CN211947208U - 一种靶材降温电动升降装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种靶材降温电动升降装置，所述升降装置包括升降部和槽体；所述升降部包括驱动装置和升降平台；所述升降部设置于槽体的侧面；所述升降平台位于槽体的上方；所述升降平台的面积小于槽体水平开口的面积。通过该装置可以提高料架寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。

Description

一种靶材降温电动升降装置

技术领域

本实用新型涉及冷却领域，具体涉及一种靶材降温电动升降装置。

背景技术

磁控溅射靶材的溅射原理：在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250-350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种：直流溅射和射频溅射，其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射，如今，常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。

靶材通过炉子加热产品实现对产品晶粒晶像及硬度的改变，之后需要及时的冷区。靶材的冷却工艺分为液冷或采用在靶座内设置冷却通道的方式。如CN107858658A公开了一种靶材冷却装置，包括靶材和冷却靶座，所述冷却靶座包括冷却腔，所述冷却腔上壁为冷却背板用于放置所述靶材，所述冷却腔两端分别设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔内上下壁设有若干彼此交错且间隔设置的导流板，使所述冷却腔内部空间形成曲折连通的冷却介质流道，这种结构的冷却靶座可以提高冷却背板的换热面积，同时在来回曲折的流动过程中，冷却介质湍动程度大幅提高，强化冷却介质与靶座之间的传热，从而急速降低靶材底座的温度。CN209243163U公开了一种靶材冷却装置，包括：密封盖，安装至靶材基板，用于在所述靶材基板表面形成密闭空间；流体泵，连通至所述密闭空间，用于向所述密闭空间内泵入流体，或抽出所述密闭空间内的流体，以冷却所述靶材。本实用新型的靶材冷却装置在靶材基板表面形成了密闭空间，并使用一流体泵连通至所述密闭空间，往密闭空间内通入流体或泵出流体，使用流体对靶材进行冷却。进一步的，还设置有与所述靶材基板的表面相接触的水袋，通过水袋中盛装的水的较大比热容，也能对靶材起到一定的冷却作用。使用该靶材冷却装置，能够避免使用水冷方式对靶材进行冷却时对靶材、磁铁和管路的影响，能够优化物理气相沉积机台的生产效能。

目前，靶材的液冷却工艺为将热处理后的产品连带料架一起推入水槽进行冷却，往往会造成水槽内的水溢出，料架长期与水槽碰撞容易破损的不良情况。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种靶材降温电动升降装置，通过该装置可以提高料架寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材降温电动升降装置，所述升降装置包括升降部和槽体；

所述升降部包括驱动装置和升降平台；

所述升降部设置于槽体的侧面；

所述升降平台位于槽体的上方；

所述升降平台的面积小于槽体水平开口的面积。

该使用新型中，由于产品冷却过程中升降平稳，通过该装置可以提高料架(升降平台)寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。所述升降装置的槽体和升降部可以相互连接，也可以独立设置。

作为本实用新型优选的技术方案，所述升降平台可拆卸。

作为本实用新型优选的技术方案，所述升降平台设有空隙。

本实用新型中，所述升降平台的空隙设置于与槽体平行的部分，通过该空隙可以是提高平台上靶材与冷却介质的接触面积，从而加快冷却速度，提高冷却效率。

作为本实用新型优选的技术方案，所述升降平台中空隙的宽度小于靶材的直径或宽度。

作为本实用新型优选的技术方案，所述升降平台的移动距离为0.5-1.5m，例如可以是0.5m、0.6m、0.7m、0.8m、0.9m、1m、1.1m、1.2m、1.3m、1.4m或1.5m等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本实用新型优选的技术方案，所述升降装置的材质为不锈钢。

作为本实用新型优选的技术方案，所述槽体中的冷却介质为水或油。

与现有技术方案相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

通过该装置可以提高料架(升降平台)寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。

附图说明

图1是本实用新型实施例1提供的靶材降温电动升降装置的示意图。

图中：1-升降部，2-升降平台，3-槽体。

下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

为更好地说明本实用新型，便于理解本实用新型的技术方案，本实用新型的典型但非限制性的实施例如下：

实施例1

本实施例提供一种靶材降温电动升降装置，如图1所示，所述升降装置包括升降部1和槽体3；

所述升降部包括驱动装置和升降平台2；

所述升降部1设置于槽体3的侧面；

所述升降平台2位于槽体3的上方；

所述升降平台2的面积小于槽体3水平开口的面积。

进一步地，所述升降平台2可拆卸。

进一步地，所述升降平台2设有空隙。

进一步地，所述升降平台2中空隙的宽度小于靶材的直径或宽度。

进一步地，所述升降平台2的移动距离为0.5-1.5m。

进一步地，所述升降装置的材质为不锈钢。

进一步地，所述槽体3中的冷却介质为水或油。

实施例2

本实施例提供一种靶材降温电动升降装置，所述升降装置包括升降部1和槽体3；

所述升降部包括驱动装置和升降平台2；

所述升降部1设置于槽体3的侧面；

所述升降平台2位于槽体3的上方；

所述升降平台2的面积小于槽体3水平开口的面积。

进一步地，所述升降平台2可拆卸。

进一步地，所述升降平台2设有空隙。

进一步地，所述升降平台2中空隙的宽度小于靶材的直径或宽度。

进一步地，所述升降平台2的移动距离为1m。

进一步地，所述升降装置的材质为不锈钢。

进一步地，所述槽体3中的冷却介质为水。

应用例

将所得升降装置用于靶材的冷却，靶材为圆柱形靶材，槽体中的冷却介质为水。所述靶材的温度降至50℃以下。

冷却后，靶材性能完好，冷却效果极佳。

通过上述实施例和应用例的结果可知，通过该装置可以提高料架寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。

申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。

Claims (7)

1.一种靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降装置包括升降部和槽体；

所述升降部包括驱动装置和升降平台；

所述升降部设置于槽体的侧面；

所述升降平台位于槽体的上方；

所述升降平台的面积小于槽体水平开口的面积。

2.如权利要求1所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降平台可拆卸。

3.如权利要求1所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降平台设有空隙。

4.如权利要求3所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降平台中空隙的宽度小于靶材的直径或宽度。

5.如权利要求1所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降平台的移动距离为0.5-1.5m。

6.如权利要求1所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述升降装置的材质为不锈钢。

7.如权利要求1所述的靶材降温电动升降装置，其特征在于，所述槽体中的冷却介质为水或油。

Images