CN212127491U - 一种光刻胶灌装装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光刻胶生产技术领域,尤其涉及一种光刻胶灌装装置,包括取胶筒，所述取胶筒沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室若干个，储胶室的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室的闸板，取胶筒的顶部设置有推动油缸，推动油缸的底部输出端设置有可上下升降的安装架，安装架的底部安装有负压泵，负压泵的输入端设置有吸取管头、负压泵的输出端设置有灌装管头，本实用新型解决了光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的问题，通过本灌装装置可以确保每一次定量抽取并灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，人工作业量降低，对生产工艺起到了明显的促进作用，硅片产品的生产质量得到提升，适宜推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，尤其涉及一种光刻胶灌装装置。
背景技术
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。
硅片制造工艺中，光刻胶在喷涂之前需要将其灌装到指定容器中，然后通过容器将其涂在硅片上，现有的光刻胶灌装最为常见的方式还是人工灌装，这样的工作方式下，每一次灌装涂用的光刻胶的胶液量无法保持一致，会影响产品的加工质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的缺点，而提出的一种光刻胶灌装装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种光刻胶灌装装置，包括取胶筒，所述取胶筒沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室若干个，储胶室的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室的闸板，所述取胶筒的顶部设置有推动油缸，推动油缸的底部输出端设置有竖向的推动伸缩臂，推动伸缩臂的底端设置有安装架，安装架的底部安装有负压泵，负压泵的输入端位于下方，输入端设置有吸取管头，吸取管头位于储胶室的上方，负压泵的输出端位于一侧，输出端向外引出输液管道，输液管道远离负压泵的端部设置有灌装管头。
优选的，所述取胶筒的中心插设有驱动轴，驱动轴的一端向外延伸至取胶筒的外侧，驱动轴的外端与旋转电机的输出端呈同心固定连接。
优选的，所述取胶筒的底部放置有胶液储藏盆。
优选的，所述取胶筒在每一个所述的储胶室的侧部对应位置处分别设置有推杆电机，推杆电机的输出端设置有推杆，推杆的端部铰接有闸板。
优选的，所述闸板盖合在储胶室的出口上，闸板由第一闸板和第二闸板组成，第二闸板的一端铰接在取胶筒上，第二闸板的另一端与第一闸板铰接，所述推杆远离推杆电机的一端铰接在第二闸板上。
优选的，所述储胶室的出口内侧壁两壁面对应位置处分别设置有滑轨，所述第一闸板的边缘两侧分别设置有与所述滑轨的位置相适配的导向轮。
本实用新型的有益效果是：通过本方案提出的灌装装置，解决了光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的问题，通过本灌装装置可以确保每一次定量灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，降低人工操作的作业量，对生产工艺起到了明显的促进作用，大大提升了硅片产品的生产质量，使用效果好，适宜推广使用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种光刻胶灌装装置的主视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种光刻胶灌装装置的俯视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种光刻胶灌装装置的闸板结构示意图。
图中：1胶液储藏盆、2取胶筒、3驱动轴、4储胶室、5推杆电机、6闸板、61第一闸板、62第二闸板、7推杆、8滑轨、9推动油缸、10安装架、11负压泵、12吸取管头、13输液管道、14灌装管头、15旋转电机、16导向轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
本实施例中，参照图1-3，一种光刻胶灌装装置，包括取胶筒2，取胶筒2的中心插设有驱动轴3，驱动轴3的一端向外延伸至取胶筒2的外侧，驱动轴3的外端与旋转电机15的输出端呈同心固定连接，通过旋转电机15驱动取胶筒2保持转动的姿态。如附图1所示，取胶筒2沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室4若干个，另外，取胶筒2的底部放置有胶液储藏盆1，倒入该胶液储藏盆1中的胶液可以完全填满位于取胶筒2最下方的那一个储胶室4。
储胶室4的出口处设置有可滑动盖合储胶室4的闸板6：取胶筒2在每一个的储胶室4的侧部对应位置处分别设置有推杆电机5，推杆电机5的输出端设置有推杆7，推杆7的端部铰接有闸板6，闸板6盖合在储胶室4的出口上，闸板6由第一闸板61和第二闸板62组成，第二闸板62的一端铰接在取胶筒2上，第二闸板62的另一端与第一闸板61铰接，推杆7远离推杆电机5的一端铰接在第二闸板62上，储胶室4的出口内侧壁两壁面对应位置处分别设置有滑轨8，第一闸板61的边缘两侧分别设置有与滑轨8的位置相适配的导向轮16。
取胶筒2的顶部设置有推动油缸9，推动油缸9的底部输出端设置有竖向的推动伸缩臂，推动伸缩臂的底端设置有安装架10，安装架10的底部安装有负压泵11，负压泵11的输入端位于下方，输入端设置有吸取管头12，吸取管头12位于储胶室4的上方，负压泵11的输出端位于一侧，输出端向外引出输液管道13，输液管道13远离负压泵11的端部设置有灌装管头14，通过灌装管头14进行灌装操作。
具体工作过程：启动旋转电机15带动取胶筒2进行周期性的逆时针转动，在取胶筒2转动的过程中，始终有一个储胶室4逐渐转动至最底部，通过推杆电机5推动闸板6，从而打开该最底部的储胶室4，该最底部的储胶室4内被灌满胶液，接着再次通过推杆电机5控制闸板6关闭储胶室4，随着取胶筒2的转动，最下方的取胶筒2逐渐转动至最上方，再推动闸板6，打开位于最上方的储胶室4，控制推杆油缸9推动负压泵11向下移动，从而将吸取管头12伸入储胶室4中，最终通过负压泵11即可将该储胶室4中的胶液完全抽出并从灌装管头14送出，由于储胶室4的容量是固定的，因此，可以确保每一次定量取胶并灌装，灌装过程可持续进行，降低人工操作的作业量，对生产工艺起到了明显的促进作用。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种光刻胶灌装装置，其特征在于，包括取胶筒(2)，所述取胶筒(2)沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室(4)若干个，储胶室(4)的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室(4)的闸板(6)，所述取胶筒(2)的顶部设置有推动油缸(9)，推动油缸(9)的底部输出端设置有竖向的推动伸缩臂，推动伸缩臂的底端设置有安装架(10)，安装架(10)的底部安装有负压泵(11)，负压泵(11)的输入端位于下方，输入端设置有吸取管头(12)，吸取管头(12)位于储胶室(4)的上方，负压泵(11)的输出端位于一侧，输出端向外引出输液管道(13)，输液管道(13)远离负压泵(11)的端部设置有灌装管头(14)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)的中心插设有驱动轴(3)，驱动轴(3)的一端向外延伸至取胶筒(2)的外侧，驱动轴(3)的外端与旋转电机(15)的输出端呈同心固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)的底部放置有胶液储藏盆(1)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)在每一个所述的储胶室(4)的侧部对应位置处分别设置有推杆电机(5)，推杆电机(5)的输出端设置有推杆(7)，推杆(7)的端部铰接有闸板(6)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述闸板(6)盖合在储胶室(4)的出口上，闸板(6)由第一闸板(61)和第二闸板(62)组成，第二闸板(62)的一端铰接在取胶筒(2)上，第二闸板(62)的另一端与第一闸板(61)铰接，所述推杆(7)远离推杆电机(5)的一端铰接在第二闸板(62)上。
6.根据权利要求5所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述储胶室(4)的出口内侧壁两壁面对应位置处分别设置有滑轨(8)，所述第一闸板(61)的边缘两侧分别设置有与所述滑轨(8)的位置相适配的导向轮(16)。
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2020
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