CN212412918U - 一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，包括安装座和防尘机构，所述安装座的数量为两个，两个安装座之间安装有直线电机模组本体，所述防尘机构底部的两侧均设置有安装块，所述安装座的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔与安装块活动连接，所述安装块的一侧开设有卡槽。本实用新型通过相向按动两个推块，使得钩杆的顶部脱离卡槽的内腔，进而对框架和防尘网完成拆卸，即达到了便于拆装的目的，该用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组具备便于拆装的优点，对直线电机模组进行防尘，避免灰尘进入到直线电机模组内部，并且防尘结构便于安装和拆卸，使用者便于对防尘结构进行更换，提高了防尘效果。

Description

一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

晶圆电阻切割设备中安装有直线电机模组，目前用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组顶部一般设有风琴罩，用于保护直线模组内的机械结构，风琴罩与底座之间会形成一条较大的间隙，直线电机模组外部的灰尘很容易通过此间隙进入到直线电机模组的内部，影响模组移动的精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，具备便于拆装的优点，解决了目前用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组顶部一般设有风琴罩，用于保护直线模组内的机械结构，风琴罩与底座之间会形成一条较大的间隙，直线电机模组外部的灰尘很容易通过此间隙进入到直线电机模组的内部，影响模组移动精度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，包括安装座和防尘机构，所述安装座的数量为两个，两个安装座之间安装有直线电机模组本体，所述防尘机构底部的两侧均设置有安装块，所述安装座的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔与安装块活动连接，所述安装块的一侧开设有卡槽，所述凹槽内腔的一侧设置有安装机构，所述凹槽内腔的后侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部与安装块接触，所述凹槽内腔的底部活动连接有活动块，所述活动块的顶部与固定板活动连接，所述固定板的底部设置有解锁机构，所述活动块的右侧设置有推动机构。

优选的，所述防尘机构包含有框架，所述框架的顶部贯穿设置有防尘网，所述框架的底部与安装块固定连接。

优选的，所述安装机构包含有通过转轴活动连接于凹槽内腔一侧的钩杆，所述钩杆的顶部与卡槽活动连接，所述钩杆的一侧固定连接有弹簧一，所述弹簧一的一端与凹槽的内壁固定连接。

优选的，所述解锁机构包含有固定于活动块左侧的推杆，所述推杆的左端贯穿至安装座的外侧并固定连接有推块，所述推杆的表面套设有弹簧二，所述弹簧二的一端与活动块固定连接，所述推杆的另一端与凹槽的内壁固定连接。

优选的，所述推动机构包含有固定于活动块右侧的连接杆，所述连接杆的右端固定连接有推球，所述推球的一侧与钩杆接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过相向按动两个推块，使得钩杆的顶部脱离卡槽的内腔，进而对框架和防尘网完成拆卸，即达到了便于拆装的目的，该用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组具备便于拆装的优点，对直线电机模组进行防尘，避免灰尘进入到直线电机模组内部，并且防尘结构便于安装和拆卸，使用者便于对防尘结构进行更换，提高了防尘效果，解决了目前用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组顶部一般设有风琴罩，用于保护直线模组内的机械结构，风琴罩与底座之间会形成一条较大的间隙，直线电机模组外部的灰尘很容易通过此间隙进入到直线电机模组的内部，影响模组移动精度的问题。

2、本实用新型通过防尘机构的设置，防止粉尘进入到直线电机模组内部，保证直线电机模组内部的洁净度，从而使得直线电机模组运动更加顺畅，并且保证直线电机模组移动的精度，延长其使用寿命，通过安装机构的设置，当安装块在凹槽的内腔向下移动时，使得钩杆的顶部进入到卡槽的内腔，对安装块进行固定，使得框架和防尘网完成安装，通过解锁机构和推动机构的配合使用，相向推动两个推块，最终使得钩杆的顶部脱离卡槽的内腔，进而对框架和防尘网完成拆卸，操作简单，便于更换。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A点的放大图。

图中：1、安装座；2、直线电机模组本体；3、防尘机构；31、框架；32、防尘网；4、安装块；5、凹槽；6、卡槽；7、安装机构；71、钩杆；72、弹簧一；8、固定板；9、活动块；10、解锁机构；101、推杆；102、推块；103、弹簧二；11、推动机构；111、连接杆；112、推球。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，包括安装座1和防尘机构3，安装座1的数量为两个，两个安装座1之间安装有直线电机模组本体2，防尘机构3底部的两侧均设置有安装块4，防尘机构3包含有框架31，框架31的顶部贯穿设置有防尘网32，框架31的底部与安装块4固定连接，通过防尘机构3的设置，防止粉尘进入到直线电机模组内部，保证直线电机模组内部的洁净度，从而使得直线电机模组运动更加顺畅，并且保证直线电机模组移动的精度，延长其使用寿命，安装座1的顶部开设有凹槽5，凹槽5的内腔与安装块4活动连接，安装块4的一侧开设有卡槽6，凹槽5内腔的一侧设置有安装机构7，安装机构7包含有通过转轴活动连接于凹槽5内腔一侧的钩杆71，钩杆71的顶部与卡槽6活动连接，钩杆71的一侧固定连接有弹簧一72，弹簧一72的一端与凹槽5的内壁固定连接，通过安装机构7的设置，当安装块4在凹槽5的内腔向下移动时，使得钩杆71的顶部进入到卡槽6的内腔，对安装块4进行固定，使得框架31和防尘网32完成安装，凹槽5内腔的后侧固定连接有固定板8，固定板8的顶部与安装块4接触，凹槽5内腔的底部活动连接有活动块9，活动块9的顶部与固定板8活动连接，固定板8的底部设置有解锁机构10，解锁机构10包含有固定于活动块9左侧的推杆101，推杆101的左端贯穿至安装座1的外侧并固定连接有推块102，推杆101的表面套设有弹簧二103，弹簧二103的一端与活动块9固定连接，推杆101的另一端与凹槽5的内壁固定连接，活动块9的右侧设置有推动机构11，推动机构11包含有固定于活动块9右侧的连接杆111，连接杆111的右端固定连接有推球112，推球112的一侧与钩杆71接触，通过解锁机构10和推动机构11的配合使用，相向推动两个推块102，最终使得钩杆71的顶部脱离卡槽6的内腔，进而对框架31和防尘网32完成拆卸，操作简单，便于更换。

工作原理：本实用新型使用时，使用者通过将两个安装块4分别置于两个凹槽5的内腔中，向下移动框架31和防尘网32，使得框架31带动安装块4向下移动，安装块4的一侧推动钩杆71进行以底部转轴为轴心的向一侧移动，此时弹簧一72处于压缩状态，当安装块4的底部与固定板8接触，弹簧一72恢复原状态，弹簧一72带动钩杆71进入卡槽6的内腔中，进而对安装块4进行固定，使得框架31、防尘网32与安装座1之间完成安装，在拆卸时，相向推动两个推块102，此时弹簧二103处于压缩状态，推块102带动推杆101、活动块9、连接杆111和推球112同步移动，使得推球112推动钩杆71进行以底部转轴为轴心的弧形运动，使得钩杆71的顶部脱离卡槽6的内腔，向上提起框架31，进而对框架31、防尘网32和安装座1之间完成拆卸，即达到了便于拆装的目的。

综上所述：该用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，通过相向按动两个推块102，使得钩杆71的顶部脱离卡槽6的内腔，进而对框架31和防尘网32完成拆卸，即达到了便于拆装的目的，该用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组具备便于拆装的优点，对直线电机模组进行防尘，避免灰尘进入到直线电机模组内部，并且防尘结构便于安装和拆卸，使用者便于对防尘结构进行更换，提高了防尘效果，解决了目前用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组顶部一般设有风琴罩，用于保护直线模组内的机械结构，风琴罩与底座之间会形成一条较大的间隙，直线电机模组外部的灰尘很容易通过此间隙进入到直线电机模组的内部，影响模组移动精度的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，包括安装座和防尘机构，其特征在于：所述安装座的数量为两个，两个安装座之间安装有直线电机模组本体，所述防尘机构底部的两侧均设置有安装块，所述安装座的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔与安装块活动连接，所述安装块的一侧开设有卡槽，所述凹槽内腔的一侧设置有安装机构，所述凹槽内腔的后侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部与安装块接触，所述凹槽内腔的底部活动连接有活动块，所述活动块的顶部与固定板活动连接，所述固定板的底部设置有解锁机构，所述活动块的右侧设置有推动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，其特征在于：所述防尘机构包含有框架，所述框架的顶部贯穿设置有防尘网，所述框架的底部与安装块固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，其特征在于：所述安装机构包含有通过转轴活动连接于凹槽内腔一侧的钩杆，所述钩杆的顶部与卡槽活动连接，所述钩杆的一侧固定连接有弹簧一，所述弹簧一的一端与凹槽的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，其特征在于：所述解锁机构包含有固定于活动块左侧的推杆，所述推杆的左端贯穿至安装座的外侧并固定连接有推块，所述推杆的表面套设有弹簧二，所述弹簧二的一端与活动块固定连接，所述推杆的另一端与凹槽的内壁固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆电阻切割设备的直线电机模组，其特征在于：所述推动机构包含有固定于活动块右侧的连接杆，所述连接杆的右端固定连接有推球，所述推球的一侧与钩杆接触。

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