CN211929470U - 晶片分离机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片分离机构，涉及晶片领域，水箱侧壁设有水位控制组件和水循环装置，水箱一端设有送料装置，水箱于送料装置正上方设有上料装置，水箱内设有支撑板和第一驱动装置，支撑板上嵌设有材质为弹性板体的分片板，支撑板靠近送料装置的一侧设有分离装置，分离装置包括分片装置和第二驱动装置，分片板与分片装置之间设有分片间隙，分片装置包括安装架、滚压分片装置和液压分片装置，安装框中部设有液压分片装置，液压分片装置上下两侧均设有滚压分片装置，滚压分片装置包括缓冲机构和滚筒部，缓冲机构一端连接安装架，缓冲机构另一端可拆卸连接有滚筒部。通过对晶片喷射水流和滚压晶片实现分片，代替手工分片，降低劳动强度。

Description

晶片分离机构

技术领域

本实用新型涉及晶片领域，特别是涉及晶片分离机构。

背景技术

目前在LED制程中，所用晶片的原材料一般是硅片或蓝宝石等，其形状有方形、圆形、类方形等。半导体制造工艺中往往需要经过减薄、划片、分片、装片、内引线键合和管壳封装等一系列工艺。分片过程中需要使晶片上的晶粒成为单独的个体。传统生产作业中过分依赖人工作业完成分片工序，操作员用力不均匀容易出现裂片不良和连体现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片分离机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：晶片分离机构，包括水箱，所述水箱侧壁设有水位控制组件和水循环装置，所述水箱一端设有送料装置，所述水箱于送料装置正上方设有上料装置，所述水箱内设有支撑板和驱动支撑板上下运动的第一驱动装置，所述支撑板上设有分片槽，所述分片槽内设有分片板，所述分片板为弹性板体，所述支撑板靠近送料装置的一侧设有分离装置，所述分离装置包括分片装置和驱动分片装置上下运动的第二驱动装置，所述分片板与分片装置之间设有分片间隙，所述分片装置包括安装架、滚压分片装置和液压分片装置，所述安装框中部设有液压分片装置，所述液压分片装置上下两侧均设有滚压分片装置，所述滚压分片装置包括缓冲机构和滚筒部，所述缓冲机构一端连接安装架，所述缓冲机构另一端可拆卸连接有滚筒部。通过对晶片喷射水流和滚压晶片实现分片，代替手工分片，降低劳动强度。

进一步地，所述液压分片装置包括若干液压喷针，所述液压喷针沿水平方向均匀间隔设置。通过液压喷针喷出高速水流，通过液压喷针冲击晶片表面。

进一步地，所述缓冲机构包括缓冲弹簧、缓冲杆、限位块和固定螺母，所述缓冲杆一端与滚筒部螺纹连接，所述缓冲杆另一端螺纹连接固定螺母，所述缓冲杆上固定有限位块，所述弹簧一端抵触限位块，所述弹簧另一端抵触安装架。通过缓冲弹簧减振吸收冲击。

进一步地，所述滚筒部包括滚筒主体和弹性套筒，所述辊筒主体外部套设有弹性套筒。通过弹性套筒对晶片施加压力，避免晶片受压损伤。

进一步地，所述水箱内设有导向杆，所述支撑板和安装架均开设有与导向杆相对应的通孔。通过导向杆和通孔配合限定支撑板和安装架的移动方向。

进一步地，所述第一驱动装置和第二驱动装置均包括步进电机、驱动齿轮和固定齿条，所述水箱上端设有步进电机，所述步进电机的输出轴连接有驱动齿轮，所述支撑板和安装架侧面分别固定有固定齿条，所述驱动齿轮和固定齿条一一对应啮合。通过步进电机驱动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮驱动固定齿条升降，通过固定齿条驱动支撑板或安装架升降。

进一步地，所述送料装置包括转轴、第一传送带和第二传送带，所述转轴一端设有第一传送带，所述转轴另一端设有第二传送带，所述第一传送带和第二传送带并列设置。通过第一传送带和第二传送带对晶片两侧进行支撑，将晶片输送至指定位置。

进一步地，所述上料装置圆筒体、上料电机和真空吸杆，所述水箱侧壁上端可转动的设有圆筒体，所述圆筒体一端传动连接有上料电机，所述圆筒体上固定有真空吸杆，所述真空吸杆沿圆筒体切线方向设置。通过上料电机驱动圆筒体主动，圆筒体转动使真空吸杆转动，通过真空吸杆吸取送料装置上的晶片。

进一步地，所述水位控制组件包括若干塞子，所述水箱侧壁上开设有若干沿直线阵列排布的溢流孔，所述溢流孔与塞子一一对应，所述溢流孔的阵列方向与水平面所成夹角为锐角。通过塞子配合溢流孔控制水箱内的水位。

进一步地，所述水循环装置包括过滤水泵，所述水箱一端设有进水管，所述水箱另一端设有出水管，所述进水管和出水管连接过滤水泵。通过过滤水泵对水箱内的水进行循环过滤。

本实用新型的有益效果为：通过对晶片喷射水流和滚压晶片实现分片，代替手工分片，降低劳动强度。

附图说明

附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1为本实用新型一实施例提供的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的结构示意图。

图中标记：水箱1、送料装置2、上料装置3、支撑板4、第一驱动装置5、分片板6、第二驱动装置7、安装架8、液压分片装置9、滚压分片装置10、缓冲机构101、滚筒部102、水位控制组件11、水循环装置12。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指如图1所示的上下左右。“内、外”是指具体轮廓上的内与外。“远、近”是指相对于某个部件的远与近。

如图1-图2中所示，本实用新型一实施例提供的一种晶片分离机构，包括水箱1，所述水箱1侧壁设有水位控制组件11和水循环装置12，所述水箱1一端设有送料装置2，所述水箱1于送料装置2正上方设有上料装置3，所述水箱1内设有支撑板4和驱动支撑板4上下运动的第一驱动装置5，所述支撑板4上设有分片槽，所述分片槽内设有分片板6，所述分片板6为弹性板体，所述支撑板4靠近送料装置2的一侧设有分离装置，所述分离装置包括分片装置和驱动分片装置上下运动的第二驱动装置7，所述分片板6与分片装置之间设有分片间隙，所述分片装置包括安装架8、滚压分片装置10和液压分片装置9，所述安装框中部设有液压分片装置9，所述液压分片装置9上下两侧均设有滚压分片装置10，所述滚压分片装置10包括缓冲机构101和滚筒部102，所述缓冲机构101一端连接安装架8，所述缓冲机构另一端可拆卸连接有滚筒部102。缓冲机构101对滚筒部102施加压力使滚筒部102与晶片保持接触，通过滚压分片装置10的滚筒部102辊压晶片使晶片按照预定划痕分离，通过液压分片装置9朝晶片表面喷射出高速水流使晶片分片。

所述液压分片装置9包括若干液压喷针，所述液压喷针沿水平方向均匀间隔设置。通过液压喷针喷出高速水流，通过液压喷针冲击晶片表面。

所述缓冲机构101包括缓冲弹簧、缓冲杆、限位块和固定螺母，所述缓冲杆一端与滚筒部102螺纹连接，所述缓冲杆另一端螺纹连接固定螺母，所述缓冲杆上固定有限位块，所述弹簧一端抵触限位块，所述弹簧另一端抵触安装架8。通过缓冲弹簧减振吸收冲击。

所述滚筒部102包括滚筒主体和弹性套筒，所述辊筒主体外部套设有弹性套筒。通过弹性套筒对晶片施加压力，避免晶片受压损伤。

所述水箱1内设有导向杆，所述支撑板4和安装架8均开设有与导向杆相对应的通孔。通过导向杆和通孔配合限定支撑板4和安装架8的移动方向。

所述第一驱动装置5和第二驱动装置7均包括步进电机、驱动齿轮和固定齿条，所述水箱1上端设有步进电机，所述步进电机的输出轴连接有驱动齿轮，所述支撑板4和安装架8侧面分别固定有固定齿条，所述驱动齿轮和固定齿条一一对应啮合。通过步进电机驱动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮驱动固定齿条升降，通过固定齿条驱动支撑板4或安装架8升降。

所述送料装置2包括转轴、第一传送带和第二传送带，所述转轴一端设有第一传送带，所述转轴另一端设有第二传送带，所述第一传送带和第二传送带并列设置。通过第一传送带和第二传送带对晶片两侧进行支撑，将晶片输送至指定位置。

所述上料装置3圆筒体、上料电机和真空吸杆，所述水箱1侧壁上端可转动的设有圆筒体，所述圆筒体一端传动连接有上料电机，所述圆筒体上固定有真空吸杆，所述真空吸杆沿圆筒体切线方向设置。通过上料电机驱动圆筒体主动，圆筒体转动使真空吸杆转动，通过真空吸杆吸取送料装置2上的晶片。

所述水位控制组件11包括若干塞子，所述水箱1侧壁上开设有若干沿直线阵列排布的溢流孔，所述溢流孔与塞子一一对应，所述溢流孔的阵列方向与水平面所成夹角为锐角。通过塞子配合溢流孔控制水箱1内的水位。

所述水循环装置12包括过滤水泵，所述水箱1一端设有进水管，所述水箱1另一端设有出水管，所述进水管和出水管连接过滤水泵。通过过滤水泵对水箱1内的水进行循环过滤。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.晶片分离机构，其特征在于：包括水箱，所述水箱侧壁设有水位控制组件和水循环装置，所述水箱一端设有送料装置，所述水箱于送料装置正上方设有上料装置，所述水箱内设有支撑板和驱动支撑板上下运动的第一驱动装置，所述支撑板上设有分片槽，所述分片槽内设有分片板，所述分片板为弹性板体，所述支撑板靠近送料装置的一侧设有分离装置，所述分离装置包括分片装置和驱动分片装置上下运动的第二驱动装置，所述分片板与分片装置之间设有分片间隙，所述分片装置包括安装架、滚压分片装置和液压分片装置，所述安装架中部设有液压分片装置，所述液压分片装置上下两侧均设有滚压分片装置，所述滚压分片装置包括缓冲机构和滚筒部，所述缓冲机构一端连接安装架，所述缓冲机构另一端可拆卸连接有滚筒部。

2.根据权利要求1所述晶片分离机构，其特征在于：所述液压分片装置包括若干液压喷针，所述液压喷针沿水平方向均匀间隔设置。

3.根据权利要求2所述晶片分离机构，其特征在于：所述缓冲机构包括缓冲弹簧、缓冲杆、限位块和固定螺母，所述缓冲杆一端与滚筒部螺纹连接，所述缓冲杆另一端螺纹连接固定螺母，所述缓冲杆上固定有限位块，所述弹簧一端抵触限位块，所述弹簧另一端抵触安装架。

4.根据权利要求3所述晶片分离机构，其特征在于：所述滚筒部包括滚筒主体和弹性套筒，所述辊筒主体外部套设有弹性套筒。

5.根据权利要求4所述晶片分离机构，其特征在于：所述水箱内设有导向杆，所述支撑板和安装架均开设有与导向杆相对应的通孔。

6.根据权利要求5所述晶片分离机构，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置均包括步进电机、驱动齿轮和固定齿条，所述水箱上端设有步进电机，所述步进电机的输出轴连接有驱动齿轮，所述支撑板和安装架侧面分别固定有固定齿条，所述驱动齿轮和固定齿条一一对应啮合。

7.根据权利要求6所述晶片分离机构，其特征在于：所述送料装置包括转轴、第一传送带和第二传送带，所述转轴一端设有第一传送带，所述转轴另一端设有第二传送带，所述第一传送带和第二传送带并列设置。

8.根据权利要求7所述晶片分离机构，其特征在于：所述上料装置圆筒体、上料电机和真空吸杆，所述水箱侧壁上端可转动的设有圆筒体，所述圆筒体一端传动连接有上料电机，所述圆筒体上固定有真空吸杆，所述真空吸杆沿圆筒体切线方向设置。

9.根据权利要求8所述晶片分离机构，其特征在于：所述水位控制组件包括若干塞子，所述水箱侧壁上开设有若干沿直线阵列排布的溢流孔，所述溢流孔与塞子一一对应，所述溢流孔的阵列方向与水平面所成夹角为锐角。

10.根据权利要求9所述晶片分离机构，其特征在于：所述水循环装置包括过滤水泵，所述水箱一端设有进水管，所述水箱另一端设有出水管，所述进水管和出水管连接过滤水泵。

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