CN212113656U - 多尺寸集合的载片舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多尺寸集合的载片舟，包括左挡板，右挡板，设于左挡板和右挡板下部之间的两条连接杆，设于左挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第一限位棒支撑孔，设于右挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第二限位棒支撑孔；所述第一限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的矩形卡槽，所述第二限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的圆弧形卡槽，4个第一限位棒支撑孔的位置分别与4个第二限位棒支撑孔的位置相对应，位于左挡板上部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第一限位棒。本实用新型具有可在不更换承载舟的任何部件的情况下，插放不同尺寸的晶圆的特点。

Description

多尺寸集合的载片舟

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其是涉及一种多尺寸集合的载片舟。

背景技术

目前主要采用瓦片承载舟插放晶圆，然后将瓦片承载舟放置在舟支架上，放入炉膛内来实现半导体高温扩散，不同尺寸的晶圆高温扩散，需要更换对应尺寸的瓦片承载舟。

很多生产线同时生产4寸、5寸、6寸等不同晶圆的芯片，需要根据当前完成工艺的晶圆尺寸更换承载舟进行高温扩散。

但是，不同尺寸的承载舟如果没有放置在进行高温扩散工艺的炉膛内，该承载舟可能被外界污染。

发明内容

本实用新型的发明目的是为了克服现有技术中的承载舟智能只能放置单一尺寸晶圆的不足，提供了一种多尺寸集合的载片舟。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种多尺寸集合的载片舟，包括左挡板，右挡板，设于左挡板和右挡板下部之间的两条连接杆，设于左挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第一限位棒支撑孔，设于右挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第二限位棒支撑孔；所述第一限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的矩形卡槽，所述第二限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的圆弧形卡槽，4个第一限位棒支撑孔的位置分别与4个第二限位棒支撑孔的位置相对应，位于左挡板上部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第一限位棒，位于左挡板下部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第二限位棒，第一限位棒和第二限位棒一端的横截面均为矩形，第一限位棒和第二限位棒另一端的横截面均为圆形。

通过调节第一限位棒和第二限位棒在矩形卡槽及圆弧形卡槽中的位置，可以将2个第一限位棒和2个第二限位棒排列成半径不同的圆弧，从而用来支撑半径尺寸不同的晶圆。

因此，本实用新型可以在不更换承载舟的任何部件的情况下，插放不同尺寸的晶圆，适用范围广，有效降低了生产成本。

作为优选，所述第一限位棒的外周面上设有间隔排列的第一环形凹槽，所述第一环形凹槽的横截面呈矩形，第一环形凹槽的开口部位呈喇叭形向外张开。

横截面为矩形的第一环形凹槽便于定位晶圆的位置，喇叭形口便于晶圆的插放。

作为优选，所述第二限位棒的外周面上设有间隔排列的第二环形凹槽，所述第二环形凹槽的横截面呈向下拱起的圆弧形。

横截面呈圆弧形的第二环形凹槽，使第二限位棒的外周面呈波浪形，第二环形凹槽便于对晶圆进行托举，插放晶圆更加方便。

作为优选，左挡板和右挡板的下边缘均呈向下拱起的圆弧形。

作为优选，左挡板和右挡板下部均设有圆形通气孔。圆形通气孔的设置，使晶圆在加热扩散的过程中，气流更加通畅。

作为优选，左挡板和右挡板上部均设有矩形手抓握孔。

矩形手抓握孔的设置，使拿取本实用新型更加方便。

因此，本实用新型具有如下有益效果：可在不更换承载舟的任何部件的情况下，插放不同尺寸的晶圆，晶圆放置稳定性好，适用范围广，可有效降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图；

图2是图1中的C方向的一种结构示意图；

图3是图1中的D方向的一种结构示意图；

图4是本实用新型的第一限位棒的一种结构示意图；

图5是图4中的A处的一种局部放大图；

图6是本实用新型的第二限位棒的一种局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。

如图1、图2、图3所示的实施例是一种多尺寸集合的载片舟，包括左挡板1，右挡板2，设于左挡板和右挡板下部之间的两条连接杆3，设于左挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第一限位棒支撑孔4，设于右挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第二限位棒支撑孔5；第一限位棒支撑孔包括3个由上至下依次排列的矩形卡槽41，第二限位棒支撑孔包括3个由上至下依次排列的圆弧形卡槽51，4个第一限位棒支撑孔的位置分别与4个第二限位棒支撑孔的位置相对应，位于左挡板上部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第一限位棒6，位于左挡板下部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第二限位棒7，左挡板和右挡板的下边缘均呈向下拱起的圆弧形。

左挡板和右挡板下部均设有圆形通气孔11。左挡板和右挡板上部均设有矩形手抓握孔12。

如图4所示，第一限位棒和第二限位棒一端的横截面均为矩形，第一限位棒和第二限位棒另一端的横截面均为圆形。

如图5所示，第一限位棒的外周面上设有间隔排列的第一环形凹槽61，第一环形凹槽的横截面呈矩形，第一环形凹槽的开口部位呈喇叭形向外张开。

如图6所示，第二限位棒的外周面上设有间隔排列的第二环形凹槽71，第二环形凹槽的横截面呈向下拱起的圆弧形。

本实用新型的使用方法如下：

如图2、图3所示，调节第一限位棒和第二限位棒在矩形卡槽及圆弧形卡槽中的位置，使2个第一限位棒和2个第二限位棒围成半径为L1的圆弧，将半径为L1的晶圆8放置到2个第一限位棒的第一环形凹槽和对应的2个第二限位棒的第二环形凹槽中，晶圆被稳定的固定支撑；然后，再放入其它同尺寸的晶圆，相邻晶圆之间有间隙，然后将本实用新型放入高温扩散工艺炉中进行加热扩散；两个圆形通气孔使晶圆在加热扩散的过程中，气流更加通畅，扩散效果更好。

需要对半径为L2的晶圆进行加热扩散时，先调节第一限位棒和第二限位棒在矩形卡槽及圆弧形卡槽中的位置，使2个第一限位棒和2个第二限位棒围成半径为L2的圆弧，然后重复上述过程即可。其中，L1≠L2。

因此，本实用新型可以在不更换承载舟的任何部件的情况下，插放不同尺寸的晶圆，适用范围广，有效降低了生产成本。

应理解，本实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

Claims (6)

1.一种多尺寸集合的载片舟，其特征是，包括左挡板(1)，右挡板(2)，设于左挡板和右挡板下部之间的两条连接杆(3)，设于左挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第一限位棒支撑孔(4)，设于右挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第二限位棒支撑孔(5)；所述第一限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的矩形卡槽(41)，所述第二限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的圆弧形卡槽(51)，4个第一限位棒支撑孔的位置分别与4个第二限位棒支撑孔的位置相对应，位于左挡板上部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第一限位棒(6)，位于左挡板下部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第二限位棒(7)，第一限位棒和第二限位棒一端的横截面均为矩形，第一限位棒和第二限位棒另一端的横截面均为圆形。

2.根据权利要求1所述的多尺寸集合的载片舟，其特征是，所述第一限位棒的外周面上设有间隔排列的第一环形凹槽(61)，所述第一环形凹槽的横截面呈矩形，第一环形凹槽的开口部位呈喇叭形向外张开。

3.根据权利要求1所述的多尺寸集合的载片舟，其特征是，所述第二限位棒的外周面上设有间隔排列的第二环形凹槽(71)，所述第二环形凹槽的横截面呈向下拱起的圆弧形。

4.根据权利要求1所述的多尺寸集合的载片舟，其特征是，左挡板和右挡板的下边缘均呈向下拱起的圆弧形。

5.根据权利要求1所述的多尺寸集合的载片舟，其特征是，左挡板和右挡板下部均设有圆形通气孔(11)。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的多尺寸集合的载片舟，其特征是，左挡板和右挡板上部均设有矩形手抓握孔(12)。

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