CN212348679U - 粉体表面包覆机的粉体盛放机构和一种粉体表面包覆机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，涉及粉体表面包覆技术领域。其中，这种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，其可拆卸的配置于设置有第一气道的转轴。粉体盛放机构包含：内置有用以盛放粉体的反应腔和连通于反应腔的进气口和出气口的内桶、分别可拆卸的配置于进气口和出气口一对过滤件、可拆卸的配置于内桶和转轴且用以连通进气口和第一气道的连接管道。通过连接管道将内桶的进气口直接与转轴的第一气道相连通，以保证供气装置的输出气体能够直接输送到内桶的反应腔内，直接与粉体接触，而不再是传统反应气体自由扩散到反应腔中与粉体接触。大大提高了粉体与反应气体的接触效率，保证了包覆层的质量。

Description

粉体表面包覆机的粉体盛放机构和一种粉体表面包覆机

技术领域

本实用新型涉及粉体表面包覆领域，具体而言，涉及一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构和一种粉体表面包覆机。

背景技术

粉体表面包覆是通过表面化学反应来实现的，一般有机械搅拌融合法、化学溶液反应法，以及气相反应法三种方法。其中气相反应法主要包括原子层沉积法(ALD)、化学气相沉积(CVD)，以及分子层沉积法(MLD)。粉体表面包覆机是实现气相反应法粉体表面包覆的常用设备。目前表面包覆机普遍采用固定的外支撑桶和转动的内反应桶作为反应装置，并将供气装置和抽气装置连通于外支撑桶的内腔，来输送和排出反应的气体，气体进入内腔后自由扩散到内桶的反应腔内，并在粉体表面发生反应形成包覆层。但是传统的连接结构导致气体在进入外支撑桶的内腔后，不能迅速的进入内反应桶，导致最终制得的产品质量参差不齐。特别是当反应气体为低蒸汽压力的气体时，甚至无法进入反应桶内。

为了解决上述技术问题，发明人发明了“一种粉体表面包覆机的气体输送装置”，其包括一设置有过气通道的转轴，并将供气装置与过气通道相连通，以将供气装置输出的反应气体通过过气通道直接输出到内桶的反应腔内。而现有技术的内桶并不适用于该设置有过气通道的转轴。可以理解地，表面包覆机除了应用于粉体外，还可应用于其他‘待包覆件’，例如零部件、轴承、螺丝等工件，或药剂颗粒，或其他3D物体。有鉴于此，发明人在研究了现有的技术后特提出本申请。

实用新型内容

本实用新型提供了一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，旨在改善现有的内桶不适用于设置有过气通道的转轴的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，其可拆卸的配置于设置有第一气道的转轴。所述粉体盛放机构包含：

内桶，其内置有用以盛放粉体的反应腔，以及连通于所述反应腔的进气口和出气口；

一对过滤件，其分别可拆卸的配置于所述进气口和所述出气口，用以防止所述反应腔内的粉体跑出；

连接管道；其可拆卸的配置于所述内桶和所述转轴，且内置有连通所述第一气道和所述进气口的第二气道；

反应气体能够自第一气道穿过第二气道，并进入反应腔内并从出气口排出。

作为进一步优化，所述内桶包括筒状的桶身，以及可拆卸的设于桶身，且具有所述进气口的进气盖；所述连接管道可拆卸的配置于所述进气盖。

作为进一步优化，所述内桶还包括可拆卸的设于桶身，且具有所述出气口的出气盖。

作为进一步优化，所述桶身的内壁设置有用以搅拌并分散粉末的搅拌叶片。

作为进一步优化，所述粉体盛放机构还包括配置于所述内桶外壁的至少两个旋转叶片。

作为进一步优化，所述旋转叶片所在的平面于所述内桶的轴线具有夹角，所述夹角为10-80度。

作为进一步优化，所述连接管道的内壁设置有内螺纹或外壁设置有外螺纹，所述转轴设置有与之适配的外螺纹或内螺纹。

作为进一步优化，所述过滤件具有多个过滤孔，所述过滤孔的孔径为 0.01-10000微米。

作为进一步优化，所述过滤件的材料为镍、镍铬合金、304不锈钢、316L 不锈钢、铜中的一种。

作为进一步优化，所述内桶材质为不锈钢、镍、镍铬合金、钨、铜、陶瓷或或特氟龙之一。

本申请另提供一种粉体表面包覆机,其包括反应装置、驱动装置、供气装置、气体输送装置,所述反应装置包括粉体盛放机构，所述气体输送装置包括用以连接所述粉体盛放机构和所述驱动装置的转轴(12)；所述转轴(12) 设置有用以连通所述粉体盛放机构和所述供气装置的第一气道。所述粉体盛放机构为上述任一段所述的粉体盛放机构。

通过采用上述技术方案，本实用新型可以取得以下技术效果：

本实用新型的粉体盛放机构，通过连接管道将内桶的进气口直接与转轴的第一气道相连通，以保证供气装置的输出气体能够直接且均匀的输送到内桶的反应腔内，直接与粉体接触，而不再是传统反应气体自由扩散到反应腔中与粉体接触。大大提高了粉体与反应气体的接触效率，保证了包覆层的质量。

本实用新型的粉体表面包覆机其采用了本实用新型的粉体盛放机构使得供应装置的输出气体能够直接且均匀的输送到内桶的反应腔内，同时反应腔内的粉体在表面包覆过程中不会从反应腔内跑出，大大提高了粉体与反应气体的接触效率，保证了包覆层的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一实施例，粉体盛放桶与其外部装置的结构简图；

图2是本实用新型一实施例，粉体盛放桶的轴测图；

图3是本实用新型一实施例，粉体盛放桶的爆炸图；

图中标记：1-过滤件；2-出气盖；3-搅拌叶片；4-旋转叶片；5-桶身；6-进气盖；7-连接管道；8-出气口；9-反应腔；10-进气口；11-内桶；12- 转轴。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

由图1至图3所示，在本实施例中，一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，其可拆卸的配置于设置有第一气道的转轴12。粉体盛放机构包含：

内置有反应腔9和连通于反应腔9的进气口10和出气口8的内桶11、分别可拆卸的配置于进气口10和出气口8的一对过滤件1、可拆卸的配置于内桶11和转轴12的连接管道7。反应腔9用来盛放粉体，连接管道7内置有用以连通第一气道和进气口10的第二气道。过滤件1具有多个过滤孔，过滤孔的孔径为0.01-10000微米，优选为20微米，过滤件1有较好的通透气性可以保证反应气体可以顺畅且均匀分布的通入样品桶，但粉末不会泄漏出来；反应气体自第一气道穿过第二气道，并进入反应腔9内，然后从出气口8排出。其中，内桶11材质为不锈钢、镍、镍铬合金、钨、铜、陶瓷或特氟龙等可以耐800℃以上的现有材料。过滤件1的材料为镍、镍铬合金、304不锈钢、316L不锈钢、铜等可以耐800℃以上的材料。

具体地，本实用新型的粉体盛放机构，通过连接管道7将内桶11的进气口10直接与转轴12的第一气道相连通，以保证供气装置的输出气体能够直接输送到内桶11的反应腔9内，直接与粉体接触，而不再是传统反应气体自由扩散到反应腔9中与粉体接触。大大提高了粉体与反应气体的接触效率，保证了包覆层的质量。该粉体盛放桶能够应用于粉体表面包覆机中，特别是ALD(原子层沉积法)粉末包覆设备，能够保证来自第一气道的反应气体顺畅且均匀分布的通入样品桶，并且能够有效保证粉体在反应腔9 内充分的与反应气体接触，以保证粉体表面包覆的质量，具有很好的实际意义。

如图3所示，在本实施例中，内桶11包括筒状的桶身5、可拆卸的设于桶身5且具有进气口10的进气盖6，以及可拆卸的设于桶身5且具有出气口8的出气盖2。连接管道7可拆卸的配置于进气盖6。一对过滤件1分别配置于进气盖6和出气盖2，使得过滤片能够方便的从内桶11上拆下，大大方便了过滤片的清洗，以及粉体的装取。在另一实施例中，进气盖6 设置有气孔，所述内桶11还包括用以密封气孔的密封件，以使内桶11可以安装于传统的内部不具有第一气道的转动轴上适用。连接管道7的内壁设置有内螺纹或外壁设置有外螺纹，转轴12设置有与之适配的外螺纹或内螺纹。

安装粉体盛放桶时：启动驱动装置使转轴12保持低速转动,或使用脚踩开关随时控制转轴12的启停；然后用手扶住粉体盛放桶，使连接管道7 的轴线与转轴12的轴线对齐，轻微沿转轴12方向移动粉体盛放桶是螺纹配合，将连接管道7旋入转轴12，完成粉体盛放桶的安装。拆卸时扶住粉体盛放桶，使转轴12反向旋转即可。

如图2、图3所示，在本实施例中，粉体盛放机构还包括配置于内桶 11外壁的至少两个旋转叶片4。且旋转叶片4所在的平面于内桶11的轴线具有夹角，夹角为10-80度。在包覆过程中可以驱动粉体盛放桶外部的气体流动，提高热传递效率，使温度分布更均匀，保证反应腔9内处于最适合反应气体反应的温度。

如图3所示，在本实施例中，桶身5的内壁设置有用以搅拌并分散粉末的搅拌叶片3。使得粉体盛放桶在旋转过程中能够使粉体更好的翻滚，而不会在粉体盛放桶的地步打滑，具有很好的实际意义。

本领域技术人员通常称固体的蒸汽、反应气体或反应液体蒸汽为前驱体。

本申请另提供一种粉体表面包覆机,其包括反应装置、驱动装置、供气装置、气体输送装置,所述反应装置包括粉体盛放机构，所述气体输送装置包括用以连接所述粉体盛放机构和所述驱动装置的转轴12；所述转轴12设置有用以连通所述粉体盛放机构和所述供气装置的第一气道。所述粉体盛放机构为上述任一段所述的粉体盛放机构。本实用新型的粉体表面包覆机其采用了上述任一段所述的粉体盛放机构使得供应装置的输出气体能够直接且均匀的输送到内桶的反应腔内，同时反应腔内的粉体在表面包覆过程中不会从反应腔内跑出，大大提高了粉体与反应气体的接触效率，保证了包覆层的质量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构，其可拆卸的配置于设置有第一气道的转轴(12)，其特征在于，所述粉体盛放机构包含：

内桶(11)，其内置有用以盛放粉体的反应腔(9)，以及连通于所述反应腔(9)的进气口(10)和出气口(8)；

一对过滤件(1)，其分别可拆卸的配置于所述进气口(10)和所述出气口(8)，用以防止所述反应腔(9)内的粉体跑出；

连接管道(7)；其可拆卸的配置于所述内桶(11)和所述转轴(12)，且内置有连通所述第一气道和所述进气口(10)的第二气道；

反应气体能够自第一气道穿过第二气道，进入反应腔(9)内，并从出气口(8)排出。

2.根据权利要求1所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于,所述内桶(11)包括筒状的桶身(5)，以及可拆卸的设于桶身(5)，且具有所述进气口(10)的进气盖(6)；所述连接管道(7)可拆卸的配置于所述进气盖(6)。

3.根据权利要求2所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述内桶(11)还包括可拆卸的设于桶身(5)，且具有所述出气口(8)的出气盖(2)。

4.根据权利要求2所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述桶身(5)的内壁设置有用以搅拌并分散粉末的搅拌叶片(3)。

5.根据权利要求1所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述粉体盛放机构还包括配置于所述内桶(11)外壁的至少两个旋转叶片(4)。

6.根据权利要求5所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述旋转叶片(4)所在的平面于所述内桶(11)的轴线具有夹角，所述夹角为10-80度。

7.根据权利要求1所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述连接管道(7)的内壁设置有内螺纹或外壁设置有外螺纹，所述转轴(12)设置有与之适配的外螺纹或内螺纹。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述过滤件(1)具有多个过滤孔，所述过滤孔的孔径为0.01-10000微米。

9.根据权利要求1-7任一项所述的一种粉体表面包覆机的粉体盛放机构,其特征在于，所述过滤件(1)的材料为镍、镍铬合金、304不锈钢、316L不锈钢、铜中的一种；所述内桶的材质为不锈钢、镍、镍铬合金、钨、铜、陶瓷或特氟龙之一。

10.一种粉体表面包覆机,其包括反应装置、驱动装置、供气装置、气体输送装置,所述反应装置包括粉体盛放机构，所述气体输送装置包括用以连接所述粉体盛放机构和所述驱动装置的转轴(12)；所述转轴(12)设置有用以连通所述粉体盛放机构和所述供气装置的第一气道；其特征在于，所述粉体盛放机构为权利要求1-9任一项所述的粉体盛放机构。

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