CN219586211U - 一种层叠板式电镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种层叠板式电镀装置，包括电镀槽、阳极组件及阴极载板，阳极组件设置在电镀槽内，阳极组件设置有多个，多个阳极组件沿竖直方向间隔分布，电镀槽具有第一槽体、第二槽体，第一槽体、第二槽体之间设置有可开闭的第一闸门，当第一闸门打开时，第一槽体、第二槽体之间相互连通，第一槽体、第二槽体内均设置有阳极组件，第一槽体的侧部具有第一开口，第二槽体的侧部具有第二开口，第一开口、第二开口处均设置有可开闭的第二闸门。本实用新型通过在电镀槽上设置可开闭的第一闸门和第二闸门，实现了电镀液可在两个槽体之间流通，其中一个槽体内进行电镀工艺时，另一个槽体内可进行上下料操作，提升了电镀效率，提高了电镀装置的产能。

Description

一种层叠板式电镀装置

技术领域

本实用新型涉及电镀装置技术领域，具体涉及一种层叠板式电镀装置。

背景技术

随着光伏产业的迅速发展，太阳能电池产业化制备技术越来越多样化，且制备成本也越来越低廉。电镀工艺是太阳能电池制备过程中的一道工序，通过电镀可以在太阳能电池片的表面形成金属电极，再配以阳极板并沉到电镀液中完成太阳能电池片的电镀过程。

目前，常见的电镀设备通常仅具有单个电镀槽，在进行电镀工艺时，需依次进行上料操作、电镀以及下料操作，即在电镀之前需要将待电镀的太阳能电池片放置在电镀槽中，进行电镀时将装置与电源接通并等待电镀完成，电镀完成后需将太阳能电池片从电镀槽中取出，该过程浪费了大量的时间，尤其是等待电镀完成的时间，因此现有的电镀设备的电镀效率较低，电镀设备的产能无法提高。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种层叠板式电镀装置，特别是一种结构简单、电镀效率高的层叠板式电镀装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种层叠板式电镀装置，包括电镀槽、阳极组件以及阴极载板，所述的阳极组件设置在所述的电镀槽内，所述的阳极组件设置有多个，多个所述的阳极组件沿竖直方向间隔分布，所述的阴极载板的数量与所述的阳极组件的数量一致，所述的电镀槽具有第一槽体、第二槽体，所述的第一槽体、第二槽体之间设置有可开闭的第一闸门，当所述的第一闸门打开时，所述的第一槽体、第二槽体之间相互连通，所述的第一槽体、第二槽体内均设置有所述的阳极组件，所述的第一槽体的侧部具有第一开口，所述的第二槽体的侧部具有第二开口，所述的第一开口、第二开口处均设置有可开闭的第二闸门。

优选地，所述的电镀槽相对两侧的内壁上均开设有导向槽，所述的导向槽沿竖直方向延伸，所述的第一闸门可移动地设置在所述的导向槽内。

优选地，所述的第一开口、第二开口分别位于所述的第一闸门的相对两侧。

优选地，所述的阳极组件包括阳极载板、阳极板，所述的阳极载板上开设有贯穿其两侧的第一通槽，所述的阳极板设置在所述的第一通槽内，所述的第一通槽的侧壁上具有用于支撑所述的阳极板的第一凸出部。

优选地，所述的阴极载板上开设有贯穿其两侧的第二通槽，待电镀工件设置在所述的第二通槽内，所述的第二通槽的侧壁上具有用于支撑待电镀工件的第二凸出部。

进一步优选地，所述的阴极载板上设置有压紧件，所述的压紧件的一端可转动地连接在所述的阴极载板上，所述的压紧件的另一端具有压紧部，转动所述的压紧件使所述的压紧部压紧在待电镀工件上。

优选地，所述的第一槽体的底部开设有第一通孔，所述的第二槽体的底部开设有第二通孔，所述的电镀装置还包括输送泵，所述的输送泵与所述的第一通孔通过第一管道连通，所述的输送泵与所述的第二通孔通过第二管道连通。

进一步优选地，所述的第一管道上设置有第一控制阀，所述的第一控制阀用于控制所述的第一管道内电镀液的流量；所述的第二管道上设置有第二控制阀，所述的第二控制阀用于控制所述的第二管道内电镀液的流量。

优选地，所述的电镀装置还包括补液槽，所述的补液槽与所述的输送泵连通，所述的补液槽用于盛放电镀液。

优选地，所述的第一槽体、第二槽体的相对两侧均开设有搅拌孔，所述的搅拌孔贯穿所述的第一槽体、第二槽体的侧壁，所述的搅拌孔用于连接液泵。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型通过在电镀槽上设置可开闭的第一闸门和第二闸门，实现了电镀液可在两个槽体之间流通，其中一个槽体内进行电镀工艺时，另一个槽体内可进行上下料操作，极大提升了电镀效率，提高了电镀装置的产能，且结构简单，操作方便，实用性好。

附图说明

附图1为本实施例的电镀装置的立体示意图；

附图2为本实施例的电镀装置的俯视示意图；

附图3为附图2中A-A的剖视示意图；

附图4为本实施例的电镀槽的立体示意图；

附图5为本实施例的阳极组件和阴极载板的立体示意图；

附图6为本实施例的阳极组件的立体示意图；

附图7为附图6中B处的局部放大示意图；

附图8为本实施例的阳极载板的立体示意图；

附图9为附图8中C处的局部放大示意图；

附图10为本实施例的阴极载板的立体示意图；

附图11为附图10中D处的局部放大示意图；

附图12为阴极载板上压紧件旋转后的局部放大示意图；

附图13为本实施例的电镀装置的结构示意简图。

以上附图中：

1、电镀槽；10、搅拌孔；11、第一槽体；110、第一开口；111、第一通孔；12、第二槽体；120、第二开口；121、第二通孔；13、第一闸门；14、第二闸门；15、导向槽；2、阳极组件；21、阳极载板；211、第一通槽；212、第一凸出部；22、阳极板；3、阴极载板；31、第二通槽；32、第二凸出部；33、压紧件；331、压紧部；4、支撑件；5、输送泵；61、第一管道；62、第二管道；63、第三管道；71、第一控制阀；72、第二控制阀；73、第三控制阀；8、补液槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

一种层叠板式电镀装置，如图1和图13所示，包括电镀槽1、阳极组件2、阴极载板3以及支撑件4，电镀槽1内可盛放电镀液，支撑件4设置在电镀槽1内，阳极组件2设置在电镀槽1内并连接在支撑件4上，阳极组件2设置有多个，多个阳极组件2沿竖直方向间隔分布，阴极载板3上用于放置待电镀的硅片，当电镀装置处于使用状态下时，阴极载板3插入在多个阳极组件2之间。

以下具体对各个部件及其连接关系做详细介绍：

电镀槽1沿水平方向延伸，其整体呈方形，电镀槽1的顶部敞开，电镀槽1具有第一槽体11、第二槽体12，第一槽体11和第二槽体12沿水平方向分布，第一槽体11和第二槽体12之间设置有可开闭的第一闸门13，具体地：如图1和图4所示，电镀槽1相对两侧的内壁上均开设有导向槽15，导向槽15沿竖直方向延伸，第一闸门13可移动地卡设在导向槽15内，即第一闸门13可沿竖直方向移动，当第一闸门13打开时，第一闸门13向上移动，使第一槽体11、第二槽体12之间相互连通，电镀液可在第一槽体11、第二槽体12之间流通，当第一闸门13关闭时，第一槽体11、第二槽体12之间保持相互独立。第一闸门13的四周和/或导向槽15内可设置用于密封的密封件，保证第一闸门13关闭时第一槽体11和第二槽体12的密封性良好。

如图1和图4所示，第一槽体11的侧部具有第一开口110，第二槽体12的侧部具有第二开口120，第一开口110和第二开口120处均设置有可开闭的第二闸门14，具体地：第一开口110和第二开口120分别位于电镀槽1的两端，即第一开口110和第二开口120分别位于第一闸门13的相对两侧，第一闸门13与两端的第二闸门14之间相互平行；第二闸门14与第一槽体11、第二槽体12的连接结构可采用第一闸门13与电镀槽1的连接结构，在此不再赘述。当第一开口110处的第二闸门14打开时，第一槽体11的侧部敞开，当第二开口120处的第二闸门14打开时，第二槽体12的侧部敞开。当然，第二闸门14和/或第一开口110、第二开口120处也可设置用于密封的密封件，保证第二闸门14关闭时第一槽体11和第二槽体12的密封性良好。

此外，电镀槽1的侧部还开设有搅拌孔10，搅拌孔10用于连接液泵，在电镀过程中可通过液泵对电镀槽1内的电镀液进行循环抽吸，提高电镀液的流动性，提升电镀效果。具体而言：如图1和图4所示，第一槽体11、第二槽体12的相对两侧均开设有搅拌孔10，搅拌孔10贯穿第一槽体11、第二槽体12的侧壁；搅拌孔10设置有多个，多个搅拌孔10沿水平方向分布。在本实施例中，第一槽体11和第二槽体12相对两侧的侧壁上均分别开设有三个均匀分布的搅拌孔10。

电镀装置还包括输送泵5，输送泵5分别与第一槽体11、第二槽体12相连通，输送泵5用于在第一槽体11和第二槽体12之间泵送电镀液。具体而言：如图13所示，第一槽体11的底部开设有第一通孔111，第二槽体12的底部开设有第二通孔121，输送泵5与第一通孔111通过第一管道61连通，输送泵5与第二通孔121通过第二管道62连通；为了便于控制输送泵5泵送电镀液的流量，第一管道61上设置有第一控制阀71，第一控制阀71用于控制第一管道61内电镀液的流量，第二管道62上设置有第二控制阀72，第二控制阀72用于控制第二管道62内电镀液的流量。

电镀装置还包括补液槽8，补液槽8与输送泵5连通，补液槽8内盛放有电镀液，输送泵5可将补液槽8内的电镀液泵送至第一槽体11或者第二槽体12内。具体而言：如图13所示，补液槽8与输送泵5之间通过第三管道63连通，第三管道63上设置有第三控制阀73，第三控制阀73用于控制补液槽8输送至输送泵5的电镀液的流量。

阳极组件2包括阳极载板21、阳极板22，如图6至图9所示，阳极载板21上开设有贯穿其两侧的第一通槽211，第一通槽211设置有多个，多个第一通槽211呈矩阵状均匀分布在阳极载板21上；第一通槽211的内侧壁上具有第一凸出部212，阳极板22设置在第一通槽211内，并通过第一凸出部212实现支撑；阳极板22也设置有多个，每个第一通槽211内均设置有一个阳极板22。

第一槽体11、第二槽体12内均设置有多个阳极组件2，以第一槽体11内的阳极组件2为例：如图2和图3所示，第一槽体11内设置有支撑件4，支撑件4沿竖直方向延伸，支撑件4的底部与第一槽体11的底部连接，支撑件4设置有多个，多个支撑件4分布在第一槽体11的四周，阳极组件2的阳极载板21连接在多个支撑件4上，且阳极载板21与水平面之间形成一定的夹角，便于电镀液的流动，提升电镀效果；多个阳极载板21沿竖直方向均匀分布，相邻两个阳极载板21之间形成有间隙；此外，第一槽体11内还设置有导电部件，导电部件与阳极载板21之间导通，阳极载板21通过该导电部件与电源的阳极电连接。第二槽体12内的阳极组件2的设置方式与第一槽体12内的相同，在此不再赘述。

如图10和图11所示，阴极载板3上开设有贯穿其两侧的第二通槽31，第二通槽31设置有多个，多个第二通槽31呈矩阵状均匀分布在阴极载板3上；第二通槽31的内侧壁上具有第二凸出部32，待电镀的硅片可设置在第二通槽31内，并通过第二凸出部32实现支撑，每个第二通槽31内均可放置有一个待电镀的硅片。此外，阴极载板3上还设置有压紧件33，压紧件33的一端可转动地连接在阴极载板3上，且位于第二通槽31的侧部，压紧件33的另一端具有沿水平方向延伸的压紧部331，如图12所示，转动压紧件33可使压紧部331压紧在待电镀的硅片上，使其稳定放置在阴极载板3上，防止掉落。

如图5所示，阴极载板3插入在多个阳极载板21的间隙中，并与多个支撑件4可拆卸地连接，且阴极载板3的多个第二通槽31的位置与阳极载板21的多个第一通槽211的位置相互对应；此外，第一槽体11、第二槽体12内还设置有导电部件，导电部件与阴极载板3之间导通，阴极载板3通过该导电部件与电源的阴极电连接。

以下具体阐述本实施例的电镀装置的工作过程：

打开第一开口110处的第二闸门14，将多个具有待电镀硅片的阴极载板3插入至位于第一槽体11内的多个阳极组件2之间，关闭第一开口120处的第二闸门14，并向第一槽体11内通入电镀液，接通电源并开始电镀；在此过程中，打开第二开口120处的第二闸门14，将多个阴极载板3插入至位于第二槽体12内的多个阳极组件2之间，关闭第二开口120处的第二闸门14。当第一槽体11完成电镀工艺后，将第一闸门13打开，使第一槽体11内的电镀液流入第二槽体12内，直至第一槽体11和第二槽体12内电镀液的液面平齐，关闭第一闸门13；再控制输送泵5工作，将第一槽体11内的剩余液体泵送至第二槽体12内；泵送完成后，第二槽体12内具有电镀液，接通电源并开始电镀，同时，将第一开口110处的第二闸门14打开，将第一槽体11内已完成电镀的阴极载板3取出，重新更换具有待电镀的硅片的阴极载板3。当第二槽体12完成电镀工艺后，重复上述过程。

也就是说，当第一槽体11、第二槽体12中的一个完成电镀工艺以后，通过第一闸门13和输送泵5将电镀液从第一槽体11、第二槽体12中的一个输送至另一个内，输送完成后第一槽体11、第二槽体12中的另一个开始进行电镀，此时通过第二闸门14取出第一槽体11、第二槽体12中的一个内已完成电镀的阴极载板3，并重新更换具有待电镀的硅片的阴极载板3，以此类推，重复该过程，极大提高了电镀效率，提升了产能。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种层叠板式电镀装置，包括电镀槽、阳极组件以及阴极载板，所述的阳极组件设置在所述的电镀槽内，所述的阳极组件设置有多个，多个所述的阳极组件沿竖直方向间隔分布，所述的阴极载板的数量与所述的阳极组件的数量一致，其特征在于：所述的电镀槽具有第一槽体、第二槽体，所述的第一槽体、第二槽体之间设置有可开闭的第一闸门，当所述的第一闸门打开时，所述的第一槽体、第二槽体之间相互连通，所述的第一槽体、第二槽体内均设置有所述的阳极组件，所述的第一槽体的侧部具有第一开口，所述的第二槽体的侧部具有第二开口，所述的第一开口、第二开口处均设置有可开闭的第二闸门。

2.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的电镀槽相对两侧的内壁上均开设有导向槽，所述的导向槽沿竖直方向延伸，所述的第一闸门可移动地设置在所述的导向槽内。

3.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的第一开口、第二开口分别位于所述的第一闸门的相对两侧。

4.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的阳极组件包括阳极载板、阳极板，所述的阳极载板上开设有贯穿其两侧的第一通槽，所述的阳极板设置在所述的第一通槽内，所述的第一通槽的侧壁上具有用于支撑所述的阳极板的第一凸出部。

5.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的阴极载板上开设有贯穿其两侧的第二通槽，待电镀工件设置在所述的第二通槽内，所述的第二通槽的侧壁上具有用于支撑待电镀工件的第二凸出部。

6.根据权利要求5所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的阴极载板上设置有压紧件，所述的压紧件的一端可转动地连接在所述的阴极载板上，所述的压紧件的另一端具有压紧部，转动所述的压紧件使所述的压紧部压紧在待电镀工件上。

7.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的第一槽体的底部开设有第一通孔，所述的第二槽体的底部开设有第二通孔，所述的电镀装置还包括输送泵，所述的输送泵与所述的第一通孔通过第一管道连通，所述的输送泵与所述的第二通孔通过第二管道连通。

8.根据权利要求7所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的第一管道上设置有第一控制阀，所述的第一控制阀用于控制所述的第一管道内电镀液的流量；所述的第二管道上设置有第二控制阀，所述的第二控制阀用于控制所述的第二管道内电镀液的流量。

9.根据权利要求7所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的电镀装置还包括补液槽，所述的补液槽与所述的输送泵连通，所述的补液槽用于盛放电镀液。

10.根据权利要求1所述的层叠板式电镀装置，其特征在于：所述的第一槽体、第二槽体的相对两侧均开设有搅拌孔，所述的搅拌孔贯穿所述的第一槽体、第二槽体的侧壁，所述的搅拌孔用于连接液泵。