CN211905975U - 一种方便回收和清理胶体的旋涂设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，包括安装台，安装台的内腔固定安装有真空泵，真空泵的顶部中心处通过驱动装置固定连接有真空吸盘，真空吸盘的顶部吸附固定有基片，驱动装置的外侧壁套接有阻胶块，安装台的顶部固定安装有防护装置，安装台的顶部位于防护装置的内侧固定装配有胶液回收装置。本实用新型的旋涂设备能有效回收旋涂时甩出的废液；位于真空吸盘上方的盖板能防止灰尘落入旋涂腔内，并防止胶体飞溅到上方，并设置有第一防护板和第二防护板，通过第一防护板和第二防护板的防护，使飞溅到侧面的胶体沿第一防护板和第二防护板下流到回收孔内，有效回收飞溅到侧面的胶体。

Description

一种方便回收和清理胶体的旋涂设备

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种方便回收和清理胶体的旋涂设备。

背景技术

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率，是一种新型的微纳加工技术。纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液，压印，固化，分离等。压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式，其中旋涂最为常见。旋涂原理即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液，旋转速度，旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。

在旋涂时，滴加在基片上的胶体一部分在基片上涂覆，一部分被从基片上甩出，从而导致胶体浪费，并且使旋涂设备不易清洁。为此我们提出一种方便回收和清理胶体的旋涂设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，包括安装台，所述安装台的内腔固定安装有真空泵，所述真空泵的顶部中心处通过驱动装置固定连接有真空吸盘，所述真空吸盘的顶部吸附固定有基片，所述驱动装置的外侧壁套接有阻胶块，所述安装台的顶部固定安装有防护装置，所述安装台的顶部位于防护装置的内侧固定装配有胶液回收装置。

优选的，所述驱动装置包括固定安装在真空泵顶部的驱动电机，所述驱动电机的输出端插接至真空吸盘的底部，所述驱动电机的输出端固定安装有定位销，所述定位销插接至定位销卡槽内，所述定位销卡槽开设在真空吸盘的底部。

优选的，所述防护装置包括底座、第一防护板、第二防护板、安装架和盖板，所述底座装配在安装台的顶部，所述第一防护板与底座固定连接，所述第一防护板内套接第二防护板，所述第一防护板的左右侧壁对称固定安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端与第二防护板的顶部固定连接，所述安装架固定安装在安装台的上侧壁，所述安装架内通过转动轴转动连接盖板。

优选的，所述底座的顶部一体成型有支撑块，所述支撑块与阻胶块相贴合。

优选的，所述胶液回收装置包括胶液回收孔和回收桶，所述回收桶嵌入安装在安装台的顶部，所述胶液回收孔贯穿底座，所述胶液回收孔与回收桶相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设备能有效回收旋涂时甩出的废液；位于真空吸盘上方的盖板能防止灰尘落入旋涂腔内，并防止胶体飞溅到上方，并设置有第一防护板和第二防护板，通过第一防护板和第二防护板的防护，使飞溅到侧面的胶体沿第一防护板和第二防护板下流到回收孔内，有效回收飞溅到侧面的胶体。

本装置在使用的过程中有效的回收胶体使旋涂腔内残留的胶体，更有利于设备的清理；在旋涂完毕清理旋涂腔时，可用工具将残留在阻胶块的从旋转轴方向推向侧板方向，胶体继续流动到胶液回收孔被回收，清理方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中的a处细节图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型阻胶块的结构示意图；

图5为本实用新型使用状态下的结构示意图。

图中：1、安装台，2、真空泵，3、驱动装置，31、驱动电机，32、定位销，33、定位销卡槽，4、真空吸盘，5、基片，6、阻胶块，7、防护装置，71、底座，72、第一防护板，73、第二防护板，74、安装架，75、盖板，76、伸缩气缸，8、胶液回收装置，81、胶液回收孔，82、回收桶，9、支撑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，包括安装台1，安装台1的内腔固定安装有真空泵2，真空泵2的顶部中心处通过驱动装置3固定连接有真空吸盘4，真空吸盘4的顶部吸附固定有基片5，真空吸盘4的表面开设有真空槽，真空泵2的输出端通过气管与真空槽相连通(在图内并未示出，此为本技术领域成熟的现有技术)，真空泵2连接有外部电源，真空泵2通电开启后，通过真空槽使真空吸盘4的表面呈负压状态对基片5进行吸附固定。

驱动装置3包括固定安装在真空泵2顶部的驱动电机31，驱动电机31的输出端插接至真空吸盘4的底部，驱动电机31的输出端固定安装有定位销32，定位销32插接至定位销卡槽33内，定位销卡槽33开设在真空吸盘4的底部，驱动电机31为直流无刷电机，驱动电机31电连接有外部电源，通过定位销32与定位销卡槽33的配合，使驱动电机31通电开启后可以带动真空吸盘4进行转动对基片5表面的胶体进行旋涂。

驱动装置3的外侧壁套接有阻胶块6，阻胶块6的形状如图4中所示，阻胶块6的侧边呈倾斜状，便于对胶体进行回收，同时由于阻胶块6的存在，避免在阻挡了旋涂过程中甩出的胶体，使胶体只能流向阻胶块6与防护装置7之间的空隙，不会反弹到基片5的背面，防止胶体污染基片5的背面。

安装台1的顶部固定安装有防护装置7，安装台1的顶部位于防护装置7的内侧固定装配有胶液回收装置8。

防护装置7包括底座71、第一防护板72、第二防护板73、安装架74和盖板75，底座71装配在安装台1的顶部，第一防护板72与底座71固定连接，第一防护板72内套接第二防护板73，第一防护板72的左右侧壁对称固定安装有伸缩气缸76，伸缩气缸76的输出端与第二防护板73的顶部固定连接，安装架74固定安装在安装台1的上侧壁，安装架74内通过转动轴转动连接盖板75，通过第一防护板72和第二防护板73组成旋涂腔，在旋涂的过程中形成密闭空间，避免旋涂过程中胶体发送飞溅，伸缩气缸76的输入通过连接管连接有气泵，气泵电连接外部电源，通过气泵可以控制伸缩气缸76输出端的升降，从而控制第二防护板73的高度，在旋涂前，第二防护板73未升起，方便将基片5装配至真空吸盘4上，在旋涂的过程中控制第二防护板73升起，使第一防护板72和第二防护板73相配合，具有更好的防护效果，安装架74内固定安装有转动电机(在图内为示出)，转动电机的输出端与转动轴固定连接，通过转动电机输出端带动转动轴的转动，使转动轴带动盖板75进行转动，从而使盖板5对基片5的顶部进行遮盖，转动电机为脉冲步进电机，电连接有外部控制器，外部控制器电连接外部电源，通过外部控制器对脉冲步进电机发送脉冲信号，控制转动电机进行正转或是反转。

底座71的顶部一体成型有支撑块9，支撑块9与阻胶块6相贴合，通过设置支撑块9使阻胶块6便于取下，便于对阻胶块6进行清洁处理，阻胶块6的表面和第一防护板72、第二防护板73的内侧壁均涂抹有防粘胶涂层，便于更好的对胶体进行回收。

胶液回收装置8包括胶液回收孔81和回收桶82，回收桶82嵌入安装在安装台1的顶部，胶液回收孔81贯穿底座71，胶液回收孔81与回收桶82相连通，飞溅的胶体被第一防护板72和第二防护板73遮挡后，通过胶液回收孔81进入到回收桶82内进行回收。

工作原理：在进行涂胶时，如图1中所示，盖板75呈倾斜，第二防护板73并未升起，将基片5装配于真空吸盘4的顶部，开启真空泵2，使真空吸盘4对基片5进行吸附，然后在基片5的表面点胶后，控制第二防护板73升起，并转动盖板75对使第一防护板72和第二防护板73完成封闭，通过驱动装置3带动真空吸盘4转动，完成旋涂，在旋涂的过程中胶体在基片5上被甩出，一部分在基片5上匀开，另一部分飞溅到第一防护板72、第二防护板73和阻胶块6上，然后通过胶液回收孔81进入到回收桶82内进行回收，完成旋涂后，控制盖板75翻转，然后控制第二防护板73下降，通过工具将残留在阻胶块6侧壁的胶体推向第一防护板72，胶体继续流至胶液回收孔81内被回收，清理方便。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)的内腔固定安装有真空泵(2)，所述真空泵(2)的顶部中心处通过驱动装置(3)固定连接有真空吸盘(4)，所述真空吸盘(4)的顶部吸附固定有基片(5)，所述驱动装置(3)的外侧壁套接有阻胶块(6)，所述安装台(1)的顶部固定安装有防护装置(7)，所述安装台(1)的顶部位于防护装置(7)的内侧固定装配有胶液回收装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，其特征在于：所述驱动装置(3)包括固定安装在真空泵(2)顶部的驱动电机(31)，所述驱动电机(31)的输出端插接至真空吸盘(4)的底部，所述驱动电机(31)的输出端固定安装有定位销(32)，所述定位销(32)插接至定位销卡槽(33)内，所述定位销卡槽(33)开设在真空吸盘(4)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，其特征在于：所述防护装置(7)包括底座(71)、第一防护板(72)、第二防护板(73)、安装架(74)和盖板(75)，所述底座(71)装配在安装台(1)的顶部，所述第一防护板(72)与底座(71)固定连接，所述第一防护板(72)内套接第二防护板(73)，所述第一防护板(72)的左右侧壁对称固定安装有伸缩气缸(76)，所述伸缩气缸(76)的输出端与第二防护板(73)的顶部固定连接，所述安装架(74)固定安装在安装台(1)的上侧壁，所述安装架(74)内通过转动轴转动连接盖板(75)。

4.根据权利要求3所述的一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，其特征在于：所述底座(71)的顶部一体成型有支撑块(9)，所述支撑块(9)与阻胶块(6)相贴合。

5.根据权利要求3所述的一种方便回收和清理胶体的旋涂设备，其特征在于：所述胶液回收装置(8)包括胶液回收孔(81)和回收桶(82)，所述回收桶(82)嵌入安装在安装台(1)的顶部，所述胶液回收孔(81)贯穿底座(71)，所述胶液回收孔(81)与回收桶(82)相连通。

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