CN211957616U - 一种晶圆片检测设备进片机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆片检测技术领域，涉及一种晶圆片检测设备进片机构，包括CCD检测设备、底座、旋转机构、上料机构和移动机构、所述底座设置在地面上，所述CCD检测设备分别设置在底座顶部和上料机构的顶部，所述旋转机构设置在底座的顶部，所述上料机构设置在旋转机构的顶部，所述移动机构设置在底座的顶部，所述移动机构与上料机构和旋转机构呈水平并齐状设置在底座顶部，以解决现有技术中的晶圆片进片机构在实际应用时可能造成晶圆片在进行上料时所产生的磨损或者损伤，以及晶圆片在进行上料时可能发生的形变，导致晶圆片受损无法使用，浪费了钱财的同时也影响了工作效率的情况。

Description

一种晶圆片检测设备进片机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆片检测技术领域，尤其是涉及一种晶圆片检测设备进片机构。

背景技术

晶圆片在生产及使用过程中会产生许多各式各样的问题，而为了使这些问题尽量的减少，需要在晶圆片制作过程中采取检测功能，而待检测的晶圆片检测前需要进行机器上料，现有技术中的晶圆片进片机构在实际应用时可能造成晶圆片在进行上料时所产生的磨损或者损伤，以及晶圆片在进行上料时可能发生的形变，导致晶圆片受损无法使用，浪费了钱财的同时也影响了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片检测设备进片机构，以解决背景技术中的技术问题。

一种晶圆片检测设备进片机构，包括CCD检测设备、底座、旋转机构、上料机构和移动机构、所述底座设置在地面上，所述CCD检测设备分别设置在底座顶部和上料机构的顶部，所述旋转机构设置在底座的顶部，所述上料机构设置在旋转机构的顶部，所述移动机构设置在底座的顶部，所述移动机构与上料机构和旋转机构呈水平状且并排设置在底座顶部。

进一步的，所述底座包括底部支架和四个支架脚，所述底部支架设置在旋转机构底部，四个所述支架脚分别设置在底部支架底部的四个角上。

进一步的，所述旋转机构包括第一承载柱、第一电机、第二承载柱、承载外壳和第二电机，所述第一承载柱设置在底部支架顶部，所述第一承载柱呈圆柱形，所述第一电机设置在第一承载柱内，所述第一电机的输出端与第二承载柱的底部连接，所述承载外壳设置在第二承载柱顶部，所述第二电机设置在承载外壳内，所述第二电机的输出端连接上料机构。

进一步的，所述上料机构包括工作台、底板、弧形限位板、连接柱、气缸、丝杆滑台、连接板和托架，所述工作台设置在承载外壳顶部，所述工作台上设有一个可供连接柱和气缸放置的矩形槽，所述底板、弧形限位板、连接柱、气缸、丝杆滑台、连接板和托架均设置在工作台顶部，所述连接柱和气缸设置在工作台上设有的矩形槽内，所述连接柱的底部连接第二电机的输出端，所述连接柱的顶部与气缸的底部连接，所述气缸设置在连接板的顶部，所述连接板的一端连接丝杆滑台，所述连接板的另一端连接托架，所述丝杆滑台的输出端与连接板的一端连接，所述托架设置在连接板的另一端，所述托架与连接板属于连接且可拆卸状态，所述托架的前端设有两个长支架和两个短支架，两个长支架设置在托架前端的中间，两个短支架设置在托架前端且位于两个长支架的两侧。

进一步的，所述移动机构包括承载箱、电动推杆、移动板和转运花篮，所述承载箱设置在底部支架的顶部，所述承载箱呈内部中空状，所述承载箱的一侧设有可供转运花篮移动时贯穿的矩形槽，所述电动推杆放置在承载箱内，所述电动推杆的输出端与移动板连接，所述移动版的底部与电动推杆的输出端连接，所述移动板的顶部与转运花篮的底部连接，所述转运花篮设置在移动板的顶部，所述转运花篮上设有两个把手和弧形块，两个所述把手分别设置在转运花篮一侧的上下两端，所述转运花篮内部设有可供晶圆片放置的若干弧形块，若干弧形块沿转运花篮内部顶端朝内部底端等间距设置，若干弧形块的顶部承弧形。

与现有技术相比较，本实用新型的有益效果在于：

其一，本实用新型托架的前端设有两个长支架和两个短支架，两个长支架设置在托架前端的中间，两个短支架设置在托架前端且位于两个长支架的两侧，两个长支架和两个短支架能够使托架在进行取料时让晶圆片在运输时的受力面积增大且不会与晶圆片上料设备进行碰撞，还可以使晶圆片的两端不会造成形变，以解决现有技术中的晶圆片托架直径过小，在运输晶圆片时可能会使晶圆片受力面积过小，造成晶圆片的两端产生形变，导致晶圆片无法使用的情况。

其二，本实用新型增加了弧形块，转运花篮内部设有可供晶圆片放置的若干弧形块，若干弧形块沿转运花篮部顶端朝内部底端等间距设置，若干弧形块的顶部承弧形，在晶圆片放置时减少与晶圆片的接触面，同时可以减少晶圆片在放置时所可能造成损伤。

其三，所述转运花篮上设有两个把手和弧形块，两个所述把手分别设置在转运花篮一侧的上下两端，把手用于使用者在使用时方便抓取，设置两个把手是因为抓取时可以方便两只手同时抓取，设置在转运花篮一侧的上下两端是因为可以将把手设置的稍微大一些，在使用者抓取时更加方便。

其四，所述气缸用于晶圆片在寻找定位时将晶圆片从托架顶部顶起，使晶圆片在旋转时与托架不进行摩擦，可以使晶圆片在寻找定位时不会造成磨损或者损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的第一角度立体结构示意图；

图2为本实用新型的第二角度立体结构示意图；

图3为本实用新型的局部结构示意图；

图4为本实用新型的剖视图；

附图标记：CCD检测设备1、底座2、底部支架201、支架脚202、旋转机构3、第一承载柱301、第一电机302、第二承载柱303、承载外壳304、第二电机305、上料机构4、连接柱401、气缸402、工作台403、弧形限位板404、底板405、丝杆滑台406、连接板407、托架408、长支架4081、短支架4082、移动机构5、承载箱501、电动推杆502、移动板503、转运花篮504、弧形块5041、把手5042。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种晶圆片检测设备进片机构，包括CCD检测设备1、底座2、旋转机构3、上料机构4和移动机构5，所述底座2平稳的放置在地面上，所述CCD检测设备1分别设置在底座2顶部和上料机构4的顶部，所述旋转机构3设置在底座2的顶部、所述上料机构4设置在旋转机构3的顶部，所述移动机构5设置在底座2的顶部，所述移动机构5与上料机构4和旋转机构3呈水平状且并排设置在底座2顶部，所述CCD检测设备1用于晶圆片检测和定位，所述底座2用于放置盒稳固CCD检测设备1、旋转机构3、上料机构4和移动机构5，所述旋转机构3用于对上料机构4进行旋转，所述移动机构5用于放置待检测的晶圆片，所述移动机构5还用于在晶圆片进行作业时进行垂直移动，所述在上料机构4对移动机构5进行取料时，移动机构5会配合上料机构4的取料设备进行垂直移动，待上料机构4取料完成时停止，上料机构4在取料完成后晶圆片会在上料机构4内进行旋转，CCD检测设备1会在晶圆片旋转时进行定位，使晶圆片在进行下一步作业时处于合适的角度，在晶圆片找到对应位置时，旋转机构3可以使上料机构4在取料完成后进行旋转，使上料机构4呈90°旋转至另一角度进行下一步作业。

所述底座2包括底部支架201和四个支架脚202，所述底部支架201设置在旋转机构3底部，所述底部支架201用于稳固和放置CCD检测设备1，旋转机构3、上料机构4和移动机构5四个所述支架脚202分别设置在底部支架201底部的四个角上，四个所述支架脚202用于支撑底部支架201。

所述旋转机构3包括第一承载柱301、第一电机302、第二承载柱303、承载外壳304和第二电机305，所述第一承载柱301设置在底部支架201顶部，所述第一承载柱301用于放置第一电机302，所述第一承载柱301承圆柱形，可以使第二承载柱303、承载外壳304和第二电机305放置在第一承载柱301上时更加稳固，所述第一电机302设置在第一承载柱301内，所述第一电机302的输出端与第二承载柱303的底部连接，所述第一电机302用于旋转第二承载柱303，放置在第二承载柱303上的承载外壳304和第二电机305以及上料机构4会在第二承载柱303旋转时跟随第二承载柱303进行旋转，所述承载外壳304设置在第二承载柱303顶部，所述承载外壳304用于放置第二电机305，所述第二电机305设置在承载外壳304内，所述第二电机305的输出端连接上料机构4，所述第二电机305用于上料机构4在对晶圆片寻找定位时的旋转。

所述上料机构4包括工作台403、底板405、弧形限位板404、连接柱401、气缸402、丝杆滑台406、连接板407和托架408，所述工作台403设置在承载外壳304顶部，所述工作台403上设有一个可供连接柱401和气缸402放置的矩形槽，所述底板405、弧形限位板404、连接柱401、气缸402、丝杆滑台406、连接板407和托架408均设置在工作台403顶部，所述连接柱401和气缸402设置在工作台403上设有的矩形槽内，所述底板405和弧形限位板404用于对丝杆滑台406和连接板407的限位，使连接板407在固定的槽内利用丝杆滑台406的驱动进行滑动，所述连接柱401的底部连接第二电机305的输出端，所述连接柱401的顶部与气缸402的底部连接，所述连接柱401用于将第二电机305的驱动力输送到气缸402上，使第二电机305在运转时可以带动气缸402进行旋转，所述气缸402设置在连接板407的顶部，所述气缸402用于晶圆片在寻找定位时将晶圆片从托架408顶部顶起，使晶圆片在旋转时与托架408不进行摩擦，可以使晶圆片在寻找定位时不会造成磨损或者损伤，所述连接板407的一端连接丝杆滑台406，所述连接板407的另一端连接托架408，所述连接板407用于将丝杆滑台406的驱动力传输到托架408上，使丝杆滑台406在运转时带动托架408进行水平移动，所述丝杆滑台406的输出端与连接板407的一端连接，所述丝杆滑台406在运转时能带动连接板407和托架408进行水平移动，所述丝杆滑台406可以使托架408进行取料动作，所述托架408设置在连接板407的另一端，所述托架408与连接板407属于连接且可拆卸状态，所述托架408用于取料时晶圆片的放置，所述托架408的前端设有两个长支架4081和两个短支架4082，两个长支架4081设置在托架408前端的中间，两个短支架4082设置在托架408前端且位于两个长支架4081的两侧，两个长支架4081和两个短支架4082在进行取料时可以使晶圆片在落到托架408上时有足够的受力面积且不会与晶圆片上料设备碰撞。

所述移动机构5包括承载箱501、电动推杆502、移动板503和转运花篮504，所述承载箱501设置在底部支架201的顶部，所述承载箱501呈内部中空状，所述承载箱501的一侧设有可供转运花篮504移动时贯穿的矩形槽，所述承载箱501用于放置电动推杆502，所述承载箱501还可以用于在转运花篮504垂直移动时的限位功能，所述电动推杆502放置在承载箱501内，所述电动推杆502的输出端与移动板503连接，所述电动推杆502可以很好的控制垂直移动的速度和位置，可以调节下降的位置，所述电动推杆502的驱动可以带动移动板503进行垂直移动，所述移动版的底部与电动推杆502的输出端连接，所述移动板503的顶部与转运花篮504的底部连接，所述移动板503用于电动推杆502在运转时带动转运花篮504进行垂直移动，所述转运花篮504设置在移动板503的顶部，所述第二花篮用于放置晶圆片，所述转运花篮504上设有两个把手5042和弧形块5041，两个所述把手5042分别设置在转运花篮504一侧的上下两端，把手5042用于使用者在使用时方便抓取，设置两个把手5042是因为抓取时可以方便两只手同时抓取，设置在转运花篮504一侧的上下两端是因为可以将把手5042设置的稍微大一些，在使用者抓取时更加方便，所述转运花篮504内部设有可供晶圆片放置的若干弧形块5041，若干弧形块5041沿转运花篮504内部顶端朝内部底端等间距设置，若干弧形块5041的顶部承弧形，在晶圆片放置时减少与晶圆片的接触面，同时可以减少晶圆片在放置时所可能造成损伤。

工作原理，装有待检测晶圆片的转运花篮504放置在连接移动板503上时，将晶圆片检测设备进料机构启动，丝杆滑台406运转带动托架408水平向转运花篮504的方向移动，在移动至转运花篮504底部时，电动推杆502会带动转运花篮504垂直向下移动，晶圆片在接触到托架408时，托架408会将晶圆片托起，电动推杆502将转运花篮504下降到托架408将晶圆片托起的位置时会停止，丝杆滑台406会将托架408移动至原位，设置在托架408底部气缸402运转，气缸402的输出端会垂直向上移动将晶圆片托起，第二电机305运转会带动气缸402进行旋转，气缸402会带动晶圆片进行旋转，在旋转过程中CCD检测设备1会对晶圆片进行检测以及寻找定位，在对应位置后，第一电机302运转带动工作台403进行90°旋转，使托架408的向下变动，丝杆滑台406进行运转时托架408将晶圆片运输至下一步骤，以解决现有技术中的晶圆片进片机构在实际应用时可能造成晶圆片在进行上料时所产生的磨损或者损伤，以及晶圆片在进行上料时可能发生的形变，导致晶圆片受损无法使用，浪费了钱财的同时也影响了工作效率的情况。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (5)

1.一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于，包括CCD检测设备(1)、底座(2)、旋转机构(3)、上料机构(4)和移动机构(5)、所述底座(2)设置在地面上，所述CCD检测设备(1)分别设置在底座(2)顶部和上料机构(4)的顶部，所述旋转机构(3)设置在底座(2)的顶部，所述上料机构(4)设置在旋转机构(3)的顶部，所述移动机构(5)设置在底座(2)的顶部，所述移动机构(5)与上料机构(4)和旋转机构(3)呈水平状且并排设置在底座(2)顶部。

2.根据权利要求1所述一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于，所述底座(2)包括底部支架(201)和四个支架脚(202)，所述底部支架(201)设置在旋转机构(3)底部，四个所述支架脚(202)分别设置在底部支架(201)底部的四个角上。

3.根据权利要求2所述一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于，所述旋转机构(3)包括第一承载柱(301)、第一电机(302)、第二承载柱(303)、承载外壳(304)和第二电机(305)，所述第一承载柱(301)设置在底部支架(201)顶部，所述第一承载柱(301)呈圆柱形，所述第一电机(302)设置在第一承载柱(301)内，所述第一电机(302)的输出端与第二承载柱(303)的底部连接，所述承载外壳(304)设置在第二承载柱(303)顶部，所述第二电机(305)设置在承载外壳(304)内，所述第二电机(305)的输出端连接上料机构(4)。

4.根据权利要求3所述一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于，所述上料机构(4)包括工作台(403)、底板(405)、弧形限位板(404)、连接柱(401)、气缸(402)、丝杆滑台(406)、连接板(407)和托架(408)，所述工作台(403)设置在承载外壳(304)顶部，所述工作台(403)上设有一个可供连接柱(401)和气缸(402)放置的矩形槽，所述底板(405)、弧形限位板(404)、连接柱(401)、气缸(402)、丝杆滑台(406)、连接板(407)和托架(408)均设置在工作台(403)顶部，所述连接柱(401)和气缸(402)设置在工作台(403)上设有的矩形槽内，所述连接柱(401)的底部连接第二电机(305)的输出端，所述连接柱(401)的顶部与气缸(402)的底部连接，所述气缸(402)设置在连接板(407)的顶部，所述连接板(407)的一端连接丝杆滑台(406)，所述连接板(407)的另一端连接托架(408)，所述丝杆滑台(406)的输出端与连接板(407)的一端连接，所述托架(408)设置在连接板(407)的另一端，所述托架(408)与连接板(407)属于连接且可拆卸状态，所述托架(408)的前端设有两个长支架(4081)和两个短支架(4082)，两个长支架(4081)设置在托架(408)前端的中间，两个短支架(4082)设置在托架(408)前端且位于两个长支架(4081)的两侧。

5.根据权利要求1所述一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于，所述移动机构(5)包括承载箱(501)、电动推杆(502)、移动板(503)和转运花篮(504)，所述承载箱(501)设置在底部支架(201)的顶部，所述承载箱(501)呈内部中空状，所述承载箱(501)的一侧设有可供转运花篮(504)移动时贯穿的矩形槽，所述电动推杆(502)放置在承载箱(501)内，所述电动推杆(502)的输出端与移动板(503)连接，所述移动板(503)的底部与电动推杆(502)的输出端连接，所述移动板(503)的顶部与转运花篮(504)的底部连接，所述转运花篮(504)设置在移动板(503)的顶部，所述转运花篮(504)上设有两个把手(5042)和弧形块(5041)，两个所述把手(5042)分别设置在转运花篮(504)一侧的上下两端，所述转运花篮(504)内部设有可供晶圆片放置的若干弧形块(5041)，若干弧形块(5041)沿转运花篮(504)内部顶端朝内部底端等间距设置，若干弧形块(5041)的顶部承弧形。

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