CN212043613U

CN212043613U - 一种半导体制造用刀具夹具

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Publication number: CN212043613U
Application number: CN202020156622.4U
Authority: CN
Inventors: 张照杰
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-02-09
Filing date: 2020-02-09
Publication date: 2020-12-01
Anticipated expiration: 2030-02-09

Abstract

本实用新型公开了一种半导体制造用刀具夹具，包括凹形板和底座，所述凹形板的下表面固接有多个底座，所述凹形板的内部上方安装有固定装置。该半导体制造用刀具夹具，通过齿盘、第二把手、第二螺纹杆、第一竖板和第二竖板等结构之间的相互配合，可以对刀具进行固定，从而使切割时更稳定，通过电机、皮带、第一横杆、第一齿轮、齿盘、第二齿轮和第二横杆等结构之间的相互配合，可以使齿盘进行转动，从而对刀具的角度进行调节，提高了适用范围，通过套筒、弹簧、挡块、第三横杆、第一竖板和第二竖板等结构之间的相互配合，提高了夹具对刀具的紧固效果，从而使刀具对半导体材料切割效果更好。

Description

一种半导体制造用刀具夹具

技术领域

本实用新型涉及夹具技术领域，具体为一种半导体制造用刀具夹具。

背景技术

半导体工业已经超过传统的钢铁工业、汽车工业，成为21世纪的高附加值、高科技产业，半导体是许多工业整机设备的核心，普遍应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子等核心领域，而半导体材料在加工时便需要特定的刀具进行切割，虽然现有技术中可以通过刀具对半导体材料进行切割，但是大多数情况下并没有对刀具进行固定，这样便会使刀具切割时不稳定，同时现有技术中的刀具夹具也无法进行转动，存在局限性，而且现有技术中的刀具夹具紧固效果也并不好。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制造用刀具夹具，以解决上述背景技术中提出的虽然现有技术中可以通过刀具对半导体材料进行切割，但是大多数情况下并没有对刀具进行固定，这样便会使刀具切割时不稳定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制造用刀具夹具，包括凹形板和底座，所述凹形板的下表面固接有多个底座，所述凹形板的内部上方安装有固定装置；

所述固定装置包括竖杆、齿盘、弧形板、第一螺纹杆和第一把手；

所述竖杆的下方通过轴承与凹形板转动相连，所述竖杆的上表面固接有齿盘，所述齿盘的外壁和上表面右侧均开设有滑槽，所述齿盘的左右两侧均安装有弧形板，左右所述弧形板的内侧加工有弧形凸块，左右所述弧形板的弧形凸块处外壁与齿盘的滑槽处内壁间隙配合，左右所述弧形板的外侧固接有第一螺纹杆，左右所述第一螺纹杆贯穿凹形板的左右两侧外壁，左右所述第一螺纹杆与凹形板螺纹配合，左右所述第一螺纹杆的外侧固接有第一把手。

优选的，左右所述弧形板与齿盘组成滑动结构。

优选的，所述凹形板的内部安装有转动装置；

所述转动装置包括第一横杆、第一齿轮、横板、电机、皮带、第二横杆和第二齿轮；

所述第一横杆的左侧通过轴承与凹形板的左侧转动相连，所述第一横杆的右侧外壁固接有第一齿轮，所述第一齿轮与齿盘相互啮合，所述第一齿轮的右侧下方设有横板，所述横板的下表面与凹形板的内侧上表面固定相连，所述横板的上表面固接有电机，所述电机的输出轴通过皮带与第一横杆转动相连，所述第一横杆的右侧设有第二横杆，所述第二横杆的右侧通过轴承与凹形板的右侧转动相连，所述第二横杆的左侧固接有第二齿轮，所述第二齿轮与齿盘相互啮合。

优选的，述第一齿轮和第二齿轮的中点在同一水平线上。

优选的，所述齿盘的上表面安装有夹紧装置；

所述夹紧装置包括第一竖板、套筒、第三横杆、挡块、弹簧、第二竖板、第二螺纹杆和第二把手；

所述第一竖板的下表面与齿盘的上表面固定相连，所述第一竖板的右侧上方加工有弧形槽，所述第一竖板的右侧下方固接有套筒，所述套筒的右侧开设有通孔，所述套筒的内部安装有第三横杆，所述第三横杆的左侧外壁与套筒的开口处外壁间隙配合，所述第三横杆的左侧固接有挡块，所述挡块的外壁与套筒的内壁间隙配合，所述套筒的内部安装有弹簧，所述弹簧的左右两侧分别与套筒和挡块固定相连，所述第三横杆的右侧固接有第二竖板，所述第二竖板的左侧上方加工有弧形凹槽，所述第二竖板的下方外壁与齿盘的上方滑槽处内壁间隙配合，所述套筒的下方设有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆分别贯穿第一竖板和第二竖板，所述第二螺纹杆的左侧外壁与第一竖板的通孔处内壁间隙配合，所述第二竖板与第二螺纹杆螺纹配合，所述第二螺纹杆的左侧固接有第二把手。

优选的，所述第一竖板与第二竖板相互平行。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体制造用刀具夹具，通过齿盘、第二把手、第二螺纹杆、第一竖板和第二竖板等结构之间的相互配合，可以对刀具进行固定，从而使切割时更稳定。

通过电机、皮带、第一横杆、第一齿轮、齿盘、第二齿轮和第二横杆等结构之间的相互配合，可以使齿盘进行转动，从而对刀具的角度进行调节，提高了适用范围。

通过套筒、弹簧、挡块、第三横杆、第一竖板和第二竖板等结构之间的相互配合，提高了夹具对刀具的紧固效果，从而使刀具对半导体材料切割效果更好。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中第一螺纹杆、第一把手和弧形板处的结构示意图；

图3为图1中电机、皮带和第一齿轮处的结构示意图；

图4为图1中弹簧、套筒和挡块处的结构示意图。

图中：1、凹形板，2、底座，3、固定装置，301、竖杆，302、齿盘，303、弧形板，304、第一螺纹杆，305、第一把手，4、转动装置，401、第一横杆，402、第一齿轮，403、横板，404、电机，405、皮带，406、第二横杆，407、第二齿轮，5、夹紧装置，501、第一竖板，502、套筒，503、第三横杆，504、挡块，505、弹簧，506、第二竖板，507、第二螺纹杆，508、第二把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用刀具夹具，包括凹形板1和底座2，凹形板1的下表面固接有2个底座2，凹形板1的内部上方安装有固定装置3，固定装置3包括竖杆301、齿盘302、弧形板303、第一螺纹杆304和第一把手305，竖杆301的下方通过轴承与凹形板1转动相连，竖杆301通过轴承可以在凹形板1处进行转动，竖杆301的上表面固接有齿盘302，齿盘302可以带动竖杆301进行转动，竖杆301可以对齿盘302起支撑作用，齿盘302的外壁和上表面右侧均开设有滑槽，齿盘302的左右两侧均安装有弧形板303，左右弧形板303的内侧加工有弧形凸块，左右弧形板303的弧形凸块处外壁与齿盘302的滑槽处内壁间隙配合，弧形板303可以对齿盘302进行固定，左右弧形板303的外侧固接有第一螺纹杆304，左右第一螺纹杆304贯穿凹形板1的左右两侧外壁，左右第一螺纹杆304与凹形板1螺纹配合第一螺纹杆304可以带动弧形板303进行移动，左右第一螺纹杆304的外侧固接有第一把手305，通过第一把手305可以带动第一螺纹杆304进行转动，左右弧形板303与齿盘302组成滑动结构。

凹形板1的内部安装有转动装置4，转动装置4包括第一横杆401、第一齿轮402、横板403、电机404、皮带405、第二横杆406和第二齿轮407，第一横杆401的左侧通过轴承与凹形板1的左侧转动相连，第一横杆401通过轴承可以在凹形板1处进行转动，第一横杆401的右侧外壁固接有第一齿轮402，第一齿轮402可以带动第一横杆401进行转动，第一齿轮402与齿盘302相互啮合，第一齿轮402可以带动齿盘302进行转动，第一齿轮402的右侧下方设有横板403，横板403的下表面与凹形板1的内侧上表面固定相连，横板1的上表面固接有电机404，电机404的型号为BLD-09，电机404的输出轴通过皮带405与第一横杆401转动相连，电机404的输出轴通过皮带405可以带动第一横杆401进行转动，第一横杆401的右侧设有第二横杆406，第二横杆406的右侧通过轴承与凹形板1的右侧转动相连，第二横杆406通过轴承可以在凹形板1处进行转动，第二横杆406的左侧固接有第二齿轮407，第二齿轮407可以带动第二横杆406进行转动，第二齿轮407与齿盘302相互啮合，齿盘302可以带动第二齿轮407进行转动，第二齿轮407可以时齿盘302转动的更流畅，第一齿轮402和第二齿轮407的中点在同一水平线上。

齿盘302的上表面安装有夹紧装置5，夹紧装置5包括第一竖板501、套筒502、第三横杆503、挡块504、弹簧505、第二竖板506、第二螺纹杆507和第二把手508，第一竖板501的下表面与齿盘302的上表面固定相连，第一竖板501的右侧上方加工有弧形槽，第一竖板501的右侧下方固接有套筒502，套筒502的右侧开设有通孔，套筒502的内部安装有第三横杆503，第三横杆503具有伸缩性，第三横杆503的左侧外壁与套筒502的开口处外壁间隙配合，第三横杆503可以在套筒502的开口处进行移动，第三横杆503的左侧固接有挡块504，挡块504可以对第三横杆503起限位作用，挡块504的外壁与套筒502的内壁间隙配合，挡块504可以在套筒502处进行移动，套筒502的内部安装有弹簧505，弹簧505的左右两侧分别与套筒502和挡块504固定相连，当挡块（504）向左侧移动时弹簧505处于压缩状态，第三横杆503的右侧固接有第二竖板506，第二竖板506的左侧上方加工有弧形凹槽，第二竖板506的下方外壁与齿盘302的上方滑槽处内壁间隙配合，第二竖板506可以在齿盘302的上方滑槽处进行移动，齿盘302的上方滑槽处可以对第二竖板506起限位作用，套筒502的下方设有第二螺纹杆507，第二螺纹杆507分别贯穿第一竖板501和第二竖板506，第二螺纹杆507的左侧外壁与第一竖板501的通孔处内壁间隙配合，第二螺纹杆507可以在第一竖板501处进行转动，第二竖板506与第二螺纹杆507螺纹配合，第二螺纹杆507可以带动第二竖板506进行移动，第二螺纹杆507的左侧固接有第二把手508，通过第二把手508可以带动第二螺纹杆507进行转动，第一竖板501与第二竖板506相互平行。

当操作人员需要使用半导体制造用刀具夹具时，首先操作人员将刀具放置到第一竖板501和第二竖板506的凹槽处，拧动第二把手508，通过第二把手508带动第二螺纹杆507进行转动，第二螺纹杆507带动第二竖板506进行移动，同时第二竖板506带动第三横杆503进行移动，使第三横杆503带动挡块504进行移动，挡块504对弹簧505进行挤压，这样便达到了对刀具进行固定的目的，接通电机404的外接电源，启动电机404，使电机404的输出轴通过皮带405带动第一横杆401进行移动，第一横杆401带动第一齿轮402进行转动，使第一齿轮402带动齿盘302转动至适当位置，同时齿盘302带动第二齿轮407进行转动，使齿盘302转动更流畅，拧动第一把手305，通过第一把手305带动第一螺纹杆304进行转动，第一螺纹杆304带动弧形板303进行移动，使弧形板303对齿盘302进行固定，这样便达到了对齿盘302进行转动，从而调节刀具角度的目的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端” 、 “顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、 “连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种半导体制造用刀具夹具，包括凹形板（1）和底座（2），所述

凹形板（1）的下表面固接有多个底座（2），其特征在于：所述凹形板（1）的内部上方安装有固定装置（3）；

所述固定装置（3）包括竖杆（301）、齿盘（302）、弧形板（303）、第一螺纹杆（304）和第一把手（305）；

所述竖杆（301）的下方通过轴承与凹形板（1）转动相连，所述竖杆（301）的上表面固接有齿盘（302），所述齿盘（302）的外壁和上表面右侧均开设有滑槽，所述齿盘（302）的左右两侧均安装有弧形板（303），左右所述弧形板（303）的内侧加工有弧形凸块，左右所述弧形板（303）的弧形凸块处外壁与齿盘（302）的滑槽处内壁间隙配合，左右所述弧形板（303）的外侧固接有第一螺纹杆（304），左右所述第一螺纹杆（304）贯穿凹形板（1）的左右两侧外壁，左右所述第一螺纹杆（304）与凹形板（1）螺纹配合，左右所述第一螺纹杆（304）的外侧固接有第一把手（305）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用刀具夹具，其特征在于：左右所述弧形板（303）与齿盘（302）组成滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用刀具夹具，其特征在于：所述凹形板（1）的内部安装有转动装置（4）；

所述转动装置（4）包括第一横杆（401）、第一齿轮（402）、横板（403）、电机（404）、皮带（405）、第二横杆（406）和第二齿轮（407）；

所述第一横杆（401）的左侧通过轴承与凹形板（1）的左侧转动相连，所述第一横杆（401）的右侧外壁固接有第一齿轮（402），所述第一齿轮（402）与齿盘（302）相互啮合，所述第一齿轮（402）的右侧下方设有横板（403），所述横板（403）的下表面与凹形板（1）的内侧上表面固定相连，所述横板（403）的上表面固接有电机（404），所述电机（404）的输出轴通过皮带（405）与第一横杆（401）转动相连，所述第一横杆（401）的右侧设有第二横杆（406），所述第二横杆（406）的右侧通过轴承与凹形板（1）的右侧转动相连，所述第二横杆（406）的左侧固接有第二齿轮（407），所述第二齿轮（407）与齿盘（302）相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制造用刀具夹具，其特征在于：所述第一齿轮（402）和第二齿轮（407）的中点在同一水平线上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制造用刀具夹具，其特征在于：所述齿盘（302）的上表面安装有夹紧装置（5）；

所述夹紧装置（5）包括第一竖板（501）、套筒（502）、第三横杆（503）、挡块（504）、弹簧（505）、第二竖板（506）、第二螺纹杆（507）和第二把手（508）；

所述第一竖板（501）的下表面与齿盘（302）的上表面固定相连，所述第一竖板（501）的右侧上方加工有弧形槽，所述第一竖板（501）的右侧下方固接有套筒（502），所述套筒（502）的右侧开设有通孔，所述套筒（502）的内部安装有第三横杆（503），所述第三横杆（503）的左侧外壁与套筒（502）的开口处外壁间隙配合，所述第三横杆（503）的左侧固接有挡块（504），所述挡块（504）的外壁与套筒（502）的内壁间隙配合，所述套筒（502）的内部安装有弹簧（505），所述弹簧（505）的左右两侧分别与套筒（502）和挡块（504）固定相连，所述第三横杆（503）的右侧固接有第二竖板（506），所述第二竖板（506）的左侧上方加工有弧形凹槽，所述第二竖板（506）的下方外壁与齿盘（302）的上方滑槽处内壁间隙配合，所述套筒（502）的下方设有第二螺纹杆（507），所述第二螺纹杆（507）分别贯穿第一竖板（501）和第二竖板（506），所述第二螺纹杆（507）的左侧外壁与第一竖板（501）的通孔处内壁间隙配合，所述第二竖板（506）与第二螺纹杆（507）螺纹配合，所述第二螺纹杆（507）的左侧固接有第二把手（508）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制造用刀具夹具，其特征在于：所述第一竖板（501）与第二竖板（506）相互平行。