CN212692515U - 一种扩散炉耐高温推料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉耐高温推料装置，解决了一般的扩散炉在进行送料的过程中，不能够根据实际的需要选择所需载物台的个数，应用范围较窄，且会造成浪费能源现象的问题，其包括安装架，所述安装架的一侧固定连接有炉体；本实用新型，通过设置的驱动气缸、L形板、螺杆、伸缩杆和滑板等的配合使用，通过驱动气缸的输出端带动L形板向靠近齿轮的方向移动，使螺杆与对应的齿轮啮合，再通过丝杆带动移动块向靠近炉体的方向移动，移动到炉体附近后，通过载物台上的推动气缸带动推板运动，使推板将物料推到炉体内部，从而完成送料过程，能够根据实际的需要带动不同个数的载物台进行送料，应用范围较广。

Description

一种扩散炉耐高温推料装置

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉耐高温推料装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

一般的扩散炉在进行送料的过程中，不能够根据实际的需要选择所需载物台的个数，应用范围较窄，且会造成浪费能源现象。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扩散炉耐高温推料装置，有效的解决了一般的扩散炉在进行送料的过程中，不能够根据实际的需要选择所需载物台的个数，应用范围较窄的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉耐高温推料装置，包括安装架，所述安装架的一侧固定连接有炉体，安装架的中部等距固定连接有U形板，U形板的内部转动连接有丝杆，丝杆的一端固定连接有齿轮，安装架的另一侧固定安装有防护罩，防护罩的内部安装有调节组件，调节组件包括驱动气缸，驱动气缸的输出端固定连接有L形板，L形板的底端转动安装有伸缩杆，伸缩杆上等距固定连接有螺杆，L形板的顶端滑动安装有滑板，滑板的中部与伸缩杆的顶端转动连接。

优选的，所述L形板的内部开设有条形槽，滑板与条形槽滑动连接。

优选的，所述防护罩的内部对称开设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，滑块固定安装于L形板上。

优选的，所述U形板内部滑动连接有移动块，移动块的顶端固定连接有载物台，移动块的中心处与丝杆螺纹连接。

优选的，所述U形板的内部还对称固定连接有导向杆，导向杆与移动块的内部穿插连接。

优选的，所述载物台的顶端还固定安装有推动气缸，推动气缸的一端固定连接有推板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在工作中，通过设置的驱动气缸、L形板、螺杆、伸缩杆和滑板等的配合使用，通过驱动气缸的输出端带动L形板向靠近齿轮的方向移动，使螺杆与对应的齿轮啮合，然后启动驱动电机，驱动电机的输出轴带动伸缩杆转动，伸缩杆上的螺杆通过啮合的方式带动丝杆上的齿轮转动，使丝杆通过螺纹的方式带动移动块向靠近炉体的方向移动，移动到炉体附近后，通过载物台上的推动气缸带动推板运动，使推板将物料推到炉体内部，从而完成送料过程，能够根据实际的需要带动不同个数的载物台进行送料，扩大了工作人员使用时的选择范围，应用范围较广。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的防护罩安装结构示意图；

图3为本实用新型的U形板安装结构示意图；

图中：1、安装架；2、炉体；3、U形板；4、防护罩；5、驱动气缸；6、L形板；7、伸缩杆；8、螺杆；9、滑板；10、驱动电机；11、移动块；12、载物台；13、丝杆；14、导向杆；15、齿轮；16、滑槽；17、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括安装架1，安装架1的一侧固定连接有炉体2，安装架1的中部等距固定连接有U形板3，U形板3的内部转动连接有丝杆13，丝杆13的一端固定连接有齿轮15，安装架1的另一侧固定安装有防护罩4，能够起到良好的防护作用，防护罩4的内部安装有调节组件，调节组件包括驱动气缸5，能够提供动力，驱动气缸5的输出端固定连接有L形板6，L形板6的底端转动安装有伸缩杆7，伸缩杆7上等距固定连接有螺杆8，L形板6的顶端滑动安装有滑板9，滑板9的中部与伸缩杆7的顶端转动连接，便于对伸缩杆7进行安装。

实施例二，在实施例一的基础上，L形板6的内部开设有条形槽，滑板9与条形槽滑动连接，便于对滑板9进行安装。

实施例三，在实施例一的基础上，防护罩4的内部对称开设有滑槽16，滑槽16的内部滑动连接有滑块17，滑块17固定安装于L形板6上，能够提高装置的运动稳定性。

实施例四，在实施例一的基础上，U形板3内部滑动连接有移动块11，移动块11的顶端固定连接有载物台12，移动块11的中心处与丝杆13螺纹连接，便于通过丝杆13带动载物台12运动。

实施例五，在实施例四的基础上，U形板3的内部还对称固定连接有导向杆14，导向杆14与移动块11的内部穿插连接，能够提高移动块11移动的稳定性。

实施例六，在实施例四的基础上，载物台12的顶端还固定安装有推动气缸，推动气缸的一端固定连接有推板，便于通过推动气缸推动物料。

工作原理：工作时，首先将物料放置在载物台12上，然后根据实际需要的载物台12的个数，通过伸缩杆7带动其上的螺杆8到对应的高度，同时伸缩杆7带动滑板9在L形板6上滑动，启动驱动气缸5，驱动气缸5的输出端带动L形板6向靠近齿轮15的方向移动，使螺杆8与对应的齿轮15啮合，然后启动驱动电机10，驱动电机10的输出轴带动伸缩杆7转动，伸缩杆7上的螺杆8通过啮合的方式带动丝杆13上的齿轮15转动，使丝杆13通过螺纹的方式带动移动块11向靠近炉体2的方向移动，移动到炉体2附近后，通过载物台12上的推动气缸带动推板运动，使推板将物料推到炉体2内部，从而完成送料过程，能够根据实际的需要带动不同个数的载物台12进行送料，扩大了工作人员使用时的选择范围，应用范围较广。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扩散炉耐高温推料装置，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)的一侧固定连接有炉体(2)，安装架(1)的中部等距固定连接有U形板(3)，U形板(3)的内部转动连接有丝杆(13)，丝杆(13)的一端固定连接有齿轮(15)，安装架(1)的另一侧固定安装有防护罩(4)，防护罩(4)的内部安装有调节组件，调节组件包括驱动气缸(5)，驱动气缸(5)的输出端固定连接有L形板(6)，L形板(6)的底端转动安装有伸缩杆(7)，伸缩杆(7)上等距固定连接有螺杆(8)，L形板(6)的顶端滑动安装有滑板(9)，滑板(9)的中部与伸缩杆(7)的顶端转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉耐高温推料装置，其特征在于：所述L形板(6)的内部开设有条形槽，滑板(9)与条形槽滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉耐高温推料装置，其特征在于：所述防护罩(4)的内部对称开设有滑槽(16)，滑槽(16)的内部滑动连接有滑块(17)，滑块(17)固定安装于L形板(6)上。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉耐高温推料装置，其特征在于：所述U形板(3)内部滑动连接有移动块(11)，移动块(11)的顶端固定连接有载物台(12)，移动块(11)的中心处与丝杆(13)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种扩散炉耐高温推料装置，其特征在于：所述U形板(3)的内部还对称固定连接有导向杆(14)，导向杆(14)与移动块(11)的内部穿插连接。

6.根据权利要求4所述的一种扩散炉耐高温推料装置，其特征在于：所述载物台(12)的顶端还固定安装有推动气缸，推动气缸的一端固定连接有推板。

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