CN212767007U

CN212767007U - 贴膜设备

Info

Publication number: CN212767007U
Application number: CN202021205563.1U
Authority: CN
Inventors: 杨冬; 程彦; 黄文浩; 郭昆山
Original assignee: Dongguan Siwo Intelligent Equipment Co ltd
Current assignee: Dongguan Siwo Intelligent Equipment Co ltd
Priority date: 2020-06-24
Filing date: 2020-06-24
Publication date: 2021-03-23
Anticipated expiration: 2030-06-24

Abstract

本申请公开了一种贴膜设备，包括工作台、安装于工作台的贴膜台、滑动安装于工作台的贴膜装置、用于驱动贴膜装置滑动的贴膜滑动驱动机构、滑动安装于工作台的剥膜装置、用于驱动剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构，以及收卷膜装置；贴膜滑动驱动机构能够驱动贴膜装置移动至贴膜台的相对的两侧，剥膜滑动驱动机构能够驱动剥膜装置移动至贴膜台的相对的两侧。剥膜装置将运动到贴膜台处，将废膜与贴膜台剥离，剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动，逐渐将贴膜台上各处的保护膜剥离，进而完成废膜的剥离，剥膜装置松开废膜，此时收卷膜装置动作，将废膜收卷，进而完成废膜的收卷，保证了收卷的效率。

Description

贴膜设备

技术领域

本申请涉及晶圆贴膜领域，尤其涉及一种贴膜设备。

背景技术

晶圆在生产过程中，需要在晶圆的表面贴覆保护膜。现有的方式为，将较大面积的保护膜贴覆于晶圆上，再对晶圆边缘的保护膜进行切割，使得贴附于晶圆上的保护膜与保护膜本体分离。切割后保护膜本体形成废膜粘接在贴膜台上，由于粘接力的存在，收卷机构收卷废膜时，废膜不易于与贴膜台分离，且容易被拉断，且收卷废膜的速度也较慢。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种贴膜设备，旨在解决现有技术中，贴膜后废膜收卷的效率低的问题。

为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：

贴膜设备，包括工作台、安装于所述工作台的贴膜台、滑动安装于所述工作台的贴膜装置、用于驱动所述贴膜装置滑动的贴膜滑动驱动机构、滑动安装于所述工作台的剥膜装置、用于驱动所述剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构，以及收卷膜装置；所述贴膜滑动驱动机构能够驱动所述贴膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧，所述剥膜滑动驱动机构能够驱动所述剥膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧。

在一个实施例中，所述剥膜装置包括滑动安装于所述工作台的剥膜支架、转动安装于所述剥膜支架的剥膜辊、安装于所述剥膜支架的剥膜气缸，以及安装于所述剥膜气缸的活塞杆且与所述剥膜辊相配合的夹紧件。

在一个实施例中，所述夹紧件包括安装于所述剥膜气缸的活塞杆的剥膜连接板，以及安装于所述剥膜连接板的两个夹紧辊；所述剥膜连接板与所述剥膜辊相互平行，所述夹紧辊与所述剥膜辊相互平行；两个所述夹紧辊分别位于所述剥膜连接板的相对的两端。

在一个实施例中，所述剥膜装置还包括用于驱动所述剥膜辊转动的剥膜转动驱动机构；所述剥膜转动驱动机构包括安装于所述剥膜支架的剥膜转动电机、安装于所述剥膜转动电机的输出轴的剥膜第一带轮、安装于所述剥膜辊的剥膜第二带轮，以及设于所述剥膜第一带轮与所述剥膜第二带轮之间的剥膜传动带。

在一个实施例中，所述剥膜装置还包括安装于所述剥膜支架的检测轴、转动安装于所述检测轴的多个检测筒，以及设于每个所述检测筒与所述检测轴之间的转动检测传感器；多个所述检测筒沿所述检测轴的长度方向依次设置。

在一个实施例中，所述剥膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的剥膜滑动电机、固定安装于所述剥膜支架的剥膜丝杠螺母，以及与所述剥膜滑动电机的输出端相连且与所述剥膜丝杠螺母相配合的剥膜丝杠轴。

在一个实施例中，所述贴膜装置包括滑动安装于所述工作台的贴膜支架、滑动安装于所述贴膜支架的贴膜升降架、用于驱动所述贴膜升降架滑动的贴膜升降气缸，以及转动安装于所述贴膜升降架的贴膜压辊。

在一个实施例中，所述贴膜升降架与所述贴膜支架之间设有贴膜压力传感器。

在一个实施例中，所述贴膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的贴膜滑动电机、固定安装于所述贴膜支架的贴膜丝杠螺母，以及与所述贴膜滑动电机的输出端相连且与所述贴膜丝杠螺母相配合的贴膜丝杠轴。

在一个实施例中，所述收卷膜装置包括收卷膜立板、转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜辊，以及用于驱动所述收卷膜辊转动的收卷膜驱动机构。

在一个实施例中，所述收卷膜装置还包括安装于所述收卷膜立板的收卷膜张紧机构，以及安装于所述收卷膜立板的静电风机；所述收卷膜张紧机构包括转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜张紧支架、转动安装于所述收卷膜张紧支架的多个收卷膜张紧辊，以及用于驱动所述收卷膜张紧支架转动的收卷膜张紧气缸；所述收卷膜张紧气缸与所述收卷膜张紧支架分别位于所述收卷膜立板的相对的两侧。

本申请实施例的有益效果：晶圆放置于贴膜台上，贴膜装置将保护膜与晶圆紧贴，然后对晶圆边缘的保护膜切割；使得保护膜本体与晶圆分离，分离的保护膜本体形成废膜，此时废膜粘接于贴膜台上。然后剥膜装置将运动到贴膜台处，先将废膜与贴膜台剥离，剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动，逐渐将贴膜台上各处的保护膜剥离，进而完成废膜的剥离，剥膜装置松开废膜，此时收卷膜装置动作，将废膜收卷，进而完成废膜的收卷，保证了收卷的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例中贴膜设备的结构示意图；

图2为本申请的实施例中贴膜设备的工作台上局部的结构示意图；

图3为本申请的实施例中贴膜设备的收卷膜装置处的结构示意图；

图中：

1、工作台；

2、贴膜台；

3、贴膜装置；301、贴膜支架；302、贴膜升降架；303、贴膜升降气缸；304、贴膜压辊；305、贴膜压力传感器；

4、贴膜滑动驱动机构；401、贴膜滑动电机；402、贴膜丝杠螺母；403、贴膜丝杠轴；

5、剥膜装置；501、剥膜支架；502、剥膜辊；503、剥膜气缸；504、夹紧件；5041、剥膜连接板；5042、夹紧辊；505、剥膜转动驱动机构；5051、剥膜转动电机；5052、剥膜第一带轮；5053、剥膜第二带轮；5054、剥膜传动带；506、检测轴；507、检测筒；

6、剥膜滑动驱动机构；601、剥膜滑动电机；602、剥膜丝杠螺母；603、剥膜丝杠轴；

7、收卷膜装置；701、收卷膜立板；702、收卷膜辊；703、收卷膜驱动机构；704、收卷膜张紧机构；7041、收卷膜张紧支架；7042、收卷膜张紧辊；7043、收卷膜张紧气缸；705、静电风机；

8、冷却风机。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本申请实施例提出了一种贴膜设备，包括工作台1、安装于工作台1的贴膜台2、滑动安装于工作台1的贴膜装置3、用于驱动贴膜装置3滑动的贴膜滑动驱动机构4、滑动安装于工作台1的剥膜装置5、用于驱动剥膜装置5滑动的剥膜滑动驱动机构6，以及收卷膜装置7；贴膜滑动驱动机构4能够驱动贴膜装置3移动至贴膜台2的相对的两侧，剥膜滑动驱动机构6能够驱动剥膜装置5移动至贴膜台2的相对的两侧。

在本申请的实施例中，贴膜设备的贴膜过程为：晶圆放置于贴膜台2上，贴膜装置3运动到贴膜台2上方，将保护膜与晶圆紧贴，然后对晶圆边缘的保护膜切割(人工或切割装置切割)；使得保护膜本体与晶圆分离，分离的保护膜本体形成废膜，此时废膜粘接于贴膜台2上。然后剥膜装置5将运动到贴膜台2处，先将废膜与贴膜台2剥离，剥膜滑动驱动机构6带动剥膜装置5移动，逐渐将贴膜台2上各处的保护膜剥离，进而完成废膜的剥离，剥膜装置5松开废膜，此时收卷膜装置7动作，将废膜收卷，进而完成废膜的收卷，保证收卷的效率。

可选的，还可在工作台1上设置冷却风机8，当剥膜装置5将废膜剥离后，冷却风机8将废膜上的胶吹干，逐渐降低胶的粘接力，后续收卷装置收卷废膜时，不易于受胶粘的影响。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，剥膜装置5包括滑动安装于工作台1的剥膜支架501、转动安装于剥膜支架501的剥膜辊502、安装于剥膜支架501的剥膜气缸503，以及安装于剥膜气缸503的活塞杆且与剥膜辊502相配合的夹紧件504。剥膜装置5剥膜的过程为，剥膜气缸503带动夹紧件504运动至与剥膜辊502抵接，进而将保护膜压紧于剥膜辊502与夹紧件504之间，然后剥膜滑动驱动机构6带动剥膜装置5移动，剥膜装置5从贴膜台2的一侧运动到另一侧的过程中，废膜从贴膜台2上被剥离，进而完成废膜的剥膜操作。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，夹紧件504包括安装于剥膜气缸503的活塞杆的剥膜连接板5041，以及安装于剥膜连接板5041的两个夹紧辊5042；剥膜连接板5041与剥膜辊502相互平行，夹紧辊5042与剥膜辊502相互平行；两个夹紧辊5042分别位于剥膜连接板5041的相对的两端，进而配合剥膜辊502对废膜的相对的两侧进行夹紧，在剥膜过程中不易于撕断废膜。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，剥膜装置5还包括用于驱动剥膜辊502转动的剥膜转动驱动机构505；剥膜转动驱动机构505包括安装于剥膜支架501的剥膜转动电机5051、安装于剥膜转动电机5051的输出轴的剥膜第一带轮5052、安装于剥膜辊502的剥膜第二带轮5053，以及设于剥膜第一带轮5052与剥膜第二带轮5053之间的剥膜传动带5054。完成剥膜后，夹紧件504松开废膜，剥膜转动驱动机构505驱动剥膜辊502转动，将废膜向收卷膜装置7的方向输送，配合收卷膜装置7将废膜收卷。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，剥膜装置5还包括安装于剥膜支架501的检测轴506、转动安装于检测轴506的多个检测筒507，以及设于每个检测筒507与检测轴506之间的转动检测传感器；多个检测筒507沿检测轴506的长度方向依次设置。废膜在被剥膜辊502转动输送至收卷膜装置7的过程中，绕设在检测轴506的检测筒507上，当废膜断裂时，存在至少一个检测筒507无法被废膜带动至转动的情况，此时转动检测传感器检测到有检测筒507未转动，以提醒有废膜断裂的情况发生。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，剥膜滑动驱动机构6包括固定安装于工作台1的剥膜滑动电机601、固定安装于剥膜支架501的剥膜丝杠螺母602，以及与剥膜滑动电机601的输出端相连且与剥膜丝杠螺母602相配合的剥膜丝杠轴603。剥膜滑动电机601带动剥膜丝杠轴603转动，进而与剥膜丝杠螺母602相互作用，驱动剥膜支架501沿着工作台1滑动。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，贴膜装置3包括滑动安装于工作台1的贴膜支架301、滑动安装于贴膜支架301的贴膜升降架302、用于驱动贴膜升降架302滑动的贴膜升降气缸303，以及转动安装于贴膜升降架302的贴膜压辊304。贴膜装置3工作时，贴膜升降气缸303通过贴膜升降架302带动贴膜压辊304将保护膜压紧于晶圆的表面，然后贴膜滑动驱动机构4带动贴膜装置3移动，贴膜装置3移动的过程中将晶圆各处的膜均与晶圆紧贴。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，贴膜升降架302与贴膜支架301之间设有贴膜压力传感器305，以实时监测贴膜压辊304对晶圆施加的压力，避免压力过大将晶圆压坏，也可避免压力过小，膜贴的不紧。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，贴膜滑动驱动机构4包括固定安装于工作台1的贴膜滑动电机401、固定安装于贴膜支架301的贴膜丝杠螺母402，以及与贴膜滑动电机401的输出端相连且与贴膜丝杠螺母402相配合的贴膜丝杠轴403。贴膜滑动电机401带动贴膜丝杠轴403转动，进而与贴膜丝杠螺母402相互作用驱动贴膜支架301沿着工作台1滑动。

请参阅图1-图3，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，收卷膜装置7包括收卷膜立板701、转动安装于收卷膜立板701的收卷膜辊702，以及用于驱动收卷膜辊702转动的收卷膜驱动机构703。收卷膜驱动机构703可为电机配合带轮的方式，带动收卷膜辊702转动，进而实现将废膜收卷。

请参阅图2图3，作为本申请提供的贴膜设备的另一种具体实施方式，收卷膜装置7还包括安装于收卷膜立板701的收卷膜张紧机构704，以及安装于收卷膜立板701的静电风扇静电风机705(消除废膜上的静电，便于废膜的收卷)；收卷膜张紧机构704包括转动安装于收卷膜立板701的收卷膜张紧支架7041、转动安装于收卷膜张紧支架7041的多个收卷膜张紧辊7042，以及用于驱动收卷膜张紧支架7041转动的收卷膜张紧气缸7043；收卷膜张紧气缸7043与收卷膜张紧支架7041分别位于收卷膜立板701的相对的两侧。收卷膜张紧气缸7043带动收卷膜张紧支架7041转动时，利用收卷膜张紧支架7041带动收卷膜张紧辊7042移动一定的位置，将废膜张紧，使得收卷膜辊702转动时可将废膜平整的收卷。

可以理解的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的可实现的实施方案。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。

Claims

1.贴膜设备，其特征在于，包括工作台、安装于所述工作台的贴膜台、滑动安装于所述工作台的贴膜装置、用于驱动所述贴膜装置滑动的贴膜滑动驱动机构、滑动安装于所述工作台的剥膜装置、用于驱动所述剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构，以及收卷膜装置；所述贴膜滑动驱动机构能够驱动所述贴膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧，所述剥膜滑动驱动机构能够驱动所述剥膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧。

2.根据权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述剥膜装置包括滑动安装于所述工作台的剥膜支架、转动安装于所述剥膜支架的剥膜辊、安装于所述剥膜支架的剥膜气缸，以及安装于所述剥膜气缸的活塞杆且与所述剥膜辊相配合的夹紧件。

3.根据权利要求2所述的贴膜设备，其特征在于，所述夹紧件包括安装于所述剥膜气缸的活塞杆的剥膜连接板，以及安装于所述剥膜连接板的两个夹紧辊；所述剥膜连接板与所述剥膜辊相互平行，所述夹紧辊与所述剥膜辊相互平行；两个所述夹紧辊分别位于所述剥膜连接板的相对的两端。

4.根据权利要求2所述的贴膜设备，其特征在于，所述剥膜装置还包括用于驱动所述剥膜辊转动的剥膜转动驱动机构；所述剥膜转动驱动机构包括安装于所述剥膜支架的剥膜转动电机、安装于所述剥膜转动电机的输出轴的剥膜第一带轮、安装于所述剥膜辊的剥膜第二带轮，以及设于所述剥膜第一带轮与所述剥膜第二带轮之间的剥膜传动带。

5.根据权利要求4所述的贴膜设备，其特征在于，所述剥膜装置还包括安装于所述剥膜支架的检测轴、转动安装于所述检测轴的多个检测筒，以及设于每个所述检测筒与所述检测轴之间的转动检测传感器；多个所述检测筒沿所述检测轴的长度方向依次设置。

6.根据权利要求1-5任一项所述的贴膜设备，其特征在于，所述剥膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的剥膜滑动电机、固定安装于所述剥膜支架的剥膜丝杠螺母，以及与所述剥膜滑动电机的输出端相连且与所述剥膜丝杠螺母相配合的剥膜丝杠轴。

7.根据权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜装置包括滑动安装于所述工作台的贴膜支架、滑动安装于所述贴膜支架的贴膜升降架、用于驱动所述贴膜升降架滑动的贴膜升降气缸，以及转动安装于所述贴膜升降架的贴膜压辊。

8.根据权利要求7所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜升降架与所述贴膜支架之间设有贴膜压力传感器。

9.根据权利要求7或8所述的贴膜设备，其特征在于，所述贴膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的贴膜滑动电机、固定安装于所述贴膜支架的贴膜丝杠螺母，以及与所述贴膜滑动电机的输出端相连且与所述贴膜丝杠螺母相配合的贴膜丝杠轴。

10.根据权利要求1所述的贴膜设备，其特征在于，所述收卷膜装置包括收卷膜立板、转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜辊，以及用于驱动所述收卷膜辊转动的收卷膜驱动机构。