CN212843395U - 一种定点定向测试模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种定点定向测试模具，测试模具包括可匹配放置于待量测部件内的圆盘本体以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体上且沿轴向贯穿的测试孔，所述待量测部件上设置有若干个涡旋部，至少一组所述测试孔与所述涡旋部一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔内，以对所述涡旋部的高度进行定点定向量测；通过在圆盘本体上对应各涡旋部圆周均布开设若干个测试孔，将测试模具放置于待量测部件内后，再将量测设备对应置于各测试孔内，以对各涡旋部的高度进行量测，实现使得量测设备借助测试模具进行定点定向测量，大大提升了量测结果的再现性和准确性，解决了现有技术中存在的随机量测结果参考性低的技术问题。

Description

一种定点定向测试模具

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体涉及一种定点定向测试模具。

背景技术

ALD TaN机型属于半导体制造其中一环，主要用于化学气象沉积领域，广泛用于16nm以下制程。16nm制程于国内属于最先进制程领域，由于制程微缩化，制程要求精细，对于量测监控要求高。

需测量的产品为ALD TaN机型中的一部件，主要是量测该部件中六角涡旋部分的高度，该高度因生产使用，尺寸会逐渐变化，当变化量过大时，将会对制程稳定度产生明显影响。

目前传统的量测方式是采用随机性量测，其量测结果容易因取样位置、取样数量的不同而产生偏差，加之由于量测设备的精度高，若量测有些偏移，就会导致量测结果有差异，量测出的数值也因此降低参考价值，申请人以此为契机开发了一款行定向测试模具。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种定点定向测试模具，通过在圆盘本体上对应各涡旋部圆周均布开设若干个测试孔，将测试模具放置于待量测部件内后，再将量测设备对应置于各测试孔内，以对各涡旋部的高度进行量测，实现使得量测设备借助测试模具进行定点定向测量，大大提升了量测结果的再现性和准确性，解决了现有技术中存在的随机量测结果参考性低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种定点定向测试模具，测试模具包括可匹配放置于待量测部件内的圆盘本体以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体上且沿轴向贯穿的测试孔，所述待量测部件上设置有若干个涡旋部，至少一组所述测试孔与所述涡旋部一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔内，以对所述涡旋部的高度进行定点定向量测。

作为优选，所述待量测部件包括向下凹设的内圆槽，所述内圆槽的中心下方设置为中空部，由此所述内圆槽的底面形成一环面，所述环面的内圈上沿圆周方向间隔阵列设置有六个所述涡旋部，每组所述测试孔对应所述涡旋部设置有六个。

作为优选，所述涡旋部两两之间形成有间隔槽，所述测试模具还包括若干个于所述圆盘本体的底部沿周向阵列设置的卡榫，所述卡榫与所述间隔槽的形状相适配且可分别对应卡设于间隔槽内进行定位。

作为优选，所述测试孔沿所述圆盘本体的径向设置有内外两组，测试模具放置于内圆槽中后，内圈一组的所述测试孔对应位于所述涡旋部上，外圈一组的所述测试孔对应位于所述环面的外圈上。

作为优选，两组所述测试孔的数量相同且沿径向一一对应设置。

作为优选，内外两组所述测试孔到所述圆盘本体中心的距离分别为9.1mm和16.1mm。

作为优选，所述测试孔的开设半径为1mm。

作为优选，所述测试模具采用有机玻璃为基础材料。

作为优选，所述测试模具还包括于所述圆盘本体的底部中心向下凸设的定位座，所述定位座可匹配置于所述中空部内。

作为优选，所述量测设备采用两用电子式高度计，其最小精度为0.0001mm。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型通过在圆盘本体上对应各涡旋部圆周均布开设若干个测试孔，将测试模具放置于待量测部件内后，再将量测设备对应置于各测试孔内，以对各涡旋部的高度进行量测，实现使得量测设备借助测试模具进行定点定向测量，大大提升了量测结果的再现性和准确性，解决了现有技术中存在的随机量测结果参考性低的技术问题；

(2)本实用新型通过在圆盘本体底部对应各涡旋部之间的间隔槽均布设置一圈卡榫，以及设置一个可匹配置于待量测部件的中空部内的定位座，方便测试模具的放置操作，采用”放”的方式即可快速完成安装和准确定位，无需使用工具或外加螺丝固定，操作简单，节约时间。

附图说明

图1为本实用新型的测试模具整体结构示意图；

图2为本实用新型的待量测部件整体结构示意图；

图3为图2中A处放大图；

图4为本实用新型的测试模具和待量测部件安装结构示意图；

图5为本实用新型的测试模具的底部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例一

如图1-4所示，一种定点定向测试模具，测试模具100包括可匹配放置于待量测部件1内的圆盘本体2以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体2上且沿轴向贯穿的测试孔3，所述待量测部件1上设置有若干个涡旋部10，至少一组所述测试孔3与所述涡旋部10一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔3内，以对所述涡旋部10的高度进行定点定向量测。

在本实施例中，通过在圆盘本体2上对应各涡旋部10圆周均布开设若干个测试孔3，将测试模具100放置于待量测部件1内后，再将量测设备对应置于各测试孔3内，以对各涡旋部10的高度进行量测，使得量测设备配合借助测试模具100实现定点定向测量，大大提升了量测结果的再现性和准确性。

此外，经过持续使用验证，量测的稳定度明显提升，量测结果对于使用者在制程调整方面有实质性助益，其提高了量测精度，使量测数值极具参考价，可提供使用上的精准判断。

值得说明的是，测试模具100的角度以及尺寸的设定使该模具可以适用到所有部件，不会因为偏差产生无法使用的问题。

作为优选，如图3所示，所述待量测部件1包括向下凹设的内圆槽11，所述内圆槽11的中心下方设置为中空部12，由此所述内圆槽11的底面形成一环面，所述环面的内圈111上沿圆周方向间隔阵列设置有六个所述涡旋部10，每组所述测试孔3对应所述涡旋部10设置有六个。

作为优选，如图5所示，所述测试孔3沿所述圆盘本体2的径向设置有内外两组，测试模具100放置于内圆槽11中后，内圈一组的所述测试孔3对应位于所述涡旋部10上，外圈一组的所述测试孔3对应位于所述环面的外圈112上。

作为优选，两组所述测试孔3的数量相同且沿径向一一对应设置。

作为优选，内外两组所述测试孔3到所述圆盘本体2中心的距离分别为9.1mm和16.1mm。

作为优选，所述测试孔3的开设半径为1mm。

作为优选，所述测试模具100采用有机玻璃为基础材料。

在本实施例中，未避免对部件早成损伤，测试模具100不使用金属制造，而是采用有机玻璃为基础材料进行制作。

作为优选，所述量测设备采用两用电子式高度计，其最小精度为0.0001mm。

实施例二

为简便起见，下文仅描述实施例二与实施例一的区别点；该实施例二与实施例一的不同之处在于：

作为优选，如图1及图5所示，所述涡旋部10两两之间形成有间隔槽13，所述测试模具100还包括若干个于所述圆盘本体2的底部沿周向阵列设置的卡榫4，所述卡榫4与所述间隔槽13的形状相适配且可分别对应卡设于间隔槽13内进行定位。

作为优选，所述测试模具100还包括于所述圆盘本体2的底部中心向下凸设的定位座5，所述定位座5可匹配置于所述中空部12内。

在本实施例中，通过在圆盘本体2的底部对应各涡旋部10之间的间隔槽13均布设置一圈卡榫4，再设置一个可匹配置于待量测部件1的中空部12内的定位座5，大大方便了测试模具100的放置操作，可采用简单一”放”的方式，即可快速完成测试模具100的安装和准确定位，无需使用工具或外加螺丝固定，操作简单，节约时间。

需要补充说明的是，六个所述卡榫4每60°设置一个，且每个卡榫4的尺寸均为1.5mm*2mm*1mm。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种定点定向测试模具，其特征在于，测试模具(100)包括可匹配放置于待量测部件(1)内的圆盘本体(2)以及至少一组沿圆周方向设置于所述圆盘本体(2)上且沿轴向贯穿的测试孔(3)，所述待量测部件(1)上设置有若干个涡旋部(10)，至少一组所述测试孔(3)与所述涡旋部(10)一一对应设置，将量测设备对应置于所述测试孔(3)内，以对所述涡旋部(10)的高度进行定点定向量测。

2.根据权利要求1所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述待量测部件(1)包括向下凹设的内圆槽(11)，所述内圆槽(11)的中心下方设置为中空部(12)，由此所述内圆槽(11)的底面形成一环面，所述环面的内圈(111)上沿圆周方向间隔阵列设置有六个所述涡旋部(10)，每组所述测试孔(3)对应所述涡旋部(10)设置有六个。

3.根据权利要求2所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述涡旋部(10)两两之间形成有间隔槽(13)，所述测试模具(100)还包括若干个于所述圆盘本体(2)的底部沿周向阵列设置的卡榫(4)，所述卡榫(4)与所述间隔槽(13)的形状相适配且可分别对应卡设于间隔槽(13)内进行定位。

4.根据权利要求2所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述测试孔(3)沿所述圆盘本体(2)的径向设置有内外两组，测试模具(100)放置于内圆槽(11)中后，内圈一组的所述测试孔(3)对应位于所述涡旋部(10)上，外圈一组的所述测试孔(3)对应位于所述环面的外圈(112)上。

5.根据权利要求4所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，两组所述测试孔(3)的数量相同且沿径向一一对应设置。

6.根据权利要求4所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，内外两组所述测试孔(3)到所述圆盘本体(2)中心的距离分别为9.1mm和16.1mm。

7.根据权利要求1所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述测试孔(3)的开设半径为1mm。

8.根据权利要求1所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述测试模具(100)采用有机玻璃为基础材料。

9.根据权利要求2所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述测试模具(100)还包括于所述圆盘本体(2)的底部中心向下凸设的定位座(5)，所述定位座(5)可匹配置于所述中空部(12)内。

10.根据权利要求1所述的一种定点定向测试模具，其特征在于，所述量测设备采用两用电子式高度计，其最小精度为0.0001mm。

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