CN212302327U - 一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及杀菌除臭技术领域，具体来说是一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，包括准分子灯箱，准分子灯箱内设有若干准分子灯，其特征在于所述准分子灯箱一端连接氮气充入口，准分子灯箱另一端连接氮气出口，准分子灯箱内设有基材，基材设置于封闭腔体外侧，还包括PLC控制装置，PLC控制装置通过信号线连接氮气输送装置；其优点在于：准分子灯与空气中的氧气发生光化学反应能够生成臭氧，充入氮气能够控制臭氧的浓度，使得臭氧浓度保持在最佳的浓度。
Description
技术领域
本实用新型涉及杀菌除臭技术领域，具体来说是一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置。
背景技术
利用具有强氧化力的臭氧(O3)能够用于进行杀菌处理和除臭处理。而且，作为臭氧的生成方法，已知有放电方式及光化学反应方式等，所述放电方式是在臭氧原料气体(具体而言，例如空气等含有氧(O2)的含氧气体)下，通过产生沿面放电等无声放电来生成臭氧，所述光化学反应方式是通过对臭氧原料气体照射紫外线来生成臭氧。
公开有一发明专利：处理方法，专利号：2018800125427，该发明是通过对臭氧原料气体照射不包含将臭氧分解的波长区域的光、并且作为波长为 200nm以下的光的臭氧生成用光而得到含臭氧气体，通过将处理对象体在相对湿度为55％以下的 低湿度条件下曝露于所得到的含臭氧气体中，从而对该处理对象物进行处理。
但是该发明只提到了处理方法，现有技术中也并没有对于处理处理物时，如何对臭氧浓度进行控制的装置，而已知的，臭氧浓度的不同对于杀菌和除臭的效果是不同的，且不是臭氧浓度越高越好。
实用新型内容
本实用新型的目的在于解决现有技术中不存在控制臭氧浓度的装置，提供一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置。
为了实现上述目的，设计一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，包括准分子灯箱，准分子灯箱内设有若干准分子灯，其特征在于所述准分子灯箱一端连接氮气充入口，准分子灯箱另一端连接氮气出口。
优选地，准分子灯箱内设有基材， 基材设置于封闭腔体外侧。
本实用新型所述的一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置还包括如下装置：
PLC控制装置，PLC控制装置通过信号线连接氮气输送装置；
光强控制装置，PLC控制装置通过信号线连接光强控制装置；
一分隔板，分隔板设置于基材表面和准分子灯之间，氮气充入口和氮气出口设置于分隔板上方。
本实用新型同现有技术相比，其优点在于：准分子灯与空气中的氧气发生光化学反应能够生成臭氧，充入氮气能够控制臭氧的浓度，使得臭氧浓度保持在最佳的浓度。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
图中：1.准分子灯 2.氮气充入口 3.氮气出口 4.基材 5.分隔板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的结构和原理对本专业的人来说是非常清楚的。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
本实用新型采用172nm准分子灯，具体反应方程式如下：
1.O2→O3→O2+;
2.CxHyOz→CmHnOk (x>m,y>n,z>k);
综上：CmHnOk+O2+/O3→CO2+H2O+CO 。
由上述可知，臭氧浓度的变化对准分子灯的效果有显著影响。
原理如下：紫外线照射固体表面后，表面的污染物有机分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，最终挥发消失，被清洗后的表面清洁度极高，能把膜状的油污清洗到单分子层以下，水接触角可达小于等于1度。
本实用新型提供一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，包括准分子灯箱，准分子灯箱内顶部设有若干准分子灯，准分子灯箱一端设有氮气充入口，另一端设有氮气出口，在氮气充入口和氮气出口的底部设有分隔板，将氮气与分隔板底部的基材分隔，PLC控制装置通过信号线控制光强控制装置和氮气输送装置，能够控制光照强度和氮气充入量，氮气充入量可以改变臭氧浓度。在分隔板上部，准分子灯和氧气发生光化学反应，产生臭氧，生成的臭氧与分隔板下部的基材反应，使基材表面游离状态的污染物分子氧化生成无害或低害的二氧化碳或水等。
在B社的CF厂，Track line(涂胶显影)工艺段，试用臭氧浓度控制，实测臭氧浓度控制后在一定30PPM情况下，效果最佳(接触角降低最理想，产品良率最高)，臭氧浓度控制，首先通过实时测得臭氧浓度，然后即时调整冲氮量，达到臭氧浓度的瞬时，稳定控制。
Claims (5)
1.一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，包括准分子灯箱，准分子灯箱内设有若干准分子灯，其特征在于所述准分子灯箱一端连接氮气充入口，准分子灯箱另一端连接氮气出口。
2.如权利要求1所述的一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，其特征在于准分子灯箱内设有基材， 基材设置于封闭腔体外侧。
3.如权利要求1所述的一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，其特征在于还包括PLC控制装置，PLC控制装置通过信号线连接氮气输送装置。
4.如权利要求1所述的一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，其特征在于还包括光强控制装置，PLC控制装置通过信号线连接光强控制装置。
5.如权利要求1所述的一种用于准分子灯的光强和臭氧浓度控制装置，其特征在于还包括一分隔板，分隔板设置于基材表面和准分子灯之间，氮气充入口和氮气出口设置于分隔板上方。
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