CN212610880U - 一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及离子镀膜机技术领域，尤其为一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳，所述真空外壳的底端内侧固定连接有固定台，所述固定台的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置，所述基板皮带式运送装置的一端设置有运送垫块，所述运送垫块的顶端外侧接触连接有镀膜基板，所述固定台的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块，所述电机固定块的一端内侧固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的主轴末端固定连接有转动连接杆，本实用新型中，通过设置的基板皮带式运送装置、行星齿轮、高精度小齿轮、移动夹头，可以使装置实现多基板高精度长时间的连续镀膜。

Description

一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机

技术领域

本实用新型涉及离子镀膜机技术领域，具体为一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机。

背景技术

溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。

真空镀膜技术是一项应用范围很广的先进技术，中国的真空镀膜技术是从20世纪60年底开始发展的，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制的和发展，与国外厂家相比，我国生产的设备主要差距在于设备自动化程度低，镀膜层控制精度低，设备可靠性较差，且现有的离子溅射镀膜机大多都是单基板镀膜，生产效率低，因此，针对上述问题提出一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳，所述真空外壳的底端内侧固定连接有固定台，所述固定台的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置，所述基板皮带式运送装置的一端设置有运送垫块，所述运送垫块的顶端外侧接触连接有镀膜基板，所述固定台的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块，所述电机固定块的一端内侧固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的主轴末端固定连接有转动连接杆，所述转动连接杆的上下两端内侧均固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的主轴末端固定连接有太阳齿轮。

优选的，所述太阳齿轮的上下两端外侧均啮合连接有行星齿轮，所述行星齿轮的一端外侧啮合连接有内齿转动圈，所述行星齿轮的前端外侧中央位置处固定连接有转动传动杆，所述转动传动杆的前端外侧固定连接有高精度小齿轮，所述高精度小齿轮的一端外侧啮合连接有滑动内齿条。

优选的，所述滑动内齿条的一端外侧固定连接有移动夹头，所述移动夹头的一端外侧接触连接有固定滑动壳，且固定滑动壳的一端内侧与滑动内齿条的一端外侧滑动连接，所述固定滑动壳的一端外侧固定连接有固定圆板，且固定圆板的一端外侧与转动连接杆的一端外侧固定连接，且固定圆板的一端外侧与固定滑动壳的一端外侧固定连接。

优选的，所述真空外壳的顶端内侧固定连接有三焦点高功率离子源溅射镀膜总成，所述真空外壳的后端内侧固定连接有正极固定底板，所述正极固定底板的前后两端外侧均固定连接有高精度膜厚度检测探头，且高精度膜厚度检测探头的数量为六个。

优选的，所述真空外壳的后端内侧固定连接有后固定板，所述后固定板的顶端内侧固定连接有红外线加热装置总成，所述后固定板的底端内侧固定连接有温度检测装置总成，且温度检测装置总成的数量为三个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的基板皮带式运送装置、行星齿轮、高精度小齿轮、移动夹头，可以使装置实现多基板高精度长时间的连续镀膜，现有的离子溅射镀膜机大多都是单基板镀膜，生产效率低，通过移动夹头夹住镀膜基板移动更换镀膜完成的镀膜基板，使装置可以自动更换镀膜基板，可以将生产效率提高2-3倍，避免来回更换镀膜基板且需要对镀膜基板进行定位，浪费时间的问题，同时避免在高真空的真空外壳内，更换镀膜基板需要放气的问题。

2、本实用新型中，通过设置的三焦点高功率离子源溅射镀膜总成、高精度膜厚度检测探头、红外线加热装置总成、温度检测装置总成，可以使镀膜基板上镀膜非常均匀且牢固，通过设置的六个高精度膜厚度检测探头，可以检测膜的厚度，使镀膜更加均匀，通过红外线加热装置总成加热镀膜基板，通过三个温度检测装置总成分别监测镀膜基板的温度，使温度控制在150度，拨动小于等于5度，可以使镀膜工作更好的进行。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型行星齿轮的安装结构左视图；

图3为本实用新型图1的A处结构示意图；

图4为本实用新型图1的B处结构示意图；

图5为本实用新型图2的C处结构示意图；

图6为本实用新型图1的D处结构示意图。

图中：1-真空外壳、2-固定台、3-基板皮带式运送装置、4-运送垫块、5-镀膜基板、6-电动伸缩杆、7-电机固定块、8-第一伺服电机、9-转动连接杆、10-第二伺服电机、11-太阳齿轮、12-行星齿轮、13-内齿转动圈、14-转动传动杆、15-高精度小齿轮、16-滑动内齿条、17-移动夹头、18-固定滑动壳、19-固定圆板、20-三焦点高功率离子源溅射镀膜总成、21-正极固定底板、22-高精度膜厚度检测探头、23-后固定板、24-红外线加热装置总成、25-温度检测装置总成。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：

一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳1，真空外壳1的底端内侧固定连接有固定台2，固定台2的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置3，这种设置可以使固定台2将基板皮带式运送装置3固定，同时可以给镀膜基板5存放留一定的空间，基板皮带式运送装置3的一端设置有运送垫块4，运送垫块4的顶端外侧接触连接有镀膜基板5，这种设置可以使基板皮带式运送装置3可以将镀膜基板5进行上下移动，固定台2的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块7，这种设置可以使电动伸缩杆6带动电机固定块7移动，电机固定块7的一端内侧固定连接有第一伺服电机8，第一伺服电机8的主轴末端固定连接有转动连接杆9，这种设置可以使第一伺服电机8带动转动连接杆9转动，转动连接杆9的上下两端内侧均固定连接有第二伺服电机10，第二伺服电机10的主轴末端固定连接有太阳齿轮11，这种设置可以使第二伺服电机10带动太阳齿轮11转动。

太阳齿轮11的上下两端外侧均啮合连接有行星齿轮12，这种设置可以使太阳齿轮11带动行星齿轮12转动，行星齿轮12的一端外侧啮合连接有内齿转动圈13，这种设置可以使行星齿轮12带动内齿转动圈13转动，行星齿轮12的前端外侧中央位置处固定连接有转动传动杆14，转动传动杆14的前端外侧固定连接有高精度小齿轮15，高精度小齿轮15的一端外侧啮合连接有滑动内齿条16，滑动内齿条16的一端外侧固定连接有移动夹头17，这种设置可以使滑动内齿条16带动移动夹头17移动，移动夹头17的一端外侧接触连接有固定滑动壳18，且固定滑动壳18的一端内侧与滑动内齿条16的一端外侧滑动连接，固定滑动壳18的一端外侧固定连接有固定圆板19，这种设置可以使固定滑动壳18通过固定圆板19进行固定，且固定圆板19的一端外侧与转动连接杆9的一端外侧固定连接，且固定圆板19的一端外侧与固定滑动壳18的一端外侧固定连接，真空外壳1的顶端内侧固定连接有三焦点高功率离子源溅射镀膜总成20，真空外壳1的后端内侧固定连接有正极固定底板21，这种设置可以使三焦点高功率离子源溅射镀膜总成20与正极固定底板21将镀膜基板5进行镀膜，正极固定底板21的前后两端外侧均固定连接有高精度膜厚度检测探头22，且高精度膜厚度检测探头22的数量为六个，这种设置可以使高精度膜厚度检测探头22检测膜的厚度，真空外壳1的后端内侧固定连接有后固定板23，后固定板23的顶端内侧固定连接有红外线加热装置总成24，这种设置可以使红外线加热装置总成24将镀膜基板5进行加热，后固定板23的底端内侧固定连接有温度检测装置总成25，这种设置可以使温度检测装置总成25检测镀膜基板5的温度，且温度检测装置总成25的数量为三个。

工作流程：本实用新型在使用前需要先通过外接电源进行供电，本实用新型采用Siemens PLC上位机软件全自动控制装置运行，通过设置的六个高精度膜厚度检测探头22，可以检测膜的厚度，使镀膜更加均匀，通过红外线加热装置总成24加热镀膜基板5，通过三个温度检测装置总成25分别监测镀膜基板5的温度，使温度控制在150度，拨动小于等于5度，可以使镀膜工作更好的进行，通过设置的三焦点高功率离子源溅射镀膜总成20与正极固定底板21，可以将镀膜基板5进行镀膜，当需要将镀膜基板5更换的时候，通过给第一伺服电机8通电，使第一伺服电机8通电后带动转动连接杆9转动，转动连接杆9会带动固定圆板19从而带动固定滑动壳18移动，固定滑动壳18会带动滑动内齿条16从而带动移动夹头17移动，与此同时，给电动伸缩杆6通电，电动伸缩杆6通电可以带动电机固定块7从而带动第一伺服电机8上下移动，从而实现移动夹头17可以在二维平面一定的范围内任意移动，使两个移动夹头17绕过镀膜基板5后移动到目标镀膜基板5的上下两侧，通过给第二伺服电机10通电，可以使第二伺服电机10带动太阳齿轮11转动，太阳齿轮11会带动行星齿轮12从而带动内齿转动圈13转动，由于固定滑动壳18与固定圆板19固定连接，滑动内齿条16在固定滑动壳18内侧滑动连接，转动传动杆14又在滑动内齿条16内卡合转动，从通过转动传动杆14使行星齿轮12原地转动，行星齿轮12会带动高精度小齿轮15转动，高精度小齿轮15转动会使两个滑动内齿条16相向移动，从而使滑动内齿条16带动移动夹头17夹住镀膜基板5，从而实现镀膜基板5的夹持，按照上述原理给电动伸缩杆6、第一伺服电机8、第二伺服电机10通电，可以使移动夹头17带动镀膜基板5移动进行更换，夹镀膜基板5的顺序为，先将待喷涂的镀膜基板5夹住，另一对移动夹头17再夹住镀膜完成的镀膜基板5，然后更换位置即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳(1)，其特征在于：所述真空外壳(1)的底端内侧固定连接有固定台(2)，所述固定台(2)的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置(3)，所述基板皮带式运送装置(3)的一端设置有运送垫块(4)，所述运送垫块(4)的顶端外侧接触连接有镀膜基板(5)，所述固定台(2)的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块(7)，所述电机固定块(7)的一端内侧固定连接有第一伺服电机(8)，所述第一伺服电机(8)的主轴末端固定连接有转动连接杆(9)，所述转动连接杆(9)的上下两端内侧均固定连接有第二伺服电机(10)，所述第二伺服电机(10)的主轴末端固定连接有太阳齿轮(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述太阳齿轮(11)的上下两端外侧均啮合连接有行星齿轮(12)，所述行星齿轮(12)的一端外侧啮合连接有内齿转动圈(13)，所述行星齿轮(12)的前端外侧中央位置处固定连接有转动传动杆(14)，所述转动传动杆(14)的前端外侧固定连接有高精度小齿轮(15)，所述高精度小齿轮(15)的一端外侧啮合连接有滑动内齿条(16)。

3.根据权利要求2所述的一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述滑动内齿条(16)的一端外侧固定连接有移动夹头(17)，所述移动夹头(17)的一端外侧接触连接有固定滑动壳(18)，且固定滑动壳(18)的一端内侧与滑动内齿条(16)的一端外侧滑动连接，所述固定滑动壳(18)的一端外侧固定连接有固定圆板(19)，且固定圆板(19)的一端外侧与转动连接杆(9)的一端外侧固定连接，且固定圆板(19)的一端外侧与固定滑动壳(18)的一端外侧固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述真空外壳(1)的顶端内侧固定连接有三焦点高功率离子源溅射镀膜总成(20)，所述真空外壳(1)的后端内侧固定连接有正极固定底板(21)，所述正极固定底板(21)的前后两端外侧均固定连接有高精度膜厚度检测探头(22)，且高精度膜厚度检测探头(22)的数量为六个。

5.根据权利要求1所述的一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述真空外壳(1)的后端内侧固定连接有后固定板(23)，所述后固定板(23)的顶端内侧固定连接有红外线加热装置总成(24)，所述后固定板(23)的底端内侧固定连接有温度检测装置总成(25)，且温度检测装置总成(25)的数量为三个。

Images