CN212352061U - 夹持机构和晶圆生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种夹持机构和应用了该夹持机构的晶圆生产设备，所述夹持机构包括：固定座；托板，所述托板设于所述固定座前方；压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。本实用新型的技术方案，旨在实现晶圆盘的取放，提高取放晶圆盘的便捷性。

Description

夹持机构和晶圆生产设备

技术领域

本实用新型涉及夹持技术领域，特别涉及一种夹持机构和应用了该夹持机构的晶圆生产设备。

背景技术

在晶圆的生产过程中，一般使用料盒存放多个晶圆盘，以便同时转移多个晶圆盘，而这多个晶圆盘在料盒中普遍是层叠设置的。此时，若要对晶圆盘进行检测，则需从料盒中取出单个晶圆盘，并在检测完成后将晶圆盘放回料盒之中。但是，料盒中多个层叠设置晶圆盘层间距相对固定且距离较小，易造成晶圆盘取放的不便。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种夹持机构，旨在实现晶圆盘的取放，提高取放晶圆盘的便捷性。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种夹持机构，包括：

固定座；

托板，所述托板设于所述固定座前方；

压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；

传动装置，所述传动装置设于所述固定座上，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；

复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。

可选地，所述传动装置位于所述托板后侧，所述传动装置包括推动杆和抵持机构；

所述推动杆沿固定座的前后方向可伸缩地设于所述固定座，所述抵持机构设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端；所述压板背离所述托板一侧表面凸设有导向斜面，所述抵持机构沿固定座的前后方向设于所述导向斜面的后方；

当所述推动杆伸出运动时，所述抵持机构与所述导向斜面抵接，并沿所述导向斜面滑动，以驱使所述压板朝向所述托板下压。

可选地，所述抵持机构包括轴承固定座和轴承，所述轴承固定座设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端，所述轴承固定座背离所述推动杆的一侧固定有所述轴承；

当所述抵持机构沿所述导向斜面滑动，所述轴承的外圈与所述导向斜面滚动配合。

可选地，所述固定座内形成有前后贯通的容置空间，所述推动杆至少部分收容于所述容置空间内。

可选地，所述夹持机构还包括连接板，所述连接板设于所述固定座顶面，且朝所述固定座的前方延伸设置，所述夹持机构还包括连接块，所述连接块固定于所述连接板的下表面，所述托板固定于所述连接块背离所述连接板的一侧表面，所述连接块开设有避空孔，所述推动杆从所述避空孔伸出或回缩。

可选地，所述夹持机构还包括导向柱，所述托板设有连接孔，所述压板开设有贯通的导向孔，所述导向柱的一端插设于所述连接孔，另一端穿设于所述导向孔，所述压板沿所述导向柱的轴向靠近或远离所述托板。

可选地，所述夹持机构还包括限位件，所述限位件固定于所述导向柱背离所述托板的一端，所述压板位于所述限位件和所述托板之间。

可选地，所述复位件套设于所述导向柱，所述复位件一端抵接所述托板，另一端抵接所述压板，以驱使所述压板背离所述托板上升。

可选地，所述压板朝向所述托板的夹持面设有防滑层；

且/或，所述托板朝向所述压板的夹持面设有防滑层。

本实用新型还提出的一种晶圆生产设备，包括前述中任一所述的夹持机构，所述夹持机构包括：

固定座；

托板，所述托板设于所述固定座前方；

压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；

传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；

复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。

本实用新型的技术方案，在夹持机构中设置有沿高度方向间隔设置的压板和托板，压板和托板之间形成夹持空间，当晶圆盘的边缘进入夹持空间时，压板在传动装置作用下可朝向托板下压，以夹持固定晶圆盘，从而便于取料和移动；进一步地，在托板和压板之间还设有复位件，压板在复位件作用下向背离托板的方向上升，以松开晶圆盘，从而便于放料。即通过本实用新型的夹持机构便可取放取料盒中层叠设置的晶圆盘，提高了取放晶圆盘的便捷性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型夹持机构一实施例的结构示意图；

图2为图1中夹持机构另一方向的结构示意图；

图3为图2中夹持机构去除压板后的结构示意图；

图4为图2中压板的结构示意图；

图5为图4的压板另一方向的结构示意图。

附图标号说明：

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种夹持机构10，包括：

固定座11；

托板12，所述托板12设于所述固定座11前方；

压板13，所述压板13和所述托板12沿高度方向间隔设置，所述压板13和所述托板12之间形成夹持空间；

传动装置14，所述传动装置14设于所述固定座11上，且和所述压板13传动连接，以驱使所述压板13朝向所述托板12下压；

复位件19，所述复位件19设于所述托板12和所述压板13之间，以驱使所述压板13背离所述托板12上升。

请参考图1，在本实用新型的一些实施例中，所述夹持机构10设有用于夹持产品的托板12和压板13，所述托板12和所述压板13沿高度方向间隔设置形成夹持空间，所述压板13朝向所述托板12下压或背离所述托板12上升，以夹紧或松开晶圆盘20。具体的，定义所述夹持机构10具有前后方向，所述夹持机构10设有固定座11，所述托板12和所述压板13设于所述固定座11前方，所述夹持机构10设有传动装置14，所述传动装置14设于所述固定座11上，且和所述压板13传动连接，所述传动装置14驱使所述压板13下压，进而夹持晶圆盘20。进一步地，所述夹持机构10中设有复位件19，所述复位件19设于所述托板12和所述压板13之间，以驱使所述压板13背离所述托板12上升，进而松开晶圆盘20。

现有的晶圆盘20，多采用晶圆盘铁环22和固定膜21的组合方式，所述晶圆盘铁环22环绕所述固定膜21设置，再将晶圆产品固定于固定膜21上；将所述晶圆盘20存储于料盒时，晶圆盘铁环22插设于料盒的滑槽中，若干所述晶圆盘20在料盒中层叠设置。本实用新型的实施例，定义所述夹持机构10中，所述压板13和所述托板12所在位置为固定座11前方，所述压板13和所述托板12形成的夹持空间开口朝前。在需从料盒中取出晶圆盘20时，所述夹持机构10向前移动以使所述托板12和所述压板13伸入料盒，使得需夹取的晶圆盘20处于所述压板13和所述托板12形成的夹持空间之间，并使得所述托板12的夹持面贴设于所述晶圆盘20的下表面；所述传动装置14驱使所述压板13下压，使得所述压板13和所述托板12的夹持面紧贴所述晶圆盘20的晶圆盘铁环22的上下表面，进而夹取料盒中层叠设置的晶圆盘20。需松开所述晶圆盘20时，所述传动装置14驱使所述压板13上升，所述夹持机构10后移，使得所述晶圆盘20脱离所述夹持机构10。进而实现所述夹持机构10对所述晶圆盘20的夹取和松开，提高取放晶圆盘20的便捷性。

本实用新型的技术方案，在夹持机构10中设置有沿高度方向间隔设置的压板13和托板11，压板13和托板11之间形成夹持空间，当晶圆盘的20边缘进入夹持空间时，压板13在传动装置14作用下可朝向托板12下压，以夹持固定晶圆盘20，从而便于取料和移动；进一步地，在托板12和压板13之间还设有复位件19，压板13在复位件19作用下向背离托板12的方向上升，以松开晶圆盘20，从而便于放料。即通过本实用新型的夹持机构10便可取放取料盒中层叠设置的晶圆盘20，提高了取放晶圆盘20的便捷性。

请参考图2，在本实用新型的一些实施例中，所述传动装置14位于所述托板12后侧，所述传动装置14包括推动杆和抵持机构141；所述推动杆沿固定座11的前后方向可伸缩地设于所述固定座11，所述抵持机构141设于所述推动杆朝向所述固定座11前方的一端；进一步参考图4，所述压板13背离所述托板12一侧表面凸设有导向斜面131，所述抵持机构141沿固定座11的前后方向设于所述导向斜面131的后方。具体的，本实用新型的实施例，定义所述夹持机构10中，所述压板13和所述托板12所在位置为固定座11前方，所述传动装置14位于所述托板12的后方；所述传动装置14中，包括有推动杆和抵持机构141，所述推动杆为驱动件142的伸缩件，在图示实施例中，所述驱动件142为气缸，所述气缸固定于所述固定座11，所述推动杆在所述驱动件142的作用下延所述固定座11的前后方向伸缩；所述抵持机构141设于所述推动杆朝向所述固定座11前方的一端，随着所述推动杆同步伸缩。进一步的，所述压板13和所述托板12延高度方向间隔设置，且所述压板13能沿高度方向升降，所述压板13背离所述托板12的一侧表面凸设有导向斜面131，当所述推动杆伸出运动时，驱使所述抵持机构141前移，所述抵持机构141背离所述推动杆的一端与所述导向斜面131抵接，并沿所述导向斜面131滑动，以驱使所述压板13朝向所述托板12下压，夹持产品。

请参考图3，在本实用新型的一些实施例中，所述抵持机构141包括轴承固定座1411和轴承1412，所述轴承固定座1411设于所述推动杆的朝向所述固定座11前方的一端，所述轴承固定座1411背离所述推动杆的一侧固定有所述轴承1412；当所述抵持机构141沿所述导向斜面131滑动时，所述轴承1412的外圈与所述导向斜面131滚动配合。本实用新型的技术方案中，所述推动杆伸出驱使所述抵持机构141前移时，所述抵持机构141于所述导向斜面131滑动，使得所述压板13朝向所述托板12下压。具体的，所述抵持机构141设有轴承固定座1411和轴承1412，所述轴承固定座1411设于所述推动杆的朝向所述固定座11前方的一端，且所述轴承1412固定于所述轴承固定座1411背离所述推动杆，图示实施例中，所述轴承固定座1411设有轴承孔，所述抵持机构141还包括连接杆，所述连接杆依次穿设于所述轴承孔和所述轴承1412的内孔，以使所述轴承1412能在所述连接杆上转动。进一步的，所述抵持机构141前移抵接所述导向斜面131时，所述轴承1412的外圈抵接所述导向斜面131；所述抵持机构141沿所述导向斜面131滑动时，所述轴承1412在所述导向斜面131上滚动，进而减少所述抵持机构141和所述导向斜面131之间的摩擦力，使得所述传动装置14和所述压板13之间的传动更为顺畅。

请参考图1，在本实用新型的一些实施例中，所述固定座11内形成有前后贯通的容置空间111，所述推动杆至少部分收容于所述容置空间111内。具体的，所述推动杆为驱动件142的伸缩件，所述驱动件142驱使所述推动杆沿固定座11的前后方向伸出或回缩。本实用新型的技术方案中，所述固定座11开设有容置空间111，所述容置空间111朝所述固定座11的前后方向贯通设置，所述推动杆穿过所述固定座11前方的开口伸出或回缩，所述容置空间111后端开口便于对所述驱动件142进行拆装。

请参考图2，在本实用新型的一些实施例中，所述夹持机构10还包括连接板15，所述连接板15设于所述固定座11顶面，且朝所述固定座11的前方延伸设置，所述夹持机构10还包括连接块16，所述连接块16固定于所述连接板15的下表面，所述托板12固定于所述连接块16背离所述连接板15的一侧表面，所述连接块16开设有避空孔，所述推动杆从所述避空孔伸出或回缩。具体的，在本实用新型的技术方案中，所述托板12设于所述固定座11的前方，所述夹持机构10包括连接块16和连接板15，所述连接块16凸设于所述托板12朝向所述压板13的一侧表面，所述连接板15分别固定于所述连接块16背离所述托板12的一侧表面和所述固定座11的上表面，所述托板12通过所述连接块16和所述连接板15连接于所述固定座11。进一步地，本实用新型的技术方案中，所述推动杆沿所述固定座11中的所述容置空间111前端开口伸出，所述连接块16设于所述固定座11前方，所述连接块16开设有避空孔，使得所述推动杆能穿过所述连接块16。

请参考图3和图4，在本实用新型的一些实施例中，所述夹持机构10还包括导向柱18，所述托板12设有连接孔121，所述压板13开设有贯通的导向孔133；进一步参考图2，所述导向柱18的一端插设于所述连接孔121，另一端穿设于所述导向孔133，所述压板13沿所述导向柱18的轴向靠近或远离所述托板12。具体的，本实用新型的技术方案，所述压板13在驱动件142的作用下朝向所述托板12下压，而后在复位件19的作用下背离所述托板12上升；进一步地，所述夹持机构10还设有导向柱18，所述托板12设有连接孔121，所述导向柱18插设于所述连接孔121中，所述压板13对应所述连接孔121和所述导向柱18位置设有贯通的导向孔133，所述压板13通过所述导向孔133套设于所述导向柱18中，使得所述压板13沿所述导向柱18上下滑动，避免所述压板13在升降过程中偏位，提高所述夹持机构10对所述晶圆盘20的夹持稳定性。

进一步参考图2，在本实用新型的一些实施例中，所述夹持机构10还包括限位件17，所述限位件17固定于所述导向柱18背离所述托板12的一端，所述压板13位于所述限位件17和所述托板12之间。具体的，本实用新型的一些实施例中，所述压板13套设于所述导向柱18中，沿所述导向柱18升降，远离或靠近所述托板12；进一步地，所述导向柱18背离所述托板12的一端固定有限位件17，使得所述压板13设于所述托板12和所述限位件17之间，避免所述压板13从所述导向柱18上脱落。

请参考图3，在本实用新型的一些实施例中，所述复位件19套设于所述导向柱18，所述复位件19一端抵接所述托板12，另一端抵接所述压板13，以驱使所述压板13背离所述托板12上升。在本实用新型的技术方案中，所述压板13在所述传动装置14的驱动下，朝向所述托板12下压，所述复位件19设于所述托板12和所述压板13之间，以驱使所述压板13背离所述托板12上升。具体的，在一些实施例中，所述复位件19为弹性件，所述复位件19套设于所述导向杆中，所述复位件19一端抵接所述托板12朝向所述压板13一侧，所述复位件19另一端抵接所述压板13朝向所述托板12一侧，所述压板13下压时，所述复位件19收缩；进而，所述复位件19产生弹性回复力，顶持所述压板13背离所述压板13上升。

需要说明的是，图4所示压板13中，所述压板13背离所述托板12一侧凸设有连接柱132，所述压板13设有连通所述连接柱132内部的收容槽135，所述收容槽135的开口朝向所述托板12，所述导向孔133设于所述收容槽135的槽底即所述连接柱132的顶面。进一步的，所述复位件19套设于所述导向柱18，且容置于所述收容槽135中，防止所述复位件19外露受损。

还需要说明的是，图示实施例中，所述导向柱18设有四个，均匀分布于所述托板12和所述压板13之间，仅在使得所述压板13的升降更为精确，避免在升降过程中产生偏位。当然，本实用新型的技术方案中，所述导向柱18和所述复位件19的具体数量和位置并不做限定，只需对所述压板13的升降起导向作用即可。

请参考图5，在本实用新型的一些实施例中，所述压板13朝向所述托板12的夹持面设有防滑层134。本实用新型的技术方案，所述压板13朝向所述托板12下压使得夹持面压紧所述晶圆盘20的上表面，进而使得所述夹持机构10夹紧所述晶圆盘20。所述夹持机构10带动所述晶圆盘20移动，用以转移所述晶圆盘20，所述压板13的夹持面上设有防滑层134，加大所述压板13和所述晶圆盘20之间的摩擦力，进而在所述夹持机构10带动所述晶圆盘20移动时，防止所述晶圆盘20从所述夹持机构10上脱落。

同样的，所述托板12朝向所述压板13的夹持面设有防滑层，以加大所述托板12和所述晶圆盘20之间的摩擦力，进而在所述夹持机构10带动所述晶圆盘20移动时，防止所述晶圆盘20从所述夹持机构10上脱落。

需要说明的是，图示实施例中，仅在所述压板13的夹持面设有防滑层134，即能起到防止晶圆盘20从夹持机构10脱落的技术效果；本实用新型的技术方案中，也可仅在所述托板12的夹持面设置防滑层134，或在所述压板13和所述托板12的夹持面上均设置防滑层134，均可达到上述技术效果。具体的，所述防滑层可使用聚氨酯材质制成，固定于所述压板13和所述托板12的夹持面。

在本实用新型的一些实施例中，所述压板13和所述托板12之间设有产品感应器，当所述晶圆盘20进入所述托板12和所述压板13之间的夹持空间时，所述产品感应器传输信号至控制系统以驱使所述夹持机构10夹紧所述晶圆盘20，提高所述夹持机构10的自动化程度。

本实用新型还提出的一种晶圆生产设备，所述晶圆生产设备包括前述所有实施例中任一夹持机构10。本实用新型的晶圆生产设备，包括晶圆加工设备、晶圆封装设备或晶圆检测设备等。在一些实施例中，所述晶圆生产设备设有传动机构，所述传动机构和所述夹持机构10传动连接，以驱使所述夹持机构10在所述晶圆生产设备上位移，进而转移晶圆盘20。所述传动机构可以使用诸如机械手、直线传动机构或转动机构等，所述传动机构驱使所述夹持机构10靠近所述料盒，从料盒中夹取晶圆盘20；继而所述传动机构驱使所述夹持机构10远离所述料盒将晶圆盘20从料盒中取出，到达所述晶圆生产设备的载台30位置，所述夹持机构10松开对所述晶圆盘20的夹持后远离所述载台30，将晶圆盘20放置于所述载台30。进一步的，完成对所述晶圆盘20的加工或检测后，所述传动机构驱使所述夹持机构10靠近载台30夹持所述晶圆盘20，继而所述传动机构驱使夹持有所述晶圆盘20的夹持机构10靠近所述料盒，将所述晶圆盘20插入所述料盒中，所述夹持机构10松开对所述晶圆盘20的夹持后远离所述料盒，将所述晶圆盘20收置于所述料盒中。提高所述晶圆生产设备的自动化程度。

由于本实用新型提出的晶圆生产设备使用了前述夹持机构10的所有实施例中的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种夹持机构，其特征在于，包括：

固定座；

托板，所述托板设于所述固定座前方；

压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；

传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；

复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。

2.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述传动装置位于所述托板后侧，所述传动装置包括推动杆和抵持机构；

所述推动杆沿固定座的前后方向可伸缩地设于所述固定座，所述抵持机构设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端；所述压板背离所述托板一侧表面凸设有导向斜面，所述抵持机构沿固定座的前后方向设于所述导向斜面的后方；

当所述推动杆伸出运动时，所述抵持机构与所述导向斜面抵接，并沿所述导向斜面滑动，以驱使所述压板朝向所述托板下压。

3.如权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述抵持机构包括轴承固定座和轴承，所述轴承固定座设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端，所述轴承固定座背离所述推动杆的一侧固定有所述轴承；

当所述抵持机构沿所述导向斜面滑动，所述轴承的外圈与所述导向斜面滚动配合。

4.如权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述固定座内形成有前后贯通的容置空间，所述推动杆至少部分收容于所述容置空间内。

5.如权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，所述夹持机构还包括连接板，所述连接板设于所述固定座顶面，且朝所述固定座的前方延伸设置，所述夹持机构还包括连接块，所述连接块固定于所述连接板的下表面，所述托板固定于所述连接块背离所述连接板的一侧表面，所述连接块开设有避空孔，所述推动杆从所述避空孔伸出或回缩。

6.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述夹持机构还包括导向柱，所述托板设有连接孔，所述压板开设有贯通的导向孔，所述导向柱的一端插设于所述连接孔，另一端穿设于所述导向孔，所述压板沿所述导向柱的轴向靠近或远离所述托板。

7.如权利要求6所述的夹持机构，其特征在于，所述夹持机构还包括限位件，所述限位件固定于所述导向柱背离所述托板的一端，所述压板位于所述限位件和所述托板之间。

8.如权利要求6所述的夹持机构，其特征在于，所述复位件套设于所述导向柱，所述复位件一端抵接所述托板，另一端抵接所述压板，以驱使所述压板背离所述托板上升。

9.如权利要求1至8中任一所述的夹持机构，其特征在于，所述压板朝向所述托板的夹持面设有防滑层；

且/或，所述托板朝向所述压板的夹持面设有防滑层。

10.一种晶圆生产设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一所述的夹持机构。

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