的传输过程中，容易出现传输不稳定、使用效果不佳的问题，这还有可能会影响到目标机台的晶圆处理速度以及效果，影响晶圆加工的良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种供液装置，能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度，提升传输的稳定性，提升使用效果。

为解决上述技术问题，以下提供了一种供液装置，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

可选的，所述目标机台包括排液管路，一端连通至所述目标机台，一端连通至外界，所述排泡管路连通至所述排液管路，从而连通至外界。

可选的，还包括供液泵，设置于所述供液管路上，用于将所述供液箱内的液体化学品输送至所述目标机台。

可选的，还包括第一阀门，所述第一阀门设置于所述排泡管路，用于控制所述排泡管路的导通情况。

可选的，所述供液箱还包括控制器，所述控制器分别连接至所述供液泵与所述第一阀门，用于控制所述供液泵和所述第一阀门的工作状态。

可选的，还包括冷凝器，设置于所述排泡管路上，用于对流经所述排泡管路的液体化学品进行降温，且所述冷凝器连接至所述控制器，由所述控制器控制所述冷凝器的工作状态。

可选的，还包括流量计，设置于所述供液管路上，用于检测流经所述供液管路的液体化学品的流量。

可选的，所述目标机台包括第二阀门，用于控制所述供液管路与所述目标机台之间的连通情况。

可选的，包括第一信号连接线，一端连接至所述供液箱，另一端用于连接至所述目标机台，以将所述目标机台的要液信号和所述第二阀门的工作状态传输至所述供液箱。

可选的，还包括第二信号连接线，一端连接至所述供液箱，另一端分别连接至所述第一阀门和冷凝器，用于发送控制信号至所述第一阀门和所述冷凝器，控制所述第一阀门和所述冷凝器的工作状态。

本实用新型的供液装置由于具有排泡管路，能够在供液过程中将液体化学品内的气泡排出，简单方便，能够有效的解决液体化学品中的气泡对液体化学品的使用和传输以及流量测量准确度产生影响的问题。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中供液装置的结构示意图。

图2为本实用新型的一个实施例中的供液装置的应用流程示意图。

具体实施方式

研究发现，液体化学品的流量测量准确度不高、传输不稳定、使用效果不佳的原因在于，液体化学品中存在较多的气泡，这些气泡会对液体化学品的流量测量准确度、稳定传输和使用效果造成不良影响。

并且，对于本身含有较多气泡的液体化学品，在引入所述目标机台进行使用前，并没有配备普适性的持续排泡措施，在液体化学品供应柜和目标机台相距较远时，往往采用供应泵将液体化学品从供液机台运输到目标机台，供液泵的运行压力大，转速高，在运输过程中会反复敲击液体化学品，造成液体化学品内的气泡破裂、扩散，影响流量计的测量，从而进一步影响化学品的稳定传输和使用效果。

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种供液装置作进一步详细说明。

请参阅图1，为本实用新型的一种具体实施方式中供液装置的结构示意图。

在该具体实施方式中，提供了一种供液装置，包括：供液箱102，用于提供待运送的液体化学品；供液管路103，用于连通所述供液箱102以及目标机台101，以将所述供液箱102内的液体化学品运输到所述目标机台101；排泡管路104，一端连通至所述供液管路103，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路103内运输的液体化学品内的气泡。

在该具体实施方式中，所述供液装置具有排泡管路104，能够在供液过程中将所述液体化学品中包含的气泡排除掉，有利于液体化学品的后续使用。

在一种具体实施方式中，所述目标机台101包括排液管路107，一端连通至所述目标机台101，一端连通至外界，所述排泡管路104连通至所述排液管路107，从而连通至外界。所述目标机台101的排液管路107是用来排出所述目标机台101内的液体化学品或者反应废料等的，将排液管路107设置成连通至外界，并将所述排泡管路104设置成连通至所述排液管路107，使得无需再为所述排泡管路104提供一额外的连通至外界的端口，有助于简化排泡管路104的结构。

在一种具体实施方式中，还包括供液泵108，设置于所述供液管路103上，用于将所述供液箱102内的液体化学品输送至所述目标机台101。所述供液泵108能够在供液管路103较长时将所述液体化学品输送至所述目标机台101内。并且，在所述供液管路103的长度较大时，甚至可以设置一个以上的所述供液泵108，以使得所述供液箱102内的液体化学品能够被输送的足够远。

在一种具体实施方式中，还包括第一阀门105，所述第一阀门105设置于所述排泡管路104，用于控制所述排泡管路104的导通情况。通过设置所述第一阀门105，可以在不需要进行排泡时关断所述排泡管路104，防止过多的液体化学品通过所述排泡管路104排出至外界，加大液体化学品的用量。

在一种具体实施方式中，所述供液箱102还包括控制器，所述控制器分别连接至所述供液泵108与所述第一阀门105，用于控制所述供液泵108和所述第一阀门105的工作状态。在一种具体实施方式中，所述控制器可由可编程逻辑器件、微控制器、单片机等中的至少一种来实现。由于设置了所述控制器，所述供液箱102可以对来源于所述目标机台101的要液信号进行判断，使得所述供液装置能够在供液之前排出一些气泡。

具体的，所述目标机台101在要液时，会给出要液信号。所述控制器一旦获取该要液信号，就可以控制所述第一阀门105先打开，由所述排液管路107先对预输送至所述目标机台101的液体化学品进行气泡的排出。

实际上，为了实现上述功能，所述控制器还应该要获取所述目标机台101的状态数据。在一种具体实施方式中，所述目标机台101包括第二阀门，用于控制所述供液管路103与所述目标机台101之间的连通情况。在一种更优的具体实施方式中，在使用所述供液装置时，所述控制器连接到所述目标机台101的控制端，获取所述第二阀门的开闭状态，在所述第二阀门预备打开时，所述控制器先控制所述第一阀门105打开，以及控制所述供液箱102内的液体化学品流入至所述供液管路103内。由于所述排泡管路104直接和目标机台101的排液管路107连通，排泡管路104内的压力小于供液管路103内的压力，故气泡容易从排泡管路104内排出。这样，能够减少由所述供液管路103输送到所述目标机台101的液体化学品中的气泡，改善供应到目标机台101的化学品质量，减少由气泡引起的产品缺陷。

在一种具体实施方式中，所述供液管路103还包括流量计，所述流量计设置于所述供液管路103上，用于检测流经所述供液管路103的液体化学品的流量。在一些具体实施方式中，所述流量计设置在所述供液管路103靠近目标机台101的一端，用于计量流入至所述目标机台101的液体化学品的量。由于所述供液装置具有所述排泡管路104，能够减少供液管路103内流过的液体化学品中的气泡，因此流过所述流量计的液体中气泡的含量也降低，这有助于所述流量计的稳定运行，减少由于流量计的不稳定运行而导致的机台停运。

在一种具体实施方式中，所述控制器利用反馈控制方法将流量控制在一定的范围(SPEC，Specification)内。

在一种具体实施方式中，所述流量计与所述控制器相连接，由所述控制器根据所述流量计的计量结果控制流入至所述供液管路103的液体化学品的量。这是一个由控制器、供液泵108和流量计构成的反馈回路，所述控制器控制所述供液泵108将供液箱102内的液体化学品泵入所述供液管路103，所述流量计在所述供液管路103上检测流经所述供液管路103的液体化学品的流量，并将检测结果反馈给所述控制器，由所述控制器根据检测结果控制所述供液泵108的工作状态，从而使得泵入至所述目标机台101的液体化学品的量符合需求，不产生浪费。

需要注意的是，所述流量计设置在所述排泡管路104与所述供液管路103的连通口与所述目标机台101之间，计量的是经过了排泡管路104后流入至所述目标机台101的液体化学品的流量。

由于可能需要对高于常温的液体化学品进行排泡，因此，在一种具体实施方式中，所述供液装置还包括冷凝器106，设置于所述排泡管路104上，用于对流经所述排泡管路104的液体化学品进行降温，且所述冷凝器106连接至所述控制器，由所述控制器控制所述冷凝器106的工作状态。

在一种具体实施方式中，所述供液装置还包括第一信号连接线，所述第一信号连接线的一端连接至所述供液箱102，另一端用于连接至所述目标机台101，以将所述目标机台101的要液信号和所述第二阀门的工作状态传输至所述供液箱102，以便所述供液箱102根据所述要液信号和所述第二阀门的工作状态进行相应的工业处理。

在一种具体实施方式中，所述供液装置还包括第二信号连接线，所述第二信号连接线一端连接至所述供液箱102，另一端分别连接至所述第一阀门105和冷凝器106，用于发送控制信号至所述第一阀门105和所述冷凝器106，控制所述第一阀门105和所述冷凝器106的工作状态。

请看图2，在图2所示的具体实施方式中，采用所述供液装置给待处理的晶圆提供酸溶液。

在图2所示的实施例中，包括以下步骤：(1)将晶圆放入目标机台101，所述目标机台101朝向所述供液装置发送要酸信号；(2)所述供液箱102的控制器获取该要酸信号，并根据该要酸信号控制所述供液泵108工作，所述供液泵108根据该供液管路103内的流量情况调整供液量，实时调整所述供液管路103压力；(3)供液箱102发信号给所述排泡管路104上的第一阀门105和冷凝器106，开始排泡；(4)供液装置到目标机台101之间的各个阀门都打开，流量计检测流量；(5)目标机台101开始执行工艺步骤，直至工艺完成，所述控制器控制所述供液泵108停止工作，并控制各个阀门关闭。

需要注意的是，所述流量计检测到的流量被所述控制器获取后，所述控制器利用反馈控制方法将流量控制在一定的范围(SPEC，Specification)内，调整所述供液泵108输送的液体化学品的流量。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种供液装置，其特征在于，包括：

供液箱，用于提供待运送的液体化学品；

供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；

排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

2.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述目标机台包括排液管路，一端连通至所述目标机台，一端连通至外界，所述排泡管路连通至所述排液管路，从而连通至外界。

3.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，还包括供液泵，设置于所述供液管路上，用于将所述供液箱内的液体化学品输送至所述目标机台。

4.根据权利要求3所述的供液装置，其特征在于，还包括第一阀门，所述第一阀门设置于所述排泡管路，用于控制所述排泡管路的导通情况。

5.根据权利要求4所述的供液装置，其特征在于，所述供液箱还包括控制器，所述控制器分别连接至所述供液泵与所述第一阀门，用于控制所述供液泵和所述第一阀门的工作状态。

6.根据权利要求5所述的供液装置，其特征在于，还包括冷凝器，设置于所述排泡管路上，用于对流经所述排泡管路的液体化学品进行降温，且所述冷凝器连接至所述控制器，由所述控制器控制所述冷凝器的工作状态。

7.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，还包括流量计，设置于所述供液管路上，用于检测流经所述供液管路的液体化学品的流量。

8.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述目标机台包括第二阀门，用于控制所述供液管路与所述目标机台之间的连通情况。

9.根据权利要求8所述的供液装置，其特征在于，包括第一信号连接线，一端连接至所述供液箱，另一端用于连接至所述目标机台，以将所述目标机台的要液信号和所述第二阀门的工作状态传输至所述供液箱。

10.根据权利要求6所述的供液装置，其特征在于，还包括第二信号连接线，一端连接至所述供液箱，另一端分别连接至所述第一阀门和冷凝器，用于发送控制信号至所述第一阀门和所述冷凝器，控制所述第一阀门和所述冷凝器的工作状态。

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