CN212873187U - 一种光电子元件制造的光刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构、光刻机构，所述固定机构包括工作台、固定座、支撑座，所述工作台上方设置有所述固定座，所述固定座下端面前后对称各设置有一个所述支撑座，所述固定座一侧设置有固定架，所述固定架内侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离所述固定架一端安装有夹块，所述固定架远离所述固定座一侧设置有侧板，所述侧板侧面安装有一号电机。本实用新型结构简单，设计合理，生产成本低，不仅方便对工件进行固定，同时方便对工件两面进行光刻，节省人力，极大的提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及光电子元件生产技术领域，特别是涉及一种光电子元件制造的光刻装置。
背景技术
光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。
光电子元件制造过程中，需要对其进行光刻，但是现有的生产装置只能对其一面进行光刻，然后需要对其翻面后再次进行加工，极大降低了工作效率，而且不方便对工件固定。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光电子元件制造的光刻装置。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构、光刻机构，所述固定机构包括工作台、固定座、支撑座，所述工作台上方设置有所述固定座，所述固定座下端面前后对称各设置有一个所述支撑座，所述固定座一侧设置有固定架，所述固定架内侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离所述固定架一端安装有夹块，所述固定架远离所述固定座一侧设置有侧板，所述侧板侧面安装有一号电机。
作为本实用新型进一步的方案，所述光刻机构包括防护板、丝杠、滑杠，所述防护板内侧设置有所述丝杠，所述丝杠后部设置有所述滑杠，所述丝杠一端安装有二号电机，所述丝杠上设置有滑块，所述滑块下端面安装有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱下方安装有光刻机。
作为本实用新型进一步的方案，所述光刻机构包括防护板、滑轨、电动滑块，所述防护板内侧安装有所述滑轨，所述滑轨上安装有所述电动滑块，所述电动滑块下端面安装有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱下方安装有光刻机。
作为本实用新型进一步的方案，所述固定架焊接在所述固定座侧面，且两侧对称各设置有一个。
作为本实用新型进一步的方案，所述夹块的材质为橡胶，通过螺栓安装在所述电动伸缩杆上。
作为本实用新型进一步的方案，所述一号电机与所述固定架通过联轴器连接，所述固定架转动安装在所述侧板上。
作为本实用新型进一步的方案，所述二号电机与所述丝杠通过联轴器连接，所述电动伸缩柱通过螺栓安装在所述滑块下端面。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过设置固定机构，不仅方便对工件进行固定，同时方便对工件两面进行光刻，节省人力，极大的提高了工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1立体图；
图2是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1主视图；
图3是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1俯视图；
图4是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例1固定座的结构示意图；
图5是本实用新型所述一种光电子元件制造的光刻装置的实施例2主视图。
附图标记说明如下：
1、固定机构；2、光刻机构；101、工作台；102、固定座；103、支撑板；104、固定架；105、电动伸缩杆；106、夹块；107、侧板；108、一号电机；201、防护板；202、丝杠；203、滑杠；204、二号电机；205、滑块；206、电动伸缩柱；207、光刻机；208、滑轨；209、电动滑块。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
实施例1
如图1、图2、图3、图4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构1、光刻机构2，固定机构1包括工作台101、固定座102、支撑座103，工作台101上方设置有固定座102，固定座102下端面前后对称各设置有一个支撑座103，固定座102一侧设置有固定架104，固定架104内侧安装有电动伸缩杆105，电动伸缩杆105远离固定架104一端安装有夹块106，固定架104远离固定座102一侧设置有侧板107，侧板107侧面安装有一号电机108。
在上述实施例的基础上：光刻机构2包括防护板201、丝杠202、滑杠203，防护板201内侧设置有丝杠202，丝杠202后部设置有滑杠203，丝杠202一端安装有二号电机204，丝杠202上设置有滑块205，滑块205下端面安装有电动伸缩柱206，电动伸缩柱206下方安装有光刻机207；固定架104焊接在固定座102侧面，且两侧对称各设置有一个；夹块106的材质为橡胶，通过螺栓安装在电动伸缩杆105上；一号电机108与固定架104通过联轴器连接，固定架104转动安装在侧板107上；二号电机204与丝杠202通过联轴器连接，电动伸缩柱206通过螺栓安装在滑块205下端面。
工作原理：将工件放置在固定座102内侧，支撑座103起到支撑作用，然后两侧的电动伸缩杆105带动夹块106将工件夹紧，电动伸缩柱206带动光刻机207下降对工件上端面进行光刻，二号电机204带动丝杠202转动，使滑块205带动光刻机207左右移动，需要翻转工件时，一号电机108带动固定架104转动，使工件翻转，然后对其另一面进行光刻，完成光刻后，电动伸缩杆105带动夹块106将工件松开，工件掉落下来。
实施例2
如图5所示，实施例2和实施例1的区别在于，光刻机构2包括防护板201、滑轨208、电动滑块209，防护板201内侧安装有滑轨208，滑轨208上安装有电动滑块209，电动滑块209下端面安装有电动伸缩柱206，电动伸缩柱206下方安装有光刻机207。
将二号电机204带动丝杠202转动，使滑块205带动光刻机207左右移动，换成了电动滑块209带动光刻机207沿滑轨208移动。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
Claims (7)
1.一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：包括固定机构(1)、光刻机构(2)，所述固定机构(1)包括工作台(101)、固定座(102)、支撑座(103)，所述工作台(101)上方设置有所述固定座(102)，所述固定座(102)下端面前后对称各设置有一个所述支撑座(103)，所述固定座(102)一侧设置有固定架(104)，所述固定架(104)内侧安装有电动伸缩杆(105)，所述电动伸缩杆(105)远离所述固定架(104)一端安装有夹块(106)，所述固定架(104)远离所述固定座(102)一侧设置有侧板(107)，所述侧板(107)侧面安装有一号电机(108)。
2.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述光刻机构(2)包括防护板(201)、丝杠(202)、滑杠(203)，所述防护板(201)内侧设置有所述丝杠(202)，所述丝杠(202)后部设置有所述滑杠(203)，所述丝杠(202)一端安装有二号电机(204)，所述丝杠(202)上设置有滑块(205)，所述滑块(205)下端面安装有电动伸缩柱(206)，所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。
3.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述光刻机构(2)包括防护板(201)、滑轨(208)、电动滑块(209)，所述防护板(201)内侧安装有所述滑轨(208)，所述滑轨(208)上安装有所述电动滑块(209)，所述电动滑块(209)下端面安装有电动伸缩柱(206)，所述电动伸缩柱(206)下方安装有光刻机(207)。
4.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述固定架(104)焊接在所述固定座(102)侧面，且两侧对称各设置有一个。
5.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述夹块(106)的材质为橡胶，通过螺栓安装在所述电动伸缩杆(105)上。
6.根据权利要求1所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述一号电机(108)与所述固定架(104)通过联轴器连接，所述固定架(104)转动安装在所述侧板(107)上。
7.根据权利要求2所述的一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于：所述二号电机(204)与所述丝杠(202)通过联轴器连接，所述电动伸缩柱(206)通过螺栓安装在所述滑块(205)下端面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202021965706.9U CN212873187U (zh) | 2020-09-10 | 2020-09-10 | 一种光电子元件制造的光刻装置 |
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| CN202021965706.9U CN212873187U (zh) | 2020-09-10 | 2020-09-10 | 一种光电子元件制造的光刻装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN212873187U true CN212873187U (zh) | 2021-04-02 |
Family
ID=75197108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021965706.9U Expired - Fee Related CN212873187U (zh) | 2020-09-10 | 2020-09-10 | 一种光电子元件制造的光刻装置 |
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| CN (1) | CN212873187U (zh) |
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