CN212883957U

CN212883957U - 一种长筒遮板化学除膜槽

Info

Publication number: CN212883957U
Application number: CN202021227051.5U
Authority: CN
Inventors: 刘得志
Original assignee: Dongguan Shiping Photoelectric Technology Co ltd
Current assignee: Dongguan Shiping Photoelectric Technology Co ltd
Priority date: 2020-06-29
Filing date: 2020-06-29
Publication date: 2021-04-06
Anticipated expiration: 2030-06-29

Abstract

本实用新型公开了一种长筒遮板化学除膜槽，包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件；所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁；所述药水排放口设置于所述槽体内底部；所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片；所述电机设置于所述槽体外侧；所述主传动轴与所述电机的输出端相接，并向下延伸至所述槽体内底部；所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接，并横设于所述槽体内的底部；所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上；所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架；所述旋转轴与所述主传动轴传动连接，并位于所述搅拌轴的上方；所述安装支架与所述旋转轴相接，用于装配长筒遮板；本实用新型具有药水用量少，降低生产成本的优点。

Description

一种长筒遮板化学除膜槽

技术领域

本实用新型设涉及化学除膜装置技术领域，特别涉及一种长筒遮板化学除膜槽。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命。清洗的工艺包括有化学试剂清洗，其需要根据不同的遮板基材以及基材上不同种类的镀膜来调配药水，并将遮板浸泡于调配药水中洗去镀膜。现有是将遮板、调配药水放置于化学池中进行浸泡，药水要完全覆盖遮板，当遮板为长筒形状时，因长筒的内侧为空心结构，药水完全覆盖遮板时将会使用过多的药水，这将导致药水利用率不高，单次清洗成本高，也不符合当前社会对环保的需求。因此，需要对现有用于浸泡遮板的化学池进行改进，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种长筒遮板化学除膜槽，以解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种长筒遮板化学除膜槽，包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件；所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁；所述药水排放口设置于所述槽体内底部；所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片；所述电机设置于所述槽体外侧；所述主传动轴与所述电机的输出端相接，并向下延伸至所述槽体内底部；所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接，并横设于所述槽体内的底部；所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上；所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架；所述旋转轴与所述主传动轴传动连接，并位于所述搅拌轴的上方；所述安装支架与所述旋转轴相接，用于装配长筒遮板。

进一步的，所述槽体为一封闭腔体，其前部设有可视化窗口，其上部设有排风口。

进一步的，所述药水进入口连接有主管道、喷头；所述主管道以所述药水进入口的方向延伸至所述槽体内；所述喷头阵列设置于所述主管道上。

进一步的，所述搅拌轴、所述旋转轴均通过圆锥齿轮副进行传动；所述圆锥齿轮副包括直齿锥齿轮、斜齿锥齿轮；所述直齿锥齿轮设置于所述主传动轴上；所述斜齿锥齿轮设置于所述搅拌轴、所述旋转轴上。

进一步的，所述旋转轴由若干段连接而成，两者之间通过螺纹联接筒进行相接。

进一步的，所述安装支架包括轴体连接套、伸缩杆；所述轴体连接套设置于所述旋转轴上，其外壁阵列环绕设有若干安装槽；所述伸缩杆设置于所述安装槽上。

本实用新型的有益效果在于，药水用量少，降低生产成本；本实用新型通过同轴设置了搅拌组件、工件旋转组件，搅拌叶片能充分搅拌药水，使其更好的与遮板进行接触，工件旋转组件能使得遮板在药水使用量不多的情况下充分浸泡药水，保证充分的接触，具有药水用量少，降低生产成本，减少环境负担的优点。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型隐藏外壳后的局部结构示意图；

图3为本实用新型中搅拌组件、工件旋转组件的结构示意图；

图4为本实用新型的药水进入口的结构示意图；

图5为本实用新型的安装支架的结构示意图。

10、槽体；11、可视化窗口；12、排风口；20、药水进入口；21、主管道；22、喷头；30、药水排放口；40、搅拌组件；41、电机；42、主传动轴；43、搅拌轴；44、搅拌叶片；50、工件旋转组件；51、旋转轴；52、安装支架；53、螺纹联接筒；54、轴体连接套；55、伸缩杆；56、安装槽；60、圆锥齿轮副；61、直齿锥齿轮；62、斜齿锥齿轮。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式并均使用非精准的比列，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1～图5所示，一种长筒遮板化学除膜槽，包括槽体10、药水进入口20、药水排放口30、搅拌组件40、工件旋转组件50；

所述槽体10为一封闭腔体，其前部设有可视化窗口11，其上部设有排风口12；

所述药水进入口20设置于所述槽体10内侧壁；所述药水排放口30设置于所述槽体10内底部；所述药水进入口20连接有主管道21、喷头22；所述主管道21以所述药水进入口20的方向延伸至所述槽体10内；所述喷头22阵列设置于所述主管道21上；

所述搅拌组件40包括电机41、主传动轴42、搅拌轴43、搅拌叶片44；所述电机41设置于所述槽体10外侧；所述主传动轴42与所述电机41的输出端相接，并向下延伸至所述槽体10内底部；所述搅拌轴43与所述主传动轴42传动连接，并横设于所述槽体10内的底部；所述搅拌叶片44阵列设置于所述搅拌轴43上；

所述工件旋转组件50包括旋转轴51、安装支架52；所述旋转轴51与所述主传动轴42传动连接，并位于所述搅拌轴43的上方；所述安装支架52与所述旋转轴51相接，用于装配长筒遮板；所述旋转轴51由若干段连接而成，两者之间通过螺纹联接筒53进行相接；所述安装支架52包括轴体连接套54、伸缩杆55；所述轴体连接套54设置于所述旋转轴51上，其外壁阵列环绕设有若干安装槽56；所述伸缩杆55设置于所述安装槽56上；

所述搅拌轴43、所述旋转轴51均通过圆锥齿轮副60进行传动；所述圆锥齿轮副60包括直齿锥齿轮61、斜齿锥齿轮62；所述直齿锥齿轮61设置于所述主传动轴42上；所述斜齿锥齿轮62设置于所述搅拌轴43、所述旋转轴51上。

工作原理：首先，打开槽体10腔门，使用安装支架52固定好长筒遮板后，将安装支架52与旋转轴51使用螺纹联接筒53进行相接，随后关闭槽体10腔门，将调配好的药水往药水进入口20中加入，药水量只需泡过长筒遮板底部的内外壁即可，无须使用过量的药水，随后电机41驱动主传动轴42进行转动，同时联动搅拌轴43、旋转轴51分别带动搅拌叶片44、安装支架52进行转动，搅拌叶片44能充分搅拌药水，使其更好的与遮板进行接触，而遮板能随着安装支架52进行转动，使得遮板能均匀浸泡药水，保证充分的接触。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。

Claims

1.一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件；所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁；所述药水排放口设置于所述槽体内底部；所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片；所述电机设置于所述槽体外侧；所述主传动轴与所述电机的输出端相接，并向下延伸至所述槽体内底部；所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接，并横设于所述槽体内的底部；所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上；所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架；所述旋转轴与所述主传动轴传动连接，并位于所述搅拌轴的上方；所述安装支架与所述旋转轴相接，用于装配长筒遮板。

2.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：所述槽体为一封闭腔体，其前部设有可视化窗口，其上部设有排风口。

3.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：所述药水进入口连接有主管道、喷头；所述主管道以所述药水进入口的方向延伸至所述槽体内；所述喷头阵列设置于所述主管道上。

4.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：所述搅拌轴、所述旋转轴均通过圆锥齿轮副进行传动；所述圆锥齿轮副包括直齿锥齿轮、斜齿锥齿轮；所述直齿锥齿轮设置于所述主传动轴上；所述斜齿锥齿轮设置于所述搅拌轴、所述旋转轴上。

5.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：所述旋转轴由若干段连接而成，两者之间通过螺纹联接筒进行相接。

6.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽，其特征在于：所述安装支架包括轴体连接套、伸缩杆；所述轴体连接套设置于所述旋转轴上，其外壁阵列环绕设有若干安装槽；所述伸缩杆设置于所述安装槽上。