CN211929447U - 一种自动晶片粘接机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自动晶片粘接机构,涉及半导体加工领域,顶板通过立柱架设于底板上方,顶板设有第一固定架、第二固定架和安装支架,安装支架设有摆臂装置,摆臂装置设有第一固晶摆臂和第二固晶摆臂,第一固定架上设有第一视觉装置,第二固定架上设有第二视觉装置,底板边缘位置嵌设有光栅接收器,顶板设有光栅发射器,底板上通过第一Y轴运动机构和第一X轴运动机构安装支撑座,支撑座上冰雷紧靠设有两个载晶网台,底板上通过第二Y轴运动机构和第二X轴运动机构支撑载物台,载物台并列紧靠设有两个工件治具。通过光栅发射器、光栅接收器形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工领域,特别是涉及一种自动晶片粘接机构。
背景技术
二极管的封装包括锡膏印刷、固晶、合膜、烧结、清洗、注塑、固化、成型等工序,其中锡膏印刷、固晶是二极管封装的关键工序,现有的二极管封装一般先采用网印方式将锡膏印刷到框架上,然后送入下一道固晶工序。人员人工操作固晶作业精度低,效率不高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种自动晶片粘接机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种自动晶片粘接机构,包括底板和顶板,所述顶板通过立柱架设于底板上方,所述顶板对称设有第一固定架和第二固定架,所述第一固定架和第二固定架之间设有安装支架,所述安装支架设有摆臂装置,所述摆臂装置的活动端设有第一固晶摆臂和第二固晶摆臂,所述第一固定架上设有第一视觉装置,所述第二固定架上设有第二视觉装置,所述底板边缘位置设有容置槽,所述容置槽上盖设有透明板,所述容置槽内设有光栅接收器,所述顶板边缘部位设有光栅发射器,所述光栅接收器和光栅发射器一一对应,所述底板上于第一视觉装置正下方设有第一Y轴运动机构,所述第一Y轴运动机构上设有第一X轴运动机构,所述第一X轴运动机构上设有支撑座,所述支撑座上并列紧靠设有两个载晶网台,所述底板上于第二视觉装置正下方设有第二Y轴运动机构,所述第二Y轴运动机构上设有第二X轴运动机构,所述第二X轴运动机构上设有载物台,所述载物台上并列紧靠设有两个工件治具。将光栅接收器安装在容置槽和透明板构成的腔体内,避免光栅接收器受外界影响无法工作,通过光栅发射器、光栅接收器形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。
进一步地,所述顶板于第二Y轴运动机构一端正上方设有移料区,所述移料区分别设有第一视觉摄像头和第二视觉摄像头。通过第一视觉摄像头和第二视觉摄像头检测工件上的晶片粘接情况。
进一步地,所述底板上对应移料区设有机械手,所述底板下方设有出料滑道,所述底板于机械手一侧开设有供出料滑道一端贯穿的通口。通过机械手抓取粘接晶片后的工件,并将工件通过出料滑道送出。
进一步地,所述底板上于移料区正下方设有用于顶紧第二X轴运动机构的限位钢板。通过限位钢板限制第二X轴运动机构的运动轨迹。
进一步地,所述底板下表面设有升降气缸,所述升降气缸的活塞杆与限位钢板固定连接,所述底板上开设有供限位钢板贯穿的贯穿槽。升降气缸驱动限位钢板上升,截停第二X轴运动机构,便于下料。
进一步地,所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构均为电动直线模组,所述支撑座底面中部与第一X轴运动机构固定连接,所述载物台底面中部与第二X轴运动机构的滑台固定连接。通过电动直线模组作为动力源驱动支撑座和载物台,使支撑座和载物台座直线运动。
进一步地,所述支撑座上设有第一晶片区和第二晶片区,所述支撑座上于第一晶片区中部开设有第一开口,所述支撑座上于第二晶片区中部开设有第二开口,所述第一开口和第二开口设有深色衬板。深色衬板和载晶网台上的晶片对比,使晶片凸显。
进一步地,所述第一晶片区和第二晶片区上螺纹连接有定位柱,所述载晶网台上开设有与定位柱相对应定位孔。通过定位柱定位载晶网台。
进一步地,所述底板上分别于第一Y轴运动机构和第二Y轴运动机构两侧设有导向导轨,所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构分别设有与导向导轨相对应的滑块。导向导轨和滑块配合限定第一X轴运动机构和第二X轴运动机构能够稳定的位移。
本实用新型的有益效果为:通过光栅发射器、光栅接收器形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。
附图说明
附图对本实用新型作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。
图1为本实用新型一实施例提供的结构示意图。
图中标记:底板1、顶板、立柱2、第一固定架3、第二固定架4、安装支架5、第一固晶摆臂6、第二固晶摆臂7、第一视觉装置8、第二视觉装置9、容置槽10、光栅接收器11、第一Y轴运动机构12、第一X轴运动机构13、支撑座14、载晶网台15、第二Y轴运动机构16、第二X轴运动机构17、载物台18、工件治具19。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限制本实用新型。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
在本实用新型中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指如图1所示的上下左右。“内、外”是指具体轮廓上的内与外。“远、近”是指相对于某个部件的远与近。
如图1中所示,本实用新型一实施例提供的一种自动晶片粘接机构,包括底板1和顶板,所述顶板通过立柱2架设于底板1上方,所述顶板对称设有第一固定架3和第二固定架4,所述第一固定架3和第二固定架4之间设有安装支架5,所述安装支架5设有摆臂装置,所述摆臂装置的活动端设有第一固晶摆臂6和第二固晶摆臂7,所述第一固定架3上设有第一视觉装置8,所述第二固定架4上设有第二视觉装置9,所述底板1边缘位置设有容置槽10,所述容置槽10上盖设有透明板,所述容置槽10内设有光栅接收器11,所述顶板边缘部位设有光栅发射器,所述光栅接收器11和光栅发射器一一对应,所述底板1上于第一视觉装置8正下方设有第一Y轴运动机构,所述第一Y轴运动机构上设有第一X轴运动机构,所述第一X轴运动机构上设有支撑座14,所述支撑座14上并列紧靠设有两个载晶网台15,所述底板1上于第二视觉装置9正下方设有第二Y轴运动机构,所述第二Y轴运动机构上设有第二X轴运动机构,所述第二X轴运动机构上设有载物台18,所述载物台18上并列紧靠设有两个工件治具19。将光栅接收器11安装在容置槽10和透明板构成的腔体内,避免光栅接收器11受外界影响无法工作,通过光栅发射器、光栅接收器11形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。
所述顶板于第二Y轴运动机构一端正上方设有移料区,所述移料区分别设有第一视觉摄像头和第二视觉摄像头。通过第一视觉摄像头和第二视觉摄像头检测工件上的晶片粘接情况。
所述底板1上对应移料区设有机械手,所述底板1下方设有出料滑道,所述底板1于机械手一侧开设有供出料滑道一端贯穿的通口。通过机械手抓取粘接晶片后的工件,并将工件通过出料滑道送出。
所述底板1上于移料区正下方设有用于顶紧第二X轴运动机构的限位钢板。通过限位钢板限制第二X轴运动机构的运动轨迹。
所述底板1下表面设有升降气缸,所述升降气缸的活塞杆与限位钢板固定连接,所述底板1上开设有供限位钢板贯穿的贯穿槽。升降气缸驱动限位钢板上升,截停第二X轴运动机构,便于下料。
所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构均为电动直线模组,所述支撑座14底面中部与第一X轴运动机构固定连接,所述载物台18底面中部与第二X轴运动机构的滑台固定连接。通过电动直线模组作为动力源驱动支撑座14和载物台18,使支撑座14和载物台18座直线运动。
所述支撑座14上设有第一晶片区和第二晶片区,所述支撑座14上于第一晶片区中部开设有第一开口,所述支撑座14上于第二晶片区中部开设有第二开口,所述第一开口和第二开口设有深色衬板。深色衬板和载晶网台15上的晶片对比,使晶片凸显。
所述第一晶片区和第二晶片区上螺纹连接有定位柱,所述载晶网台15上开设有与定位柱相对应定位孔。通过定位柱定位载晶网台15。
所述底板1上分别于第一Y轴运动机构和第二Y轴运动机构两侧设有导向导轨,所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构分别设有与导向导轨相对应的滑块。导向导轨和滑块配合限定第一X轴运动机构和第二X轴运动机构能够稳定的位移。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种自动晶片粘接机构,其特征在于:包括底板和顶板,所述顶板通过立柱架设于底板上方,所述顶板对称设有第一固定架和第二固定架,所述第一固定架和第二固定架之间设有安装支架,所述安装支架设有摆臂装置,所述摆臂装置的活动端设有第一固晶摆臂和第二固晶摆臂,所述第一固定架上设有第一视觉装置,所述第二固定架上设有第二视觉装置,所述底板边缘位置设有容置槽,所述容置槽上盖设有透明板,所述容置槽内设有光栅接收器,所述顶板边缘部位设有光栅发射器,所述光栅接收器和光栅发射器一一对应,所述底板上于第一视觉装置正下方设有第一Y轴运动机构,所述第一Y轴运动机构上设有第一X轴运动机构,所述第一X轴运动机构上设有支撑座,所述支撑座上并列紧靠设有两个载晶网台,所述底板上于第二视觉装置正下方设有第二Y轴运动机构,所述第二Y轴运动机构上设有第二X轴运动机构,所述第二X轴运动机构上设有载物台,所述载物台上并列紧靠设有两个工件治具。
2.根据权利要求1所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述顶板于第二Y轴运动机构一端正上方设有移料区,所述移料区分别设有第一视觉摄像头和第二视觉摄像头。
3.根据权利要求2所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述底板上对应移料区设有机械手,所述底板下方设有出料滑道,所述底板于机械手一侧开设有供出料滑道一端贯穿的通口。
4.根据权利要求3所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述底板上于移料区正下方设有用于顶紧第二X轴运动机构的限位钢板。
5.根据权利要求4所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述底板下表面设有升降气缸,所述升降气缸的活塞杆与限位钢板固定连接,所述底板上开设有供限位钢板贯穿的贯穿槽。
6.根据权利要求5所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构均为电动直线模组,所述支撑座底面中部与第一X轴运动机构固定连接,所述载物台底面中部与第二X轴运动机构的滑台固定连接。
7.根据权利要求6所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述支撑座上设有第一晶片区和第二晶片区,所述支撑座上于第一晶片区中部开设有第一开口,所述支撑座上于第二晶片区中部开设有第二开口,所述第一开口和第二开口设有深色衬板。
8.根据权利要求7所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述第一晶片区和第二晶片区上螺纹连接有定位柱,所述载晶网台上开设有与定位柱相对应定位孔。
9.根据权利要求8所述自动晶片粘接机构,其特征在于:所述底板上分别于第一Y轴运动机构和第二Y轴运动机构两侧设有导向导轨,所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构分别设有与导向导轨相对应的滑块。
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