CN212331467U - 一种晶棒加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶棒加工装置，所述装置包括夹具和至少两个轴承滑轮，其中，所述夹具至少包括第一夹具平面和第二夹具平面，所述第一夹具平面和所述第二夹具平面上下重叠，并且可上下调节地固定连接；所述轴承滑轮可拆卸地固定于所述第一夹具平面和所述第二夹具平面之间。该装置可直接加工晶体的两个平边，从而节省加工时间，增加产能，同时提高晶体平边角度的精度。

Description

一种晶棒加工装置

技术领域

本实用新型涉及晶片加工领域，具体涉及一种晶棒加工装置。

背景技术

在碳化硅晶棒的加工过程中，需要将晶棒进行平边处理，称之为晶棒平边。目前，晶棒平边的操作通常包括，将晶棒固定在夹具中，手动旋转晶体，可以通过X光线找寻平边角度，确认角度后锁紧夹具的螺丝，并将夹具移至平面磨床进行平边加工，加工完成后将螺丝卸除，将晶棒手动旋转90度，重复上述操作。

由此可见，现行的晶棒平边加工方式通常需要在每次加工前完成解固定、旋转确认角度和再固定的操作，这样的操作比较繁琐，不利于提高生产效率。同时，还需要借助其他设备或装置来精准控制或确认晶棒的旋转角度，以避免在后续的加工工艺中发生定位错误。根据SiC业界规范，晶片的每条边的夹角都要保持90度，若不精准，会对后段加工设备在找定位时发生错误，严重时会造成晶片的报废。

因此，本领域技术人员亟需一种方便拆卸并可以准确固定角度的工艺，以提高晶棒平边的加工效率。

发明内容

为解决上述晶棒平边效率低并且旋转角度不精确的缺陷，本实用新型提供了一种晶棒加工装置，其目的在于利用夹具本身的直角以及在特定位置设置轴承滑轮孔，从而避免每次加工都需要重新固定晶棒以及借助其他设备确认旋转角度的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的一种技术方案是：一种晶棒加工装置，其特征在于，所述装置包括夹具和至少两个轴承滑轮，其中，所述夹具至少包括第一夹具平面和第二夹具平面，所述第一夹具平面和所述第二夹具平面间距可调地相对固定设置；所述轴承滑轮可拆卸地固定于所述第一夹具平面和所述第二夹具平面之间，用于从另一方向上固定晶棒。

优选地，所述轴承滑轮通过轴心与所述夹具的轴承滑轮孔可拆卸连接。

优选地，在所述夹具的不同位置设置所述轴承滑轮孔以适应不同尺寸的晶棒固定位置。

优选地，所述第一夹具平面和第二夹具平面的至少一侧的外表面还包括突出平面，所述突出平面可以通过磁力吸附固定所述装置。

优选地，所述夹具的平面通过螺丝调节其相对位置并固定。

与现有技术相比，本实用新型提供的优点在于：(1)利用本实用新型提供的装置可直接加工晶棒的两个平边而不用旋转确认平边角度，从而节省加工时间，增加产能；(2)利用本实用新型提供的装置可直接确定晶棒两次平边的角度，并且保证两次平边的夹角为90度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简要说明，显然，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，并不构成对本发明保护范围的限制。在理解本发明目的和精神的情况下，本领域普通技术人员可根据其掌握的常识对其进行适当扩展。

图1a-1c：本实用新型一个实施例提供的4寸和6寸晶棒加工装置的俯视结构示意图(未显示第一夹具平面)；

图2：本实用新型另一个实施例提供的晶棒加工装置的主视结构示意图；

图3：本实用新型另一个实施例提供的轴承滑轮示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护的范围。

图1a-1c示出了4寸和6寸晶棒的俯视结构示意图(未显示第一夹具平面)。

如图1a所示，装置包括夹具平面301(为了更清楚地显示结构，图中未显示第一夹具平面，仅显示第二夹具平面)、螺丝302、轴承滑轮303和304，以及突起平面305。具体的，夹具平面通过螺丝302将晶棒在垂直方向上固定(通过螺丝调整第一夹具平面和第二夹具平面之间的间距来固定晶棒)，轴承滑轮303和304在水平方向上固定晶棒，使得晶棒超出夹具平面两边的距离相等。

可选实施例中，夹具平面为边长为100～180mm的正方形；轴承滑轮的位置根据晶棒的尺寸确定，两个轴承滑轮分别放置于晶棒圆心下方左右各 1～50mm的位置，使得晶棒超出夹具平面的边沿1～20mm。如图1b所示，轴承滑轮303用于固定4寸晶棒；如图1c所示，轴承滑轮304用于固定6寸晶棒。

可选实施例中，夹具平面通过五个螺丝来固定，螺丝分别位于夹具平面的左下、右上及右下位置，每个螺丝之间的距离为5～80mm。

图2为本实用新型另一个实施例提供的晶棒加工装置的主视结构示意图。

如图所示，第一夹具平面401和第二夹具平面402通过螺丝403将晶棒 (图中未示出)固定于内表面之间，至少两个轴承滑轮404在水平方向上固定晶棒。

可选实施例中，第一夹具平面401和第二夹具平面402的外表面还包括突出平面405，突出平面405可以通过磁力吸附固定所述装置。具体的，本实施例采用的平面磨床是利用磁力来固定加工装置，通过突出平面405与平面磨床的接触，使得加工装置固定更牢固。可选实施例中，本实用新型实施例提供的加工装置可以取代平面磨床中原本的夹具，当第一次将加工装置的两个夹具平面锁紧，使得晶棒固定后，移至平面磨床上对加工装置的其中一条边进行加工，完成后直接翻转加工装置，即可开始对另一条边的加工，从而避免手动旋转晶体造成两个平边夹度不精准的缺陷。可选实施例中，轴承滑轮可选为如图3所示。

以上对本实用新型所提供的一种晶棒加工装置进行了详尽介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，对本实用新型的变更和改进将是可能的，而不会超出附加权利要求所规定的构思和范围，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (5)

1.一种晶棒加工装置，其特征在于，所述装置包括夹具和至少两个轴承滑轮，其中，所述夹具至少包括第一夹具平面和第二夹具平面，所述第一夹具平面和所述第二夹具平面间距可调地相对固定设置；所述轴承滑轮可拆卸地固定于所述第一夹具平面和所述第二夹具平面之间，用于从另一方向上固定晶棒。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述轴承滑轮通过轴心与所述夹具的轴承滑轮孔可拆卸地连接。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，在所述夹具的不同位置设置所述轴承滑轮孔以适应不同尺寸的晶棒固定位置。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一夹具平面和/或第二夹具平面的至少一侧的外表面还包括突出平面，所述突出平面可以通过磁力固定所述装置。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹具的平面通过螺丝调节其相对位置并固定。

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