CN212530219U - 贴膜装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种贴膜装置，包括第一立板、与第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于第一立板的第一连接架、用于驱动第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于第二立板的第二连接架、用于驱动第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于第一连接架与第二连接架之间的压膜辊，以及安装于第一连接架与第一立板之间的第一压力传感器。由于第一连接架滑动安装于第一立板上，因此第一立板与第一连接架之间的第一压力传感器可检测到第一驱动件通过第一连接架对压膜辊施加的压力，也即检测到压膜辊对晶圆施加的压力，因此压膜辊对晶圆的压力可实时监测，操作人员可实时得到压力信息。

Description

贴膜装置

技术领域

本申请涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜装置。

背景技术

晶圆等产品在生产过程中，需要在晶圆的表面贴覆保护膜。晶圆属于较为精密且易坏的产品，受压力过大时容易损坏，而贴膜过程中需要将保护膜压覆于晶圆的表面。现有的方式为预先调节压膜机构的压紧力，但是在压膜过程中，由于结构等容易轻微变化的原因，或者装配精度的问题，压膜的压力无法实时监测，使得压膜机构的压力容易超出预设值，导致晶圆被压坏，或者压力远小于预设值，导致贴膜不充分。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种贴膜装置，旨在解决现有技术中，贴膜时的压力不可测的问题。

为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：

贴膜装置，包括第一立板、与所述第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于所述第一立板的第一连接架、用于驱动所述第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于所述第二立板的第二连接架、用于驱动所述第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于所述第一连接架与所述第二连接架之间的压膜辊，以及安装于所述第一连接架与所述第一立板之间的第一压力传感器。

在一个实施例中，所述贴膜装置还包括安装于所述第二连接架与所述第二立板之间的第二压力传感器。

在一个实施例中，所述第一连接架包括与所述第一立板滑动连接的第一滑动板，以及与所述第一滑动板相连且与所述第一驱动件的输出端相连的第一连接板；所述压膜辊与所述第一滑动板转动连接。

在一个实施例中，所述第一驱动件为第一气缸，所述第一气缸安装于所述第一立板上；所述第一气缸与所述第一滑动板分别位于所述第一立板的相对的两侧；所述第一连接板上开设有第一让位孔，所述第一立板贯穿所述第一让位孔。

在一个实施例中，所述第一立板上设有第一安装板，以及与所述第一安装板相对且间隔设置的第二安装板；所述第一气缸安装于所述第一安装板与所述第二安装板之间；所述第一压力传感器位于所述第一安装板与所述第一连接板之间。

在一个实施例中，所述第一立板上设有第一滑轨，所述滑动板上设有第一滑块，所述第一滑块滑动安装于所述第一滑轨上。

在一个实施例中，所述第二连接架包括与所述第二立板滑动连接的第二滑动板，以及与所述第二滑动板相连且与所述第二驱动件的输出端相连的第二连接板；所述压膜辊与所述第二滑动板转动连接。

在一个实施例中，所述第二驱动件为第二气缸，所述第二气缸安装于所述第二立板上；所述第二气缸与所述第二滑动板分别位于所述第二立板的相对的两侧；所述第二连接板上开设有第二让位孔，所述第二立板贯穿所述第二让位孔。

在一个实施例中，所述第二立板上设有第三安装板，以及与所述第三安装板相对且间隔设置的第四安装板；所述第二气缸安装于所述第三安装板与所述第四安装板之间；所述第二压力传感器位于所述第三安装板与所述第二连接板之间。

在一个实施例中，所述第二立板上设有第二滑轨，所述第二滑动板上设有第二滑块，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨上。

本申请实施例的有益效果：由于第一连接架滑动安装于第一立板上，因此第一立板与第一连接架之间的第一压力传感器可检测到第一驱动件通过第一连接架对压膜辊施加的压力，也即检测到压膜辊对晶圆施加的压力，因此压膜辊对晶圆的压力可实时监测，操作人员可实时得到压力信息，一旦该压力与预设值偏差过大时，需要立马停止贴膜，进行检修工作。避免贴膜装置对晶圆施加的压力值，与预设值偏差过大时也持续性的完成贴膜工作，避免将晶圆压坏，也可避免膜与晶圆之间贴膜不紧密。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例中贴膜装置的第一视角的结构示意图；

图2为本申请的实施例中贴膜装置的第二视角的结构示意图；

图中：

1、第一立板；11、第一安装板；12、第二安装板；13、第一滑轨；

2、第二立板；21、第三安装板；22、第四安装板；23、第二滑轨；

3、第一连接架；31、第一滑动板；311、第一滑块；32、第一连接板；321、第一让位孔；

4、第一驱动件；41、第一气缸；

5、第二连接架；51、第二滑动板；511、第二滑块；52、第二连接板；521、第二让位孔；

6、第二驱动件；61、第二气缸；

7、压膜辊；8、第一压力传感器；9、第二压力传感器。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。

如图1-图2所示，本申请实施例提出了一种贴膜装置，包括第一立板1、与第一立板1相对且间隔设置的第二立板2、滑动安装于第一立板1的第一连接架3、用于驱动第一连接架3滑动的第一驱动件4、滑动安装于第二立板2的第二连接架5、用于驱动第二连接架5滑动的第二驱动件6、转动安装于第一连接架3与第二连接架5之间的压膜辊7，以及安装于第一连接架3与第一立板1之间的第一压力传感器8。

在本申请的实施例中，贴膜装置贴膜时，第一驱动件4与第二驱动件6同时动作，于压膜辊7的相对的两端带动第一连接架3及第二连接架5向靠近晶圆的方向运动，进而带动压膜辊7压持于晶圆及膜的表面，压膜辊7对晶圆及膜施加压力以实现将膜压紧于晶圆的表面。同时，由于第一连接架3滑动安装于第一立板1上，因此第一立板1与第一连接架3之间的第一压力传感器8可检测到第一驱动件4通过第一连接架3对压膜辊7施加的压力，也即检测到压膜辊7对晶圆施加的压力，因此压膜辊7对晶圆的压力可实时监测，操作人员可实时得到压力信息，一旦该压力与预设值偏差过大时，需要立马停止贴膜，进行检修工作。避免贴膜装置对晶圆施加的压力值，与预设值偏差过大时也持续性的完成贴膜工作，避免将晶圆压坏，也可避免膜与晶圆之间贴膜不紧密。

请参阅图2，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，贴膜装置还包括安装于第二连接架5与第二立板2之间的第二压力传感器9。第二压力传感器9与第一压力传感器8配合，检测压膜辊7的相对的两端的压力，使得压膜辊7两端的压力均能被检测到，避免局部压力与预设值偏差过大的问题发生。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第一连接架3包括与第一立板1滑动连接的第一滑动板31，以及与第一滑动板31相连且与第一驱动件4的输出端相连的第一连接板32；压膜辊7与第一滑动板31转动连接。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第一驱动件4为第一气缸41，第一气缸41安装于第一立板1上；第一气缸41与第一滑动板31分别位于第一立板1的相对的两侧；第一连接板32上开设有第一让位孔321，第一立板1贯穿第一让位孔321，使得第一连接架3可稳固的滑动安装于第一立板1上，在升降过程中不易于偏离第一立板1。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第一立板1上设有第一安装板11，以及与第一安装板11相对且间隔设置的第二安装板12；第一气缸41安装于第一安装板11与第二安装板12之间；第一压力传感器8位于第一安装板11与第一连接板32之间。第一安装板11与第二安装板12可较好的对第一气缸41进行限位安装，且可对第一气缸41的上下方向施加保护。

请参阅图1，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第一立板1上设有第一滑轨13，滑动板上设有第一滑块311，第一滑块311滑动安装于第一滑轨13上，进一步提升第一连接架3相对第一立板1滑动的稳定性。

请参阅图1，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第二连接架5包括与第二立板2滑动连接的第二滑动板51，以及与第二滑动板51相连且与第二驱动件6的输出端相连的第二连接板52；压膜辊7与第二滑动板51转动连接。

请参阅图1，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第二驱动件6为第二气缸61，第二气缸61安装于第二立板2上；第二气缸61与第二滑动板51分别位于第二立板2的相对的两侧；第二连接板52上开设有第二让位孔521，第二立板2贯穿第二让位孔521，使得第二连接架5可稳固的滑动安装于第二立板2上，在升降过程中不易于偏离第二立板2。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第二立板2上设有第三安装板21，以及与第三安装板21相对且间隔设置的第四安装板22；第二气缸61安装于第三安装板21与第四安装板22之间；所述第二压力传感器9位于所述第三安装板21与所述第四连接板之间第二压力传感器9位于第三安装板21与第二连接板52之间所述第二立板2上设有第二安装板12，以及与所述第二安装板12相对且间隔设置的第二安装板12；所述第二气缸61安装于所述第二安装板12与所述第二安装板12之间；所述第二压力传感器9位于所述第二安装板12与所述第二连接板52之间。第三安装板21与第四安装板22可较好的对第二气缸61进行限位安装，且可对第二气缸61的上下方向施加较好的保护。

请参阅图1，作为本申请提供的贴膜装置的另一种具体实施方式，第二立板2上设有第二滑轨23，所述滑动板上设有第二滑块511第二滑动板51上设有第二滑块511，第二滑块511滑动安装于第二滑轨23上，进一步提升第二连接架5相对第二立板2滑动的稳定性。

可以理解的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的可实现的实施方案。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.贴膜装置，其特征在于，包括第一立板、与所述第一立板相对且间隔设置的第二立板、滑动安装于所述第一立板的第一连接架、用于驱动所述第一连接架滑动的第一驱动件、滑动安装于所述第二立板的第二连接架、用于驱动所述第二连接架滑动的第二驱动件、转动安装于所述第一连接架与所述第二连接架之间的压膜辊，以及安装于所述第一连接架与所述第一立板之间的第一压力传感器。

2.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜装置还包括安装于所述第二连接架与所述第二立板之间的第二压力传感器。

3.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一连接架包括与所述第一立板滑动连接的第一滑动板，以及与所述第一滑动板相连且与所述第一驱动件的输出端相连的第一连接板；所述压膜辊与所述第一滑动板转动连接。

4.根据权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一驱动件为第一气缸，所述第一气缸安装于所述第一立板上；所述第一气缸与所述第一滑动板分别位于所述第一立板的相对的两侧；所述第一连接板上开设有第一让位孔，所述第一立板贯穿所述第一让位孔。

5.根据权利要求4所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一立板上设有第一安装板，以及与所述第一安装板相对且间隔设置的第二安装板；所述第一气缸安装于所述第一安装板与所述第二安装板之间；所述第一压力传感器位于所述第一安装板与所述第一连接板之间。

6.根据权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一立板上设有第一滑轨，所述滑动板上设有第一滑块，所述第一滑块滑动安装于所述第一滑轨上。

7.根据权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于，所述第二连接架包括与所述第二立板滑动连接的第二滑动板，以及与所述第二滑动板相连且与所述第二驱动件的输出端相连的第二连接板；所述压膜辊与所述第二滑动板转动连接。

8.根据权利要求7所述的贴膜装置，其特征在于，所述第二驱动件为第二气缸，所述第二气缸安装于所述第二立板上；所述第二气缸与所述第二滑动板分别位于所述第二立板的相对的两侧；所述第二连接板上开设有第二让位孔，所述第二立板贯穿所述第二让位孔。

9.根据权利要求8所述的贴膜装置，其特征在于，所述第二立板上设有第三安装板，以及与所述第三安装板相对且间隔设置的第四安装板；所述第二气缸安装于所述第三安装板与所述第四安装板之间；所述第二压力传感器位于所述第三安装板与所述第二连接板之间。

10.根据权利要求7所述的贴膜装置，其特征在于，所述第二立板上设有第二滑轨，所述第二滑动板上设有第二滑块，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨上。

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