CN212483693U - 一种不合格硅片检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，一种不合格硅片检测装置，硅片（3）上方和下方分别布有成均匀点阵结构的多块圆形的导电片（2），硅片（3）上方的每块导电片（2）轴心线都与硅片（3）下方的一块导电片（2）的轴心线重合，轴心线重合的两块导电片（2）构成一个平行板电容器，每个平行板电容器都连接一个电容检测装置，电容检测装置连接电脑，将实时检测到的电容值传送到电脑，成点阵结构的电容的电容值变化情况，反应着制绒、扩散、刻蚀过程是否均匀。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，特别涉及过程在整个生产流程中的检测领域。
背景技术
太阳电池硅片在生产过程中，无论在制绒、扩散、刻蚀的哪步流程都会不可避免的产生不合格硅片，这些不合格硅片需要挑选出来进行返工，往往每个流程对不合格硅片的检测的工具和手段都不一样，往往需要借助各种工具和耗费大量的时间。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：如何提供一种适合太阳能硅片生产大部分流程的硅片检测装置，该装置检测过程不影响硅片生产，不耗费额外的检测时间。
本实用新型所采用的技术方案是：一种不合格硅片检测装置，硅片（3）在传送带上运行，其中硅片的两侧各有一根传送带，硅片的左侧和右侧分别处于不同的一根传送带上，硅片（3）上方和下方分别布有成均匀点阵结构的多块圆形的导电片（2），每块导电片（2）都不与其它任意一块导电片（2）接触且所有导电片都平行于硅片方向布置，硅片（3）上方的导电片（2）与硅片（3）下方的导电片（2）以硅片（3）成面对称结构（在硅片处于传送带上的上下导电片之间时），硅片（3）上方的每块导电片（2）轴心线都与硅片（3）下方的一块导电片（2）的轴心线重合，轴心线重合的两块导电片（2）构成一个平行板电容器，一共有导电片（2）总数1/2个平行板电容器，每个平行板电容器都连接一个电容检测装置，电容检测装置连接电脑，将实时检测到的电容值传送到电脑，成点阵结构的电容的电容值变化情况，反应着制绒、扩散、刻蚀过程是否均匀，等电容的电容值变化较小，处于预设的范围内时，说明制绒、扩散、刻蚀过程均匀，如果出现超出预设的范围时，说明该硅片在对应流程工艺不合格，需要进行返工。
作为一种优选方式，所有轴心线重合的两块导电片（2）之间的距离都相同，且两块导电片（2）都不与硅片（3）接触，每块导电片（2）与硅片（3）的垂直距离不大于10mm。在保证两块导电片（2）都不与硅片接触的情况下，导电片（2）与硅片（3）的垂直距离越小越好。
作为一种优选方式，每导电片（2）的横截面半径为5-10mm，这样既能保证电容测量的有效性，也能保证有足够的导电片（2）。
本实用新型的有益效果是：本实用新型不仅能够检测阳电池硅片在生产过程中大部分流程的硅片，而且不额外占用检测时间。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
其中，1、传送带，2、导电片，3、硅片。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型利用平行板电容器在两块平行板之间插入介质时，会导致电容变化，并且一般不同的介质或者相同介质不同厚度其电容变化不同，从而利用成点阵结构的电容值的变化反应制绒、扩散、刻蚀的均匀性。本实施例的导电片为厚度为3mm的不锈钢圆片。
在传送带1上的硅片3的上下安装圆形的导电片2，构成电容阵列，附图选择了9点阵列，实际上也可以是其它阵列，当硅片3运行到电容阵列内部时，电容检测装置将实时检测到的电容值传递给电脑，电脑根据预先设定的额定范围，如果电容值都处于额定范围内，则显示硅片3的制绒、扩散、刻蚀均匀，如果电容值超过了额定范围，说明制绒、扩散、刻蚀不均匀，开始记录该硅片，并报警，梯形工作人员该硅片需要返工，或者直接通过自动抓手抓走该不合格硅片进行返工。
所有轴心线重合的两块导电片2之间的距离都相同，且两块导电片2都不与硅片3接触，每块导电片2与硅片3的垂直距离为5mm。
每导电片2的的横截面半径为10mm，这样既能保证电容测量的有效性，也能保证有足够的导电片2。
本实用新型结构简单，检测能力强，成本低，在现代化的太阳能电池生产过程中有必要安装本实用新型装置。
Claims (3)
1.一种不合格硅片检测装置，硅片（3）在传送带上运行，其中硅片的两侧各有一根传送带，硅片的左侧和右侧分别处于不同的一根传送带上，其特征在于：硅片（3）上方和下方分别布有成均匀点阵结构的多块圆形的导电片（2），每块导电片（2）都不与其它任意一块导电片（2）接触且所有导电片都平行于硅片方向布置，在硅片处于传送带上的上下导电片之间时，硅片（3）上方的导电片（2）与硅片（3）下方的导电片（2）以硅片（3）成面对称结构，硅片（3）上方的每块导电片（2）轴心线都与硅片（3）下方的一块导电片（2）的轴心线重合，轴心线重合的两块导电片（2）构成一个平行板电容器，一共有导电片（2）总数1/2个平行板电容器，每个平行板电容器都连接一个电容检测装置，电容检测装置连接电脑。
2.根据权利要求1所述的一种不合格硅片检测装置，其特征在于：所有轴心线重合的两块导电片（2）之间的距离都相同，且两块导电片（2）都不与硅片（3）接触，每块导电片（2）与硅片（3）的垂直距离不大于10mm。
3.根据权利要求1所述的一种不合格硅片检测装置，其特征在于：每导电片（2）的横截面半径为5-10mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020678544.4U CN212483693U (zh) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | 一种不合格硅片检测装置 |
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| CN202020678544.4U CN212483693U (zh) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | 一种不合格硅片检测装置 |
Publications (1)
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| CN212483693U true CN212483693U (zh) | 2021-02-05 |
Family
ID=74453796
Family Applications (1)
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| CN202020678544.4U Active CN212483693U (zh) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | 一种不合格硅片检测装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN212483693U (zh) |
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2020
- 2020-04-28 CN CN202020678544.4U patent/CN212483693U/zh active Active
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