CN212494273U - 一种硅片提拉装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种硅片提拉装置，包括固定平台，所述固定平台底部的左右两侧均固定安装有底脚，所述固定平台顶部的左右两侧均固定安装有侧板。该硅片提拉装置，将硅片放置在提升花篮上，接着控制气缸下推升降台，通过旋转平台使倾斜台以及提升花篮重新浸入水箱中，通过控制电动推杆，使得倾斜台以固定轴为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机，带动旋转平台以及提升花篮转动，从而快速使提升花篮内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将其左右两侧的烘干机打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，设备使用起来更加方便实用。

Description

一种硅片提拉装置

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种硅片提拉装置。

背景技术

一般地，硅料经切割形成硅片后，硅片表面硅料碎屑或切割液等脏污，故需要通过硅片清洗机对切割后的硅片进行清洗，然后进行烘干处理，一般地，在通过硅片清洗机对硅片进行清洗后，利用慢提拉装置将装有硅片的花篮提起进行沥水。

目前现有的硅片提拉装置一般存在着使用不方便的缺点，为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平，然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂，使用起来较为不便，故而提出一种硅片提拉装置来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片提拉装置，具备使用方便等优点，解决了目前现有的硅片提拉装置一般存在着使用不方便的缺点，为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平，然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂，使用起来较为不便的问题。

(二)技术方案

为实现上述使用方便的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片提拉装置，包括固定平台，所述固定平台底部的左右两侧均固定安装有底脚，所述固定平台顶部的左右两侧均固定安装有侧板，两个所述侧板相对的一侧均固定安装有烘干机，所述固定平台的顶部固定安装有水箱，两个所述侧板之间的顶部固定安装有顶板，所述顶板的顶部固定安装有数量为两个的气缸，两个所述气缸之间的底部固定安装有升降台，所述升降台的底部活动安装有连接杆，所述升降台的底部通过连接杆活动安装有旋转平台，所述升降台底部的右侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有转动锥齿，所述连接杆的外侧固定安装有一端与转动锥齿相啮合的啮合齿轮，所述旋转平台底部的左侧固定安装有固定轴，所述旋转平台的底部通过固定轴活动安装有倾斜台，所述倾斜台的顶部固定安装有提升花篮，所述倾斜台顶部的右侧固定安装有滑轨，所述滑轨的顶部活动安装有滑块，所述旋转平台底部的右侧固定安装有一端与滑块活动连接的电动推杆。

优选的，所述滑块的顶部固定安装有活动轴，且滑块通过活动轴与电动推杆活动连接，所述固定轴与旋转平台呈九十度垂直安装。

优选的，所述连接杆的顶部固定安装有轴承，且连接杆通过轴承与升降台活动连接，所述倾斜台与固定轴之间的夹角为锐角。

优选的，所述滑轨的顶部开设有滑槽，且滑槽与滑块相适配，所述烘干机呈T字形。

优选的，所述烘干机的数量为两个，且两个烘干机以升降台的中垂线呈对称分布。

优选的，所述气缸的外侧通过连接座与顶板固定连接，所述连接杆与升降台呈九十度垂直安装。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片提拉装置，具备以下有益效果：

该硅片提拉装置，通过设置气缸，当需要对硅片清洗时，首先控制气缸，将升降台上提，使提升花篮上升并脱离水箱，即可轻易将硅片放置在提升花篮上，接着控制气缸下推升降台，通过旋转平台使倾斜台以及提升花篮重新浸入水箱中，通过控制电动推杆，使滑块在滑轨的限制下不断上下移动，使得倾斜台以固定轴为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机，使转动锥齿转动，通过啮合带动啮合齿轮转动，使得连接杆转动，从而带动旋转平台以及提升花篮转动，从而快速使提升花篮内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将升降台上抬，同时使提升花篮处于倾斜状态，使得沥水时间减少，接着将其左右两侧的烘干机打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，且设备整体结构简洁，采用机械自动化的流程实现清洗烘干，使得设备使用起来更加方便实用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大图。

图中：1底脚、2固定平台、3侧板、4水箱、5倾斜台、6固定轴、7旋转平台、8升降台、9气缸、10连接杆、11啮合齿轮、12顶板、13烘干机、14驱动电机、15转动锥齿、16提升花篮、17滑轨、18滑块、19电动推杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种硅片提拉装置，包括固定平台2，固定平台2底部的左右两侧均固定安装有底脚1，固定平台2顶部的左右两侧均固定安装有侧板3，两个侧板3相对的一侧均固定安装有烘干机13，烘干机13的型号可为KD-111J，烘干机13的数量为两个，且两个烘干机13以升降台8的中垂线呈对称分布，固定平台2的顶部固定安装有水箱4，两个侧板3之间的顶部固定安装有顶板12，顶板12的顶部固定安装有数量为两个的气缸9，气缸9的型号可为MPT63-20，通过设置气缸9，当需要对硅片清洗时，首先控制气缸9，将升降台8上提，使提升花篮16上升并脱离水箱4，即可轻易将硅片放置在提升花篮16上，接着控制气缸9下推升降台8，通过旋转平台7使倾斜台5以及提升花篮16重新浸入水箱4中，通过控制电动推杆19，电动推杆19的型号可为XTL100，使滑块18在滑轨17的限制下不断上下移动，使得倾斜台5以固定轴6为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机14，使转动锥齿15转动，通过啮合带动啮合齿轮11转动，使得连接杆10转动，从而带动旋转平台7以及提升花篮16转动，从而快速使提升花篮16内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将升降台8上抬，同时使提升花篮16处于倾斜状态，使得沥水时间减少，接着将其左右两侧的烘干机13打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，且设备整体结构简洁，采用机械自动化的流程实现清洗烘干，使得设备使用起来更加方便实用，气缸9的外侧通过连接座与顶板12固定连接，连接杆10与升降台8呈九十度垂直安装，两个气缸9之间的底部固定安装有升降台8，升降台8的底部活动安装有连接杆10，连接杆10的顶部固定安装有轴承，且连接杆10通过轴承与升降台8活动连接，倾斜台5与固定轴6之间的夹角为锐角，升降台8的底部通过连接杆10活动安装有旋转平台7，升降台8底部的右侧固定安装有驱动电机14，驱动电机14的型号可为YL，驱动电机14的输出轴固定安装有转动锥齿15，连接杆10的外侧固定安装有一端与转动锥齿15相啮合的啮合齿轮11，旋转平台7底部的左侧固定安装有固定轴6，旋转平台7的底部通过固定轴6活动安装有倾斜台5，倾斜台5的顶部固定安装有提升花篮16，提升花篮16的外部由冲孔铝板组合而成，当提升花篮16进入水箱4内时，清洗水通过铝板上的冲孔流入提升花篮16内，从而实现对硅片的清洗，倾斜台5顶部的右侧固定安装有滑轨17，滑轨17的顶部开设有滑槽，且滑槽与滑块18相适配，烘干机13呈T字形，滑轨17的顶部活动安装有滑块18，滑块18的顶部固定安装有活动轴，且滑块18通过活动轴与电动推杆19活动连接，固定轴6与旋转平台7呈九十度垂直安装，旋转平台7底部的右侧固定安装有一端与滑块18活动连接的电动推杆19。

综上所述，该硅片提拉装置，通过设置气缸9，当需要对硅片清洗时，首先控制气缸9，将升降台8上提，使提升花篮16上升并脱离水箱4，即可轻易将硅片放置在提升花篮16上，接着控制气缸9下推升降台8，通过旋转平台7使倾斜台5以及提升花篮16重新浸入水箱4中，通过控制电动推杆19，使滑块18在滑轨17的限制下不断上下移动，使得倾斜台5以固定轴6为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机14，使转动锥齿15转动，通过啮合带动啮合齿轮11转动，使得连接杆10转动，从而带动旋转平台7以及提升花篮16转动，从而快速使提升花篮16内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将升降台8上抬，同时使提升花篮16处于倾斜状态，使得沥水时间减少，接着将其左右两侧的烘干机13打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，且设备整体结构简洁，采用机械自动化的流程实现清洗烘干，使得设备使用起来更加方便实用，解决了目前现有的硅片提拉装置一般存在着使用不方便的缺点，为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平，然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂，使用起来较为不便的问题。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅片提拉装置，包括固定平台(2)，其特征在于：所述固定平台(2)底部的左右两侧均固定安装有底脚(1)，所述固定平台(2)顶部的左右两侧均固定安装有侧板(3)，两个所述侧板(3)相对的一侧均固定安装有烘干机(13)，所述固定平台(2)的顶部固定安装有水箱(4)，两个所述侧板(3)之间的顶部固定安装有顶板(12)，所述顶板(12)的顶部固定安装有数量为两个的气缸(9)，两个所述气缸(9)之间的底部固定安装有升降台(8)，所述升降台(8)的底部活动安装有连接杆(10)，所述升降台(8)的底部通过连接杆(10)活动安装有旋转平台(7)，所述升降台(8)底部的右侧固定安装有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴固定安装有转动锥齿(15)，所述连接杆(10)的外侧固定安装有一端与转动锥齿(15)相啮合的啮合齿轮(11)，所述旋转平台(7)底部的左侧固定安装有固定轴(6)，所述旋转平台(7)的底部通过固定轴(6)活动安装有倾斜台(5)，所述倾斜台(5)的顶部固定安装有提升花篮(16)，所述倾斜台(5)顶部的右侧固定安装有滑轨(17)，所述滑轨(17)的顶部活动安装有滑块(18)，所述旋转平台(7)底部的右侧固定安装有一端与滑块(18)活动连接的电动推杆(19)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述滑块(18)的顶部固定安装有活动轴，且滑块(18)通过活动轴与电动推杆(19)活动连接，所述固定轴(6)与旋转平台(7)呈九十度垂直安装。

3.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述连接杆(10)的顶部固定安装有轴承，且连接杆(10)通过轴承与升降台(8)活动连接，所述倾斜台(5)与固定轴(6)之间的夹角为锐角。

4.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述滑轨(17)的顶部开设有滑槽，且滑槽与滑块(18)相适配，所述烘干机(13)呈T字形。

5.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述烘干机(13)的数量为两个，且两个烘干机(13)以升降台(8)的中垂线呈对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述气缸(9)的外侧通过连接座与顶板(12)固定连接，所述连接杆(10)与升降台(8)呈九十度垂直安装。

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