CN212692526U - 一种扩散炉密封炉门 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉密封炉门，解决了现有扩散炉炉门在开启和关闭的过程中会占据较大的空间位置，同时炉门密封性较差而降低了加热效率的问题，其包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的一侧开设有炉口，炉口的边缘处开设有回形卡槽，炉口的两侧均固定安装有第一固定板，两个第一固定板的顶部均固定安装有第二固定板，两个第一固定板之间活动安装有第一移动机构，两个第二固定板之间活动安装有第二移动机构；本扩散炉密封炉门能够竖向进行移动开启和关闭，从而减小了炉门开启和关闭需要较大空间的需求，同时炉门在关闭之后具有较好的密封性能，从而能够确保扩散炉的加热效率。

Description

一种扩散炉密封炉门

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉密封炉门。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

现有扩散炉在使用的过程中通常需要关闭炉门保证加工的温度，但现有扩散炉炉门在开启和关闭的过程中会占据较大的空间位置，从而在使用的过程中存在极大的不便，同时炉门关闭后的密封性较差，降低了扩散炉的加热效率；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扩散炉密封炉门，有效的解决了现有扩散炉炉门在开启和关闭的过程中会占据较大的空间位置，同时炉门密封性较差而降低了加热效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉密封炉门，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的一侧开设有炉口，炉口的边缘处开设有回形卡槽，炉口的两侧均固定安装有第一固定板，两个第一固定板的顶部均固定安装有第二固定板，两个第一固定板之间活动安装有第一移动机构，两个第二固定板之间活动安装有第二移动机构，第一移动机构和第二移动机构之间固定安装有密封炉门本体，扩散炉本体的顶部安装有支撑架，支撑架的中部安装有升降机构，升降机构的上部安装有移动板，移动板的一侧与密封炉门本体一侧的上部之间安装有两个连杆。

优选的，两个所述第一固定板的相对侧和两个第二固定板的相对侧均开设有移动卡槽，第一移动机构和第二移动机构均包括两个固定块、固定轴和两个移动卡轮，固定块与密封炉门本体固定相连接，固定轴固定安装在两个固定块之间，两个移动卡轮活动安装在固定轴的两端，且移动卡轮活动卡接在移动卡槽的内部。

优选的，所述密封炉门本体的另一侧固定安装有回形卡框，回形卡框的一端那装有回形卡紧密封圈。

优选的，所述升降机构包括电机、螺纹轴和两个滑杆，电机固定安装在支撑架的顶部，螺纹轴转动连接在支撑架内侧的中部与扩散炉本体的顶部之间，且螺纹轴的顶部与电机的输出端固定相连接，两个滑杆固定安装在支撑架内侧的两端与扩散炉本体的顶部之间，移动板的中部与螺纹轴螺纹相连接，移动板的两侧分别活动套接在两个滑杆的表面。

优选的，所述移动板一侧的两端均开设有连接凹槽，两个连杆的一端均活动安装有安装块，两个安装块均与密封炉门本体一侧的上部固定相连接，两个连杆的另一端分别活动连接在两个连接凹槽的内部。

优选的，两个所述第二固定板一侧的中部与扩散炉本体的顶部之间均固定连接有固定杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、在工作中，通过设置有回形卡槽、第一固定板、第二固定板、第一移动机构、第二移动机构、密封炉门本体、回形卡框、回形卡紧密封圈、支撑架、电机、螺纹轴、滑杆、移动板、连接凹槽、连杆、安装块、移动卡槽、固定块、固定轴和移动卡轮，使本扩散炉密封炉门能够竖向进行移动开启和关闭，从而减小了炉门开启和关闭需要较大空间的需求，同时炉门在关闭之后具有较好的密封性能，从而能够确保扩散炉的加热效率；

(2)、在工作时：当需要关闭密封炉门本体时，首先启动电机，使其带动螺纹轴，从而使移动板在螺纹轴和两个滑杆的表面向下进行移动，移动板向下进行移动会通过两个连杆带动密封炉门本体向下进行移动，密封炉门本体向下进行移动会使移动卡轮在移动卡槽的内部向下进行移动，当移动卡轮移动到移动卡槽下部的倾斜端处时(如图3所示)会使密封炉门本体带动回形卡框、回形卡紧密封圈卡入到回形卡槽的内部；当需要开启密封炉门本体时，按照上述步骤反向进行操作即可，从而使密封炉门本体实现了上下移动的开启和关闭方式，减小了密封炉门本体的使用空间(一般加工车间的净空高度较大，能够满足密封炉门本体向上移动的使用需求)，同时密封炉门本体在关闭之后具有较好的密封性能，提高了设备的加热效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1的局部结构示意图；

图3为本实用新型扩散炉本体的侧剖结构示意图；

图4为本实用新型密封炉门本体的侧剖结构示意图；

图中：1、扩散炉本体；2、炉口；3、回形卡槽；4、第一固定板；5、第二固定板；6、第一移动机构；7、第二移动机构；8、密封炉门本体；801、回形卡框；802、回形卡紧密封圈；9、支撑架；10、升降机构；1001、电机；1002、螺纹轴；1003、滑杆；11、移动板；1101、连接凹槽；12、连杆；1201、安装块；13、移动卡槽；14、固定块；15、固定轴；16、移动卡轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，由图1、图2、图3和图4给出，本实用新型包括扩散炉本体1，扩散炉本体1的一侧开设有炉口2，炉口2的边缘处开设有回形卡槽3，通过回形卡槽3的设置，使密封炉门本体8在关闭之后具有较好的密封性，炉口2的两侧均固定安装有第一固定板4，两个第一固定板4的顶部均固定安装有第二固定板5，两个第一固定板4之间活动安装有第一移动机构6，两个第二固定板5之间活动安装有第二移动机构7，第一移动机构6和第二移动机构7之间固定安装有密封炉门本体8，通过第一移动机构6和第二移动机构7的设置，使密封炉门本体8能够稳定的进行移动，扩散炉本体1的顶部安装有支撑架9，支撑架9的中部安装有升降机构10，升降机构10的上部安装有移动板11，移动板11的一侧与密封炉门本体8一侧的上部之间安装有两个连杆12，通过连杆12的设置，使密封炉门本体8能够有效的进行升降移动。

实施例二，在实施例一的基础上，由图3和图4给出，两个第一固定板4的相对侧和两个第二固定板5的相对侧均开设有移动卡槽13，第一移动机构6和第二移动机构7均包括两个固定块14、固定轴15和两个移动卡轮16，固定块14与密封炉门本体8固定相连接，固定轴15固定安装在两个固定块14之间，两个移动卡轮16活动安装在固定轴15的两端，且移动卡轮16活动卡接在移动卡槽13的内部，从而能够稳定有效的进行移动调节。

实施例三，在实施例一的基础上，由图4给出，密封炉门本体8的另一侧固定安装有回形卡框801，回形卡框801的一端那装有回形卡紧密封圈802，回形卡框801带动回形卡紧密封圈802活动卡接在回形卡槽3的内部，从而使密封炉门本体8在关闭之后密封性更好。

实施例四，在实施例一的基础上，由图2给出，升降机构10包括电机1001、螺纹轴1002和两个滑杆1003，电机1001固定安装在支撑架9的顶部，螺纹轴1002转动连接在支撑架9内侧的中部与扩散炉本体1的顶部之间，且螺纹轴1002的顶部与电机1001的输出端固定相连接，两个滑杆1003固定安装在支撑架9内侧的两端与扩散炉本体1的顶部之间，移动板11的中部与螺纹轴1002螺纹相连接，移动板11的两侧分别活动套接在两个滑杆1003的表面，从而使移动板11能够有效的进行移动。

实施例五，在实施例一的基础上，由图2给出，移动板11一侧的两端均开设有连接凹槽1101，两个连杆12的一端均活动安装有安装块1201，两个安装块1201均与密封炉门本体8一侧的上部固定相连接，两个连杆12的另一端分别活动连接在两个连接凹槽1101的内部，从而能够稳定有效的进行连接。

实施例六，在实施例一的基础上，由图3给出，两个第二固定板5一侧的中部与扩散炉本体1的顶部之间均固定连接有固定杆，从而增强连接的稳定性和安全性。

本实施例中：电机1001采用6M200GU-C型号的正反转电机。

工作原理：当需要关闭密封炉门本体8时，首先启动电机1001，使其带动螺纹轴1002，从而使移动板11在螺纹轴1002和两个滑杆1003的表面向下进行移动，移动板11向下进行移动会通过两个连杆12带动密封炉门本体8向下进行移动，密封炉门本体8向下进行移动会使移动卡轮16在移动卡槽13的内部向下进行移动，当移动卡轮16移动到移动卡槽13下部的倾斜端处时(如图3所示)会使密封炉门本体8带动回形卡框801、回形卡紧密封圈802卡入到回形卡槽3的内部；当需要开启密封炉门本体8时，按照上述步骤反向进行操作即可，从而使密封炉门本体8实现了上下移动的开启和关闭方式，减小了密封炉门本体8的使用空间(一般加工车间的净空高度较大，能够满足密封炉门本体8向上移动的使用需求)，同时密封炉门本体8在关闭之后具有较好的密封性能，提高了设备的加热效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扩散炉密封炉门，包括扩散炉本体(1)，其特征在于：所述扩散炉本体(1)的一侧开设有炉口(2)，炉口(2)的边缘处开设有回形卡槽(3)，炉口(2)的两侧均固定安装有第一固定板(4)，两个第一固定板(4)的顶部均固定安装有第二固定板(5)，两个第一固定板(4)之间活动安装有第一移动机构(6)，两个第二固定板(5)之间活动安装有第二移动机构(7)，第一移动机构(6)和第二移动机构(7)之间固定安装有密封炉门本体(8)，扩散炉本体(1)的顶部安装有支撑架(9)，支撑架(9)的中部安装有升降机构(10)，升降机构(10)的上部安装有移动板(11)，移动板(11)的一侧与密封炉门本体(8)一侧的上部之间安装有两个连杆(12)。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门，其特征在于：两个所述第一固定板(4)的相对侧和两个第二固定板(5)的相对侧均开设有移动卡槽(13)，第一移动机构(6)和第二移动机构(7)均包括两个固定块(14)、固定轴(15)和两个移动卡轮(16)，固定块(14)与密封炉门本体(8)固定相连接，固定轴(15)固定安装在两个固定块(14)之间，两个移动卡轮(16)活动安装在固定轴(15)的两端，且移动卡轮(16)活动卡接在移动卡槽(13)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门，其特征在于：所述密封炉门本体(8)的另一侧固定安装有回形卡框(801)，回形卡框(801)的一端那装有回形卡紧密封圈(802)。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门，其特征在于：所述升降机构(10)包括电机(1001)、螺纹轴(1002)和两个滑杆(1003)，电机(1001)固定安装在支撑架(9)的顶部，螺纹轴(1002)转动连接在支撑架(9)内侧的中部与扩散炉本体(1)的顶部之间，且螺纹轴(1002)的顶部与电机(1001)的输出端固定相连接，两个滑杆(1003)固定安装在支撑架(9)内侧的两端与扩散炉本体(1)的顶部之间，移动板(11)的中部与螺纹轴(1002)螺纹相连接，移动板(11)的两侧分别活动套接在两个滑杆(1003)的表面。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门，其特征在于：所述移动板(11)一侧的两端均开设有连接凹槽(1101)，两个连杆(12)的一端均活动安装有安装块(1201)，两个安装块(1201)均与密封炉门本体(8)一侧的上部固定相连接，两个连杆(12)的另一端分别活动连接在两个连接凹槽(1101)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门，其特征在于：两个所述第二固定板(5)一侧的中部与扩散炉本体(1)的顶部之间均固定连接有固定杆。

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