CN212199446U - 一种实验室用填孔中试槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种实验室用填孔中试槽，包括填孔槽本体，所述填孔槽本体上端设有集气装置，所述填孔槽本体两侧内壁设有喷气管，所述填孔槽本体两侧外壁设有进气装置，所述填孔槽本体另一侧外壁设有支撑台，所述支撑台上放置有转动调节装置，所述进气装置的进气管与喷气管上的进气口连通，所述转动调节装置的连接杆与喷气管的一端上表面固定连接，所述喷气管两端的支柱与固定填孔槽内壁的固定柱转动连接。本实用新型通过转动调节装置的步进电机控制喷气管往复转动，喷出的气体也做往复转动，使电镀液均匀反应；所喷的气体采用氮气，对电镀液没有影响，避免了氧化消耗电镀液；集气罩可有效地抽取并过滤夹杂湿润电镀液的氮气。

Description

一种实验室用填孔中试槽

技术领域

本实用新型涉及一种电镀装置，尤其涉及一种实验室用填孔中试槽。

背景技术

电子产品的体积日趋轻薄短小，通盲孔上直接叠孔是获得高密度互联的设计方法。要做好叠孔，首先应将孔底平坦性做好。典型的平坦孔面的制作方法有好几种，电镀填孔工艺就是其中具有代表性的一种。电镀填孔工艺除了可以减少额外制程开发额必要性，也与现行的工艺设备兼容，有利于获得良好的可靠性。电镀填孔有以下几方面的优点：有利于设计叠孔和盘上孔；改善电气性能，有助于高频设计；有助于散热；塞孔和电气互连一步完成；盲孔内用电镀铜填满，可靠性更高，导电性能比导电胶更好。

电镀填孔试验一般需求电镀液保持均匀，使电镀填孔效果更好，目前常用的方法为喷液和喷气，两种方法各有优劣，实验室电镀填孔常采用喷气法，但喷气法一般吸取空气喷入电镀液，由于空气中的氧气会部分氧化电镀液，会造成电镀液损耗，且对使用过的空气没有有效的后续处理，对环境有一定的污染，目前的喷气方法一般采用静态喷气，使电镀液往往不能达到理想的均匀状态。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提出一种高效利用电镀液、填孔效果好、环保的实验室用填孔中试槽。

本实用新型采用以下技术方案：一种实验室用填孔中试槽，包括填孔槽本体，所述填孔槽本体内部均匀分布填孔板，所述填孔槽本体上端设有集气装置，所述填孔槽本体两侧外壁设有进气装置，所述填孔槽本体两侧内壁设有喷气管，所述填孔槽本体另一侧外壁设有支撑台，所述支撑台上放置有转动调节装置，所述转动调节装置设有步进电机、转轴、连接杆，所述连接杆一端与喷气管连接，所述喷气管两端设有支柱，所述支柱与填孔槽本体两侧内壁的固定柱转动连接，所述进气装置设有氮气源、气泵、进气管，所述进气管贯穿填孔槽本体侧壁与位于喷气管中间的进气口连通。

进一步的，所述转动调节装置有两个，分别位于支撑台两侧，两个转动调节装置分别调节对应的喷气管的转动。

进一步的，所述步进电机放置于支撑台上，所述步进电机与转轴连接，所述转轴与连接杆相连，所述连接杆为拱形结构，步进电机的转轴转动，带动连接杆，从而使喷气管转动。

进一步的，所述进气装置有两个，分别位于两根喷气管侧端，两个进气装置分别给对应的喷气管提供氮气。

进一步的，所述氮气源、气泵通过进气管相连，所述进气管进入填孔槽本体内腔部分为弹性软管，使进气管处于填孔槽内腔部分不影响喷气管的转动。

进一步的，所述喷气管上设有喷气孔，所述喷气孔与填孔板间隔分布，喷气孔喷出氮气搅动电镀液。

进一步的，所述喷气管上的喷气孔开口均朝向填孔槽本体内腔水平方向，并且两排喷气孔错位分布，错位分布的喷气孔可减弱喷气时的相互影响。

进一步的，所述支柱为圆柱形结构，所述固定柱为圆柱环结构，支柱与固定柱的圆环相匹配，喷气管通过支柱的作用放置于填孔槽本体内腔的固定柱上，使喷气管可以在填孔槽本体内转动。

进一步的，所述支撑台为直角四棱锥结构，所述支撑台位于填孔槽本体侧壁上端，支撑台可以放置实验物品。

进一步的，所述集气装置设有集气罩和出气管，所述出气管位于集气罩上端，所述集气罩为棱锥台结构，所述集气罩内设有干燥剂，集气装置将带有电镀液的氮气干燥过滤后排出实验室。

本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型通过转动调节装置的步进电机控制喷气管往复转动，使喷出的气体也做往复转动，充分搅动了电镀液，并且两根喷气管上的喷气孔错位分布，可减弱两根喷气管喷气时的相互影响，并使电镀液充分均匀，填孔效果更好。

2.所喷的气体采用的是氮气，对电镀液没有影响，避免了喷空气时空气中所含的氧气对电镀液氧化，提高了电镀液的利用率。

3.集气装置可有效地抽取经由电镀液的氮气，并且集气罩内的干燥剂可有效过滤夹杂湿润电镀液的氮气，使利用过的氮气不会污染空气。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的正视图。

图3为本实用新型的侧视图。

图4为本实用新型的转动调节装置结构示意图。

图5为本实用新型的进气装置结构示意图。

图6为本实用新型的喷气管结构示意图。

图7为本实用新型的固定柱结构示意图。

附图标记说明：

10填孔槽本体、11填孔板、12喷气管、121支柱、122固定柱、 123喷气孔、124、进气口、13转动调节装置、131步进电机、132转轴、133连接杆、14支撑台、15进气装置、151氮气源、152进气管、 153气泵、16集气装置、161出气管、162集气罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的实施例中的附图，对本实用新型的实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

一种实验室用填孔中试槽，包括填孔槽本体10，填孔槽本体10 内部均匀分布填孔板11，填孔槽本体10上端设有集气装置16，填孔槽本体10两侧外壁设有进气装置15，填孔槽本体10两侧内壁设有喷气管12，填孔槽本体10另一侧外壁设有支撑台14，支撑台14上放置有转动调节装置13，转动调节装置13设有步进电机131、转轴 132、连接杆133，连接杆133一端与喷气管12连接，喷气管12两端设有支柱121，支柱121与填孔槽本体10两侧内壁的固定柱122 转动连接，进气装置15设有氮气源151、气泵153、进气管152，进气管152贯穿填孔槽本体10侧壁与位于喷气管12中间的进气口124 连通。

转动调节装置13有两个，分别位于支撑台14两侧，两个转动调节装置13分别调节对应的喷气管12的转动；步进电机131放置于支撑台14上，步进电机131与转轴132连接，转轴132与连接杆133 相连，连接杆133为拱形结构，步进电机131的转轴132转动，带动连接杆133，从而使喷气管12转动；进气装置15有两个，分别位于两根喷气管12侧端，两个进气装置15分别给对应的喷气管12提供氮气；氮气源151、气泵153通过进气管152相连，进气管152进入填孔槽本体10内腔部分为弹性软管，使进气管152处于填孔槽内腔部分不影响喷气管12的转动；喷气管12上设有喷气孔123，喷气孔 123与填孔板11间隔分布，喷气孔123喷出氮气搅动电镀液；喷气管12上的喷气孔123开口均朝向填孔槽本体10内腔水平方向，并且两排喷气孔123错位分布，错位分布的喷气孔123可减弱喷气时的相互影响；支柱121为圆柱形结构，固定柱122为圆柱环结构，支柱 121与固定柱122的圆环相匹配，喷气管12通过支柱121的作用放置于填孔槽本体10内腔的固定柱122上，使喷气管12可以在填孔槽本体10内转动。

支撑台14为直角四棱锥结构，支撑台14位于填孔槽本体10侧壁上端，支撑台14可以放置实验物品；集气装置16设有集气罩162 和出气管161，出气管161位于集气罩162上端，出气管161连接抽风机，集气罩162为棱锥台结构，集气罩162内设有干燥剂，集气装置16将带有电镀液的氮气干燥过滤后排出实验室。

实施例2

本实用新型的电镀液的液位高度至少高于喷气管12的高度，使喷气管12处于电镀液内，从而在喷气时不会导致电镀液飞溅，具体使用时，等到电镀液浸没喷气管12时，打开气泵153，气泵153抽取氮气由进气管152进入喷气管12，喷气管12将氮气喷出，填孔试验结束时，通过步进电机131将喷气孔123朝向填孔槽底部时关闭步进电机131，排出电镀液，电镀液液位降至喷气管12下面时关闭气泵153；喷气管12转动时两台步进电机131的转轴132沿相反的方向旋转，旋转角度为50°～75°，使每半个转动周期，两根喷气管 12都可以对填孔槽本体10内腔全覆盖的喷气，保证电镀液的均匀性；本实施例的填孔板11设有6块，每跟喷气管12上的喷气孔123设有 7个，使每一块填孔板11的间隔都有氮气喷射；喷气管12、进气管 152、连接杆133都是防腐蚀材料制成的；集气罩162内设有的干燥剂为了避免与电镀液发生化学反应，采用物理干燥剂。

Claims (10)

1.一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，包括填孔槽本体(10)，所述填孔槽本体(10)内部均匀分布填孔板(11)，所述填孔槽本体(10)上端设有集气装置(16)，所述填孔槽本体(10)两侧外壁设有进气装置(15)，所述填孔槽本体(10)两侧内壁设有喷气管(12)，所述填孔槽本体(10)另一侧外壁设有支撑台(14)，所述支撑台(14)上放置有转动调节装置(13)，所述转动调节装置(13)设有步进电机(131)、转轴(132)、连接杆(133)，所述连接杆(133)一端与喷气管(12)连接，所述喷气管(12)两端设有支柱(121)，所述支柱(121)与填孔槽本体(10)两侧内壁的固定柱(122)转动连接，所述进气装置(15)设有氮气源(151)、气泵(153)、进气管(152)，所述进气管(152)贯穿填孔槽本体(10)侧壁与位于喷气管(12)中间的进气口(124)连通。

2.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述转动调节装置(13)有两个，分别位于支撑台(14)两侧。

3.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述步进电机(131)放置于支撑台(14)上，所述步进电机(131)与转轴(132)连接，所述转轴(132)与连接杆(133)相连，所述连接杆(133)为拱形结构。

4.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述进气装置(15)有两个，分别位于两根喷气管(12)侧端。

5.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述氮气源(151)、气泵(153)通过进气管(152)相连，所述进气管(152)进入填孔槽本体(10)内腔部分为弹性软管。

6.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述喷气管(12)上设有喷气孔(123)，所述喷气孔(123)与填孔板(11)间隔分布。

7.根据权利要求1或6所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述喷气管(12)上的喷气孔(123)开口均朝向填孔槽本体(10)内腔水平方向，并且两排喷气孔(123)错位分布。

8.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述支柱(121)为圆柱形结构，所述固定柱(122)为圆柱环结构，支柱(121)与固定柱(122)的圆环相匹配。

9.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述支撑台(14)为直角四棱锥结构，所述支撑台(14)位于填孔槽本体(10)侧壁上端。

10.根据权利要求1所述的一种实验室用填孔中试槽，其特征在于，所述集气装置(16)设有集气罩(162)和出气管(161)，所述出气管(161)位于集气罩(162)上端，所述集气罩(162)为棱锥台结构，所述集气罩(162)内设有干燥剂。

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