CN218321596U - 一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，包括基体法兰，在基体法兰的一侧设置有阳极布气组件，阳极布气组件包括：两个阳极端板以及连接于所述两个阳极端板之间的若干阳极中间板；阳极端板的一端设置固定有阳极端挡板，并通过阳极端挡板与基体法兰固定，在阳极端板和阳极中间板的外侧还设置有阳极纵挡板；阳极端板和阳极中间板的表面开设有若干气孔；在阳极端板和阳极中间板的内侧设置有分别与阳极端板相配合的端组合靶材和与阳极中间板相配合的中间组合靶材。本实用新型设置模块化的阳极布气板块及气路，使得气路可根据需要调节，提高靶材的利用率和镀膜均匀性，提高了装置的实用性和市场竞争力。

Description

一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置。

背景技术

物理气相沉积(PVD)，又简称为磁控溅射，其原理是利用带有电荷的离子在电磁场中加速，将高动能的离子引向被溅射的物质做成的靶材，入射离子在与靶材表面的原子碰撞过后，靶材原子溅射出来并沿着一定的方向射向玻璃衬底，从而在玻璃衬底表面形成薄膜。

在现有技术中，由于磁控阴极磁控溅射时产生的辉光区域温度较高，基片表面温度会上升，导致成膜受到影响，此外，阳极布气板块不能够随时调整，布气气路仍有局限性，造成靶材的利用率降低，以及溅射的薄膜厚度均匀性变差等问题，无法满足生产需要，这种情况需要改变。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，以解决上述背景技术中所提到的靶材利用率低、镀层厚度均匀性变差等问题。

为实现以上实用新型目的，采用的技术方案为：

一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，包括基体法兰，在所述基体法兰的一侧设置有阳极布气组件，在所述基体法兰背离所述阳极布气组件的一侧套设固定有保护罩，在所述保护罩的内部靠近所述基体法兰一侧铺设有法兰冷却管；所述阳极布气组件包括：两个阳极端板以及连接于所述两个阳极端板之间的若干阳极中间板；所述阳极端板的一端设置固定有阳极端挡板，并通过所述阳极端挡板与所述基体法兰固定，在所述阳极端板和所述阳极中间板的外侧还设置有阳极纵挡板；所述阳极端板和所述阳极中间板的表面开设有若干气孔；在所述阳极端板和所述阳极中间板的内侧设置有分别与所述阳极端板相配合的端组合靶材和与所述阳极中间板相配合的中间组合靶材。

本实用新型进一步设置为：所述阳极端板和所述阳极中间板通过所述阳极端挡板架设于所述基体法兰的上方。

本实用新型进一步设置为：所述阳极纵挡板的上端向所述阳极端板和所述阳极中间板一侧弯曲，所述阳极纵挡板的下端与所述基体法兰固定。

本实用新型进一步设置为：在所述阳极纵挡板的内侧靠近所述阳极端板和所述阳极中间板处铺设有阳极冷却管。

本实用新型进一步设置为：所述阳极冷却管的两端设置有第一水冷管接头。

本实用新型进一步设置为：所述基体法兰背离所述阳极布气组件的一侧设置有外布气中间气管和内布气中间气管。

本实用新型进一步设置为：所述法兰冷却管呈环状结构设计，所述法兰冷却管的两端设置有第二水冷管接头。

本实用新型进一步设置为：所述端组合靶材和所述中间组合靶材的下方铺设有隔膜板。

本实用新型进一步设置为：在所述阳极布气组件的内部设置有磁路装配体，所述磁路装配体包括铜排电极以及设置于所述铜排电极上表面的中间磁轭，所述铜排电极的一端穿设于所述基体法兰。

本实用新型进一步设置为：所述铜排电极与所述基体法兰的接缝处设置有铜排绝缘套。

综上所述，与现有技术相比，本实用新型公开了一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，包括基体法兰，在基体法兰的一侧设置有阳极布气组件，在基体法兰背离阳极布气组件的一侧套设固定有保护罩，在保护罩的内部靠近基体法兰一侧铺设有法兰冷却管；阳极布气组件包括：两个阳极端板以及连接于两个阳极端板之间的若干阳极中间板；阳极端板的一端设置固定有阳极端挡板，并通过阳极端挡板与基体法兰固定，在阳极端板和阳极中间板的外侧还设置有阳极纵挡板；阳极端板和阳极中间板的表面开设有若干气孔；在阳极端板和阳极中间板的内侧设置有分别与阳极端板相配合的端组合靶材和与阳极中间板相配合的中间组合靶材。具备以下有益效果:

首先，通过在保护罩的内部靠近基体法兰的一侧铺设法兰冷却管，能够快速冷却降温，减少发热，提高设备运行效率；此外，通过设置模块化的阳极端板和阳极中间板，以及与其相互对应的端组合靶材和中间组合靶材，并在所述阳极端板和阳极中间板开设有气孔，提供可调整的阳极布气气路，提升靶材的利用率和镀膜均匀性，提高装置的实用性和市场竞争力；最后，通过在阳极端板和阳极中间板的一侧的端部分别设置有阳极端挡板和阳极纵挡板，能够起到有效阻挡靶材向侧方向溅射，提高镀膜质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实施例提供的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置的立体结构示意图；

图2是本实施例提供的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置的俯视角示意图；

图3是本实施例提供的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置的A-A剖面视角结构示意图；

图4是本实施例提供的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置的基体法兰仰视角结构示意图。

附图标记：1、基体法兰；2、阳极布气组件；21、阳极端板；22、阳极中间板；23、阳极端挡板；24、阳极纵挡板；25、气孔；26、端组合靶材；27、中间组合靶材；28、外布气中间气管；29、内布气中间气管；3、保护罩；31、法兰冷却管；32、第二水冷管接头；4、阳极冷却管；41、第一水冷管接头；5、隔膜板；6、磁路装配体；61、铜排电极；62、中间磁轭；63、铜排电极绝缘套。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，上面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，如图1、2、3所示，包括基体法兰1，在基体法兰1的一侧设置有阳极布气组件2，在基体法兰1背离阳极布气组件2的一侧套设固定有保护罩3，在保护罩3的内部靠近基体法兰1一侧铺设有法兰冷却管31；阳极布气组件2包括：两个阳极端板21以及连接于所述两个阳极端板21之间的若干阳极中间板22；阳极端板21的一端设置固定有阳极端挡板23，并通过阳极端挡板23与基体法兰1固定，在阳极端板21和阳极中间板22的外侧还设置有阳极纵挡板24；阳极端板21和阳极中间板22的表面开设有若干气孔25；在阳极端板21和阳极中间板22的内侧设置有分别与阳极端板21相配合的端组合靶材26和与阳极中间板22相配合的中间组合靶材27。通过在保护罩3的内部靠近基体法兰1的一侧铺设法兰冷却管31，能够对基体法兰1进行快速冷却降温，减少发热，避免由于设备过热导致的镀膜效果不佳等问题；

其次，通过设置模块化的阳极端板21和阳极中间板22，以及与其相互对应的端组合靶材26和中间组合靶材27，并在阳极端板21和阳极中间板22上开设有气孔25，提供可调整的阳极布气气路，提升靶材的利用率和镀膜均匀性，提高装置的实用性和市场竞争力。

需要进一步说明的是，阳极端板21和阳极中间板22通过阳极端挡板23架设与基体法兰1的上方，阳极纵挡板24的上端向阳极端板21和阳极中间板22一侧弯曲，阳极纵挡板24的下端与基体法兰1固定。通过色湖之阳极端挡板23和阳极纵挡板24，以及将阳极纵挡板24的一端设置为向内侧歪曲的结构，能够起到有效阻挡靶材向侧方向溅射的作用，进而提高镀膜质量和靶材利用率。

进一步的，如图1所示，在所述阳极纵挡板24的内侧靠近所述阳极端板21和阳极中间板22处铺设有阳极冷却管4，所述阳极冷却管4的两端设置有第一水冷管接头41。

在具体的实施过程中，所述阳极冷却管4主要采用铜制冷凝管，铜制冷凝管具备更优良的导热性能，此外，在阳极端板21和阳极中间板22附近设置冷却管可对生产过程中辉光放电产生的热量进行精准有效地降温，提升设备的工作效率。

进一步的，如图4所示，在基体法兰1背离阳极布气组件2的一侧设置有外布气中间气管28和内布气中间气管29。

进一步的，如图3、4所示，法兰冷却管31呈环状结构设计，法兰冷却管31的两端设置有第二水冷管接头32。需要进一步说明的是，法兰冷却管31嵌设在基体法兰1的背面，第二水冷管接头32接通冷凝水后，可对基体法兰1进行有效散热，提升生产效率。

进一步的，如图3所示，端组合靶材26和中间组合靶材27的下方铺设有隔膜板5。

进一步的，如图3所示，在阳极布气组件2的内部设置有磁路装配体6，磁路装配体6包括铜排电极61以及设置于所述铜排电极61上表面的中间磁轭62，铜排电极61的一端穿设于基体法兰1。

进一步的，如图3所示，铜排电极61与基体法兰1的接缝处设置有铜排绝缘套63。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

首先，通过在保护罩的内部靠近基体法兰的一侧铺设法兰冷却管，能够快速冷却降温，减少发热，提高设备运行效率；此外，通过设置模块化的阳极端板和阳极中间板，以及与其相互对应的端组合靶材和中间组合靶材，并在所述阳极端板和阳极中间板开设有气孔，提供可调整的阳极布气气路，提升靶材的利用率和镀膜均匀性，提高装置的实用性和市场竞争力；最后，通过在阳极端板和阳极中间板的一侧的端部分别设置有阳极端挡板和阳极纵挡板，能够起到有效阻挡靶材向侧方向溅射，提高镀膜质量。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，包括基体法兰，其特征在于，在所述基体法兰的一侧设置有阳极布气组件，在所述基体法兰背离所述阳极布气组件的一侧套设固定有保护罩，在所述保护罩的内部靠近所述基体法兰一侧铺设有法兰冷却管；所述阳极布气组件包括：两个阳极端板以及连接于所述两个阳极端板之间的若干阳极中间板；所述阳极端板的一端设置固定有阳极端挡板，并通过所述阳极端挡板与所述基体法兰固定，在所述阳极端板和所述阳极中间板的外侧还设置有阳极纵挡板；所述阳极端板和所述阳极中间板的表面开设有若干气孔；在所述阳极端板和所述阳极中间板的内侧设置有分别与所述阳极端板相配合的端组合靶材和与所述阳极中间板相配合的中间组合靶材。

2.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述阳极端板和所述阳极中间板通过所述阳极端挡板架设于所述基体法兰的上方。

3.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述阳极纵挡板的上端向所述阳极端板和所述阳极中间板一侧弯曲，所述阳极纵挡板的下端与所述基体法兰固定。

4.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，在所述阳极纵挡板的内侧靠近所述阳极端板和所述阳极中间板处铺设有阳极冷却管。

5.如权利要求4所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述阳极冷却管的两端设置有第一水冷管接头。

6.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述基体法兰背离所述阳极布气组件的一侧设置有外布气中间气管和内布气中间气管。

7.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述法兰冷却管呈环状结构设计，所述法兰冷却管的两端设置有第二水冷管接头。

8.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述端组合靶材和所述中间组合靶材的下方铺设有隔膜板。

9.如权利要求1所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，在所述阳极布气组件的内部设置有磁路装配体，所述磁路装配体包括铜排电极以及设置于所述铜排电极上表面的中间磁轭，所述铜排电极的一端穿设于所述基体法兰。

10.如权利要求9所述的一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，其特征在于，所述铜排电极与所述基体法兰的接缝处设置有铜排绝缘套。

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