CN212218915U - 自动去除胶板装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种自动去除胶板装置,包括上下设置的第一支架和第二支架,第一支架和第二支架位于同侧的其中一端通过纵向支架连接,第二支架远离纵向支架的一端设有一对滑轨,一对滑轨之间滑动连接有支撑板,第二支架上设有驱动支撑板沿滑轨移动的第一气缸,支撑板上纵向设有第二气缸,第二气缸的顶部设有旋转电机,旋转电机的输出端与第三支架连接,第三支架的顶部凹设有供第二支架远离纵向支架一端穿过的凹槽。该装置通过结构配合,实现脱胶自动化,整体自动化水平高,提高脱胶效率,避免安全隐患,减少人工成本。
Description
技术领域
本申请涉及半导体晶圆设备领域,特别是一种自动去除胶板装置。
背景技术
半导体晶圆经线切割下料并运输至脱胶机处进行脱胶,在脱胶过程中,晶圆顶部粘附在胶板上,机械手将装有晶圆的硅片花篮运输至加热槽内加热,加热后通过机械手对胶板进行夹持后通过升降的方式将胶板从晶圆上取出,然后由人工将胶板从机械手上取下,机械手再通过升降的方式将花篮取出进而实现脱胶。该过程中人工取出胶板存在安全隐患,且自动化较低,影响脱胶效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种自动去除胶板装置,以克服现有技术中的不足。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
本申请实施例公开了自动去除胶板装置,其特征在于::包括上下设置的第一支架和第二支架,所述第一支架和第二支架位于同侧的其中一端通过纵向支架连接,所述第二支架远离纵向支架的一端设有一对滑轨,一对所述滑轨对称设置在第二支架的两侧且相向设置,一对所述滑轨之间滑动连接有支撑板,所述第二支架上设有驱动支撑板沿滑轨移动的第一气缸,所述支撑板上纵向设有第二气缸,所述第二气缸的顶部设有旋转电机,所述旋转电机的输出端向上设置,所述旋转电机的输出端与第三支架连接,所述第三支架的顶部凹设有供第二支架远离纵向支架一端穿过的凹槽。
优选的,在上述的自动去除胶板装置中,所述第三支架的截面呈“山”字型。
优选的,在上述的自动去除胶板装置中,所述凹槽两侧的第三支架的顶部设有支撑台。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
该装置通过第一气缸将第三支架延伸至机械手底部,旋转电机旋转第三支架与胶板平行,机械手正好将胶板放置在第三支架顶部,第一气缸驱动第三支架使得第一支架插入第三支架内,第二气缸带动第三支架下降进而胶板刚好放置在第一支架上,整体自动化水平高,提高脱胶效率,避免安全隐患,减少人工成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。
图1所示为本实用新型具体实施例中自动去除胶板装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参图1所示,本实施例中的自动去除胶板装置,包括上下设置的第一支架1和第二支架2,第一支架1和第二支架2位于同侧的其中一端通过纵向支架3连接,第二支架2远离纵向支架3的一端设有一对滑轨4,一对滑轨4对称设置在第二支架2的两侧且相向设置,一对滑轨4之间滑动连接有支撑板5,第二支架2上设有驱动支撑板5沿滑轨4移动的第一气缸6,支撑板5上纵向设有第二气缸7,第二气缸7的顶部设有旋转电机8,旋转电机8的输出端向上设置,旋转电机8的输出端与第三支架9连接,第三支架9的顶部凹设有供第二支架2远离纵向支架3一端穿过的凹槽10。
进一步的,第三支架9的截面呈“山”字型。
在该技术方案中,该装置通过第一气缸将第三支架延伸至机械手底部,旋转电机旋转第三支架与胶板平行,机械手正好将胶板放置在第三支架顶部,第一气缸驱动第三支架使得第一支架插入第三支架内,第二气缸带动第三支架下降进而胶板刚好放置在第一支架上,整体自动化水平高,提高脱胶效率,避免安全隐患,减少人工成本。
在一实施例中,凹槽10两侧的第三支架9的顶部设有支撑台11。
在该技术方案中,通过支撑台对胶板进行托举,更加稳定。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上仅是本申请的具体实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (3)
1.一种自动去除胶板装置,其特征在于:包括上下设置的第一支架和第二支架,所述第一支架和第二支架位于同侧的其中一端通过纵向支架连接,所述第二支架远离纵向支架的一端设有一对滑轨,一对所述滑轨对称设置在第二支架的两侧且相向设置,一对所述滑轨之间滑动连接有支撑板,所述第二支架上设有驱动支撑板沿滑轨移动的第一气缸,所述支撑板上纵向设有第二气缸,所述第二气缸的顶部设有旋转电机,所述旋转电机的输出端向上设置,所述旋转电机的输出端与第三支架连接,所述第三支架的顶部凹设有供第二支架远离纵向支架一端穿过的凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种自动去除胶板装置,其特征在于:所述第三支架的截面呈“山”字型。
3.根据权利要求1所述的一种自动去除胶板装置,其特征在于:所述凹槽两侧的第三支架的顶部设有支撑台。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111571830A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-08-25 | 张家港市德昶自动化科技有限公司 | 自动去除胶板装置 |
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2020
- 2020-05-08 CN CN202020747449.5U patent/CN212218915U/zh active Active
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