CN212060868U - 一种ldi分段式真空吸盘及ldi设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，属于曝光技术领域。通过提供一种分段式真空吸盘，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀；在对小尺寸PCB板进行吸附时，只在横向或者纵向上存在漏在外面的吸真空气孔，也即相对于现有技术减少了漏在外面的吸真空气孔，在能够满足更多PCB板尺寸的同时，尽可能的减少了漏在外面的吸真空气孔数量，尽可能的降低了对吸盘整体真空环境的破坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，属于曝光技术领域。
背景技术
LDI(laser direct imaging，激光直接成像技术)设备在曝光生产PCB板时，需要将PCB 板放置在吸盘上，使PCB板能够覆盖全部的吸盘真空气孔，但是PCB板的尺寸规格会有很多种，一块吸盘无法同时满足众多的板件尺寸。
目前一般是按照可以放置最大尺寸的板件规格来制作吸盘，因此当曝光小尺寸的PCB板时，小尺寸板无法完全覆盖整个吸盘，吸盘面的部分真空气孔漏在外面，会泄漏空气，使得吸盘整体的真空环境被破坏，吸盘吸附PCB板的真空度达不到需求，此时需要人工干预，去堵住漏气的真空气孔。
专利CN202221514U公开了一种多区域真空吸盘，通过隔离条使吸盘本体形成三个独立的吸附区域，可满足不同规格PCB板的曝光要求，但能同时满足的PCB板尺寸也有限。
专利CN10833853A公开了一种真空吸盘，将吸盘主体上以行和列分布的真空气孔，每一行和每一列单独对应一个继电器，每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关，控制每一行和每一列对应真空气孔吸真空的通断，来满足不同尺寸规格的PCB板的吸附，但通常一块吸盘上有成百上千个真空气孔，需要安装成百上千个气孔开关和至少几十个继电器来实现该技术方案，此种方法实用性相对较差。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，所述技术方案如下。
本实用新型的一个方面提供了一种LDI分段式真空吸盘，包括吸盘主体、真空气孔、电磁阀、真空发生装置和控制装置，所述电磁阀包括横向独立电磁阀和纵向独立电磁阀；所述吸盘主体划分为两段，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀，真空气孔通过对应的电磁阀与真空发生装置连接。
在一种实施方式中，每个横向独立电磁阀和每个纵向独立电磁阀分别连接一个继电器，所有继电器均与控制装置连接；所有横向独立电磁阀和所有纵向独立电磁阀均与真空发生装置连接。
在一种实施方式中，所述吸盘主体的两段在横向上或者纵向上的划分比例范围为2:3～3:2。
在一种实施方式中，所述吸盘主体上的所有真空气孔等间距排列、横向距离等差排列或纵向距离等差排列。
本实用新型的另一个方面提供了一种LDI设备，所述LDI设备包括上述LDI分段式真空吸盘。
在一种实施方式中，所述真空气孔成列排列的一段吸盘主体为靠近LDI设备外侧的一部分。
本实用新型的优点：
本实用新型提供的LDI分段式真空吸盘及LDI设备，通过提供一种分段式真空吸盘，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N 行，每一行连接一个横向独立电磁阀；在对小尺寸PCB板进行吸附时，只在横向或者纵向上存在漏在外面的吸真空气孔，也即相对于现有技术减少了漏在外面的吸真空气孔，在能够满足更多PCB板尺寸的同时，尽可能的减少了漏在外面的吸真空气孔数量，尽可能的降低了对吸盘整体真空环境的破坏。
附图说明
图1为本实用新型给出的LDI分段式真空吸盘的示意图；
图2为本实用新型给出的LDI分段式真空吸盘在吸附小尺寸PCB板时的示意图；
图3为本实用新型给出的LDI分段式真空吸盘在吸附另一小尺寸PCB板时的示意图；
图4为本实用新型给出的LDI分段式真空吸盘的吸盘主体、真空气孔、电磁阀、真空发生装置和控制装置之间的连接关系示意图；
其中1-吸盘；2-真空气孔；3-横向独立电磁阀；4-纵向独立电磁阀；5-控制装置。
具体实施方式
下面是对本实用新型进行具体描述。
实施例1
如图1所示，为本实用新型的LDI分段式真空吸盘的示意图，其中1-吸盘；2-真空气孔；3-横向独立电磁阀；4-纵向独立电磁阀；5-控制装置。
该LDI分段式真空吸盘包括：吸盘主体1、真空气孔2、电磁阀、真空发生装置(未显示)和控制装置5，所述电磁阀包括横向独立电磁阀3和纵向独立电磁阀4；所述吸盘主体1划分为两段，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀，真空气孔通过对应的电磁阀与真空发生装置连接。
如图1所示，该LDI分段式真空吸盘由“一段”和“二段”两部分组成，其中“一段”部分分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀，“二段”分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀；每个横向独立电磁阀和每个纵向独立电磁阀分别连接一个继电器，继电器与控制装置连接，控制装置通过继电器控制各个电磁阀的通断；同时每个电磁阀与真空发生装置连接，当某个电磁阀的状态为连通时，真空发生装置使该电磁阀对应的真空气孔吸真空；反之，真空气孔不工作；如此通过控制装置来控制独立电磁阀的通断，即可实现对不同尺寸规格的PCB板的吸真空。
“一段”和“二段”在纵向上的划分比例为2:3～3:2。
在实际应用中，可根据实际生产PCB板尺寸的概率分布来选择“一段”和“二段”的合适划分比例。
实施例2
一种LDI设备，所述LDI设备包括上述实施例一所述的LDI分段式真空吸盘。
考虑放置PCB板的方便性，所述真空气孔成列排列的一段吸盘主体为靠近LDI设备外侧的一部分。
在实际生产过程中，如果所生产的PCB板的尺寸多属于不超过吸盘主体纵向长度的一半，那么就可以选择真空气孔成列排列的“一段”与真空气孔成行排列的“二段”在纵向上的划分比例为1:1。
本实用新型的工作原理：
如图2所示，当该LDI分段式真空吸盘用来吸附小于吸盘尺寸的PCB板时，PCB板的大小只能够覆盖到“一段”1～4列的区域(从左到右)和“二段”3～4行的区域(从上到下)，那么只需要控制装置控制对应的电磁阀连通以及真空发生装置启动，即对M1～4和N3～4区域进行抽气吸住PCB板。只在N3～4区域的右侧留有部分气孔漏在外面。
如果PCB板在纵向上的长度小于“一段”的长度，如图3所示，PCB板的大小只能够覆盖“一段”1～3列的区域(从左到右)，那么只需要控制装置控制对应的电磁阀连通以及真空发生装置启动，即对M1～3区域进行抽气吸住PCB板。只在M1～3区域的上侧留有部分气孔漏在外面。
无论哪种情况，都只会在一个方向上即或者横向或者纵向上存在漏在外面的真空气孔，也即相对于现有技术减少了一个方向上漏在外面的真空气孔，在能够满足更多PCB板尺寸的同时，尽可能的减少了漏在外面的真空气孔数量，尽可能的降低了对吸盘整体真空环境的破坏。
虽然本实用新型已以较佳实施例公开如上，但其并非用以限定本实用新型，任何熟悉此技术的人，在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可做各种的改动与修饰，因此本实用新型的保护范围应该以权利要求书所界定的为准。
Claims (6)
1.一种LDI分段式真空吸盘，包括吸盘主体、真空气孔、电磁阀、真空发生装置和控制装置，其特征在于，所述电磁阀包括横向独立电磁阀和纵向独立电磁阀；所述吸盘主体划分为两段，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分成N行，每一行连接一个横向独立电磁阀，真空气孔通过对应的电磁阀与真空发生装置连接。
2.根据权利要求1所述的LDI分段式真空吸盘，其特征在于，每个横向独立电磁阀和每个纵向独立电磁阀分别连接一个继电器，所有继电器均与控制装置连接；所有横向独立电磁阀和所有纵向独立电磁阀均与真空发生装置连接。
3.根据权利要求2所述的LDI分段式真空吸盘，其特征在于，所述吸盘主体的两段在横向上或者纵向上的划分比例范围为2:3～3:2。
4.根据权利要求3所述的LDI分段式真空吸盘，其特征在于，所述吸盘主体上的所有真空气孔等间距排列、横向距离等差排列或纵向距离等差排列。
5.一种LDI设备，其特征在于，所述LDI设备包括权利要求1-4任一所述的LDI分段式真空吸盘。
6.根据权利要求5所述的LDI设备，其特征在于，所述真空气孔成列排列的一段吸盘主体为靠近LDI设备外侧的一部分。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020832934.2U CN212060868U (zh) | 2020-05-18 | 2020-05-18 | 一种ldi分段式真空吸盘及ldi设备 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020832934.2U CN212060868U (zh) | 2020-05-18 | 2020-05-18 | 一种ldi分段式真空吸盘及ldi设备 |
Publications (1)
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| CN212060868U true CN212060868U (zh) | 2020-12-01 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020832934.2U Active CN212060868U (zh) | 2020-05-18 | 2020-05-18 | 一种ldi分段式真空吸盘及ldi设备 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN212060868U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113307501A (zh) * | 2021-06-02 | 2021-08-27 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种玻璃减薄加工装置 |
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2020
- 2020-05-18 CN CN202020832934.2U patent/CN212060868U/zh active Active
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| CN113307501A (zh) * | 2021-06-02 | 2021-08-27 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种玻璃减薄加工装置 |
| CN113307501B (zh) * | 2021-06-02 | 2022-05-17 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种玻璃减薄加工装置 |
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