CN211905912U - 一种带有摩擦预警的烘烤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种带有摩擦预警的烘烤装置，用于对基板进行烘烤，包括热盘和可升降的支撑组件，支撑组件的一端用于穿过热盘并对基板进行支撑，且支撑组件在升降过程中带动基板朝向或远离热盘移动，还包括检测装置，检测装置的一端与支撑组件电连接，检测装置的另一端与热盘电连接，当支撑组件与热盘接触时，检测装置、支撑组件和热盘导通形成回路，本实用新型提供的带有摩擦预警的烘烤装置，当基板支架长时间上下升降时顶针会发生偏位及弯曲的现象，进而通过该装置可以及时检测到基板支架是否与热盘发生接触，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘会污染基板，进而影响基板生产品质的问题。

Description

一种带有摩擦预警的烘烤装置

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术领域，特别是涉及一种带有摩擦预警的烘烤装置。

背景技术

在生产基板的工艺中，光刻技术是应用最为广泛的一种技术，其中，光刻技术具体主要包括以下工序：首先对基板进行清洗，清洗完成后对基板进行烘烤处理使其干燥，以去除基板表面的水分，接着对基板进行光刻胶涂布、减压干燥以及烘烤处理，当烘烤结束后再对基板进行曝光处理，接着，再对基板进行显影处理和烘烤处理，当上述所有步骤处理完成后，对基板进行检查以确认生产结束，通常，在对基板进行烘烤处理时，会采用烘烤装置内的热盘对基板进行加热烘烤，并且在烘烤过程中，基板需要与热盘保持一定的距离，这样可以确保热盘内的干燥温度能够较好的传递至基板上，然后利用热盘对基板提供均匀的温度并进行加热，以去除基板表面的水分。

目前，对基板进行烘烤时，将基板支架从热盘中间的圆孔穿出，接着升起基板支架以便于机械手能够将基板放置在基板支架上，然后将基板支架降低至一定高度时热盘开始对基板进行烘烤，当烘烤结束后，再升起基板支架并配合机械手从基板支架上取走基板，以去除基板表面的水分并完成烘烤。

然后，采用现有技术对基板进行烘烤时，基板支架与热盘之间的间距很小，在长时间生产基板的过程中，基板支架上下升降，顶针会发生偏位及弯曲的现象，进而与热盘进行接触并摩擦产生灰尘，而灰尘会污染基板，进而影响基板的生产品质。

实用新型内容

为了解决现有中在烘烤基板时，基板支架上下升降会与热盘接触，接触后金属屑内部的粉尘会污染基板，进而影响基板生产品质的问题，本实用新型提供一种带有摩擦预警的烘烤装置。

本实用新型提供一种带有摩擦预警的烘烤装置，包括热盘和可升降的支撑组件；

所述支撑组件的一端用于穿过所述热盘并对所述基板进行支撑，且所述支撑组件在升降过程中带动所述基板朝向或远离所述热盘移动；

还包括：检测装置，所述检测装置的一端与所述支撑组件电连接，所述检测装置的另一端与所述热盘电连接；

当所述支撑组件与所述热盘接触时，所述检测装置、所述支撑组件和所述热盘导通形成回路。

本实用新型的具体实施方式中，所述检测装置包括脉冲发射器和电流检测装置；

所述电流检测装置与所述脉冲发射器电连接，所述脉冲发射器的一端与所述支撑组件电连接，所述电流检测装置的另一端与所述热盘电连接；或者

所述脉冲发射器的一端与所述热盘电连接，所述电流检测装置的另一端与所述支撑组件电连接。

本实用新型的具体实施方式中，所述支撑组件包括：升降单元以及与所述升降单元相连的支架，所述升降单元用于驱动所述支架升降，以使所述支架的一端穿过所述热盘对所述基板进行支撑；

所述脉冲发射器的一端与所述支架电连接。

本实用新型的具体实施方式中，所述支架包括支撑板和设在所述支撑板上的多个顶针，多个所述顶针的顶端可穿过所述热盘；

所述升降单元与所述支撑板相连，每个所述顶针通过导线与所述脉冲发射器电连接。

本实用新型的具体实施方式中，每个所述顶针的外表面设有绝缘层，所述绝缘层外设有金属层，每个所述顶针外表面的所述金属层通过所述导线与所述脉冲发射器电连接。

本实用新型的具体实施方式中，每个所述顶针顶端设有绝缘的隔热垫。

本实用新型的具体实施方式中，所述热盘上开设多个可供所述顶针的顶端穿过的通孔，且所述通孔的内径大于所述顶针的外径，以使所述顶针的外壁与所述通孔的内壁之间具有间隙。

本实用新型的具体实施方式中，所述通孔的内壁上设有导电层，每个通孔内壁上的所述导电层与所述电流检测装置电连接；

当所述顶针与所述导电层接触时，所述电流检测装置、所述顶针和所述导电层导通形成所述回路。

本实用新型的具体实施方式中，所述导电层的两端向所述通孔外的所述热盘表面延伸形成延伸层，相邻两个所述通孔处的所述延伸层通过第一导线电连接，以使所述电流检测装置与每个所述通孔处的所述导电层电连接。

本实用新型的具体实施方式中，所述支撑板划分为多个分区，每个所述分区内设置的所述顶针相对的所述通孔处的导电层相连，且每个分区对应的所述通孔处的所述导电层通过导线与所述电流检测装置的一个端口相连；或者

所述支撑板划分为多个间隔的第一分区以及与所述第一分区垂直且部分重叠的多个第二分区，位于所述第一分区内的多个所述顶针通过导线电连接，位于所述第二分区内的多个所述顶针对应的所述通孔处的所述导电层通过导线电连接；

且每个所述第一分区内的所述顶针通过导线接入所述脉冲发射器的其中一个端口，每个所述第二分区内的所述顶针对应的所述通孔处的所述导电层通过导线接入所述电流检测装置的其中一个端口。

本实用新型提供的一种带有摩擦预警的烘烤装置，通过包括热盘和可升降的支撑组件，所述支撑组件的一端用于穿过所述热盘并对所述基板进行支撑，且所述支撑组件在升降过程中带动所述基板朝向或远离所述热盘移动，还包括检测装置，所述检测装置的一端与所述支撑组件电连接，所述检测装置的另一端与所述热盘电连接，当所述支撑组件与所述热盘接触时，所述检测装置、所述支撑组件和所述热盘导通形成回路，所述检测装置用于根据检测到的导通信号触发报警，以使所述烘烤装置停止工作。

这样在烘烤基板时，通过设置可升降的支撑组件和检测装置，其中，支撑组件可以带动基板朝向或远离所述热盘移动，当支撑组件与热盘接触后，检测装置、所述支撑组件和所述热盘导通形成回路，接着通过检测装置可以根据检测到的导通信号触发报警，以使所述烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板的问题，从而确保了基板的生产品质，因此，本实用新型提供的一种带有摩擦预警的烘烤装置，当基板支架长时间上下升降时顶针会发生偏位及弯曲的现象，进而通过该装置可以及时检测到基板支架是否与热盘发生接触，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘会污染基板，进而影响基板生产品质的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中支撑组件在热盘内升起时的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中支撑组件在热盘内降低时的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中支撑组件与热盘接触时的结构示意图；

图4是本实用新型实施例中基板、支撑组件和热盘的结构示意图；

图5是本实用新型实施例中顶针上涂有绝缘层以及导电层的结构示意图；

图6是本实用新型实施例中顶针的一种分区示意图；

图7是本实用新型实施例中顶针的另一种分区示意图；

图8是本实用新型提供的支撑组件、热盘、基板和检测装置的另一种结构示意图。

附图标记说明：

10-支撑组件；

11-升降单元；

12-支架；

121-支撑板；

1211-分区；

122-顶针；

1221-绝缘层；

1222-金属层；

1223-绝缘的隔热垫；

20-基板；

30-热盘；

31-通孔；

311-导电层；

312-延伸层；

40-检测装置；

41-脉冲发射器；

42-电流检测装置；

50-第二导线；

60-第一导线。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1是本实用新型实施例中支撑组件在热盘内升起时的结构示意图，图2是本实用新型实施例中支撑组件在热盘内降低时的结构示意图，图3是本实用新型实施例中支撑组件与热盘接触时的结构示意图，图4是本实用新型实施例中基板、支撑组件和热盘的结构示意图，图5是本实用新型实施例中顶针上涂有绝缘层以及导电层的结构示意图，图6是本实用新型实施例中顶针的一种分区示意图，图7是本实用新型实施例中顶针的另一种分区示意图，图8是本实用新型提供的支撑组件、热盘、基板和检测装置的另一种结构示意图。

本实施例提供一种带有摩擦预警的烘烤装置，可以对基板进行烘烤，本实施例中，通过设置可升降的支撑组件和检测装置，可以根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板的问题，从而确保了基板的生产品质，并完成对基板的烘烤。

参见图1和图2所示，本实施例中，该烘烤装置可以包括热盘30和可升降的支撑组件10，其中，支撑组件10的一端用于穿过热盘30并对基板20进行支撑，且支撑组件10在升降过程中可以带动基板20朝向或远离热盘30移动。

本实施例中，还可以包括检测装置40，检测装置40的一端与支撑组件10电连接，检测装置40的另一端与热盘30电连接，这样在烘烤时，当支撑组件10与热盘30接触时，检测装置40、支撑组件10和热盘30导通可以形成回路，检测装置40用于根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作。

本实施例提供的烘烤装置在使用时，具体操作为：参见图1所示，当对基板20进行烘烤时，首先，将支撑组件10的一端穿过热盘30，接着升起支撑组件10以便于机械手能够将基板20放置在支撑组件10上，接着，参见图2所示，将支撑组件10降低至一定高度后，热盘30开始对基板20进行烘烤，这样通过在基板20与热盘30之间保持一定的距离，可以确保热盘30内的干燥温度能够较好的传递至基板20上，然后利用热盘30对基板20提供均匀的温度并进行加热，以去除基板20表面的水分，在对基板20进行烘烤的过程中，支撑组件10在热盘30内上下升降以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当支撑组件10与热盘30接触时，参见图3所示，检测装置40、支撑组件10和热盘30会导通并且形成回路，接着检测装置40根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置，通过包括热盘30和可升降的支撑组件10，支撑组件10的一端用于穿过热盘30并对基板20进行支撑，且支撑组件10在升降过程中带动基板20朝向或远离热盘30移动，还包括检测装置40，检测装置40的一端与支撑组件10电连接，检测装置40的另一端与热盘30电连接，当支撑组件10与热盘30接触时，检测装置40、支撑组件10和热盘30导通形成回路，检测装置40用于根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作。

这样在烘烤基板20时，通过设置可升降的支撑组件10和检测装置40，其中，支撑组件10可以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当支撑组件10与热盘30接触后，检测装置40、支撑组件10和热盘30导通形成回路，接着通过检测装置40可以根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质，因此，本实用新型提供的一种带有摩擦预警的烘烤装置，当支撑组件10上下升降时顶针122会发生偏位及弯曲的现象，进而通过该装置可以预测到支撑组件10是否与热盘30发生接触，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘会污染基板20，进而影响基板20生产品质的问题。

在上述实施例的基础上，本实施例中，参见图1至图3所示所示，检测装置40可以包括脉冲发射器41和电流检测装置42，其中，电流检测装置42可以与脉冲发射器41电连接，脉冲发射器41可以与支撑组件10电连接，电流检测装置42的另一端可以与热盘30电连接，或者，本实施例中，脉冲发射器41的一端还可以与热盘30电连接，电流检测装置42的另一端还可以与支撑组件10电连接，本实施例中，对电流检测装置42和脉冲发射器41的连接顺序不做限定。

这样在烘烤基板20时，当支撑组件10与热盘30接触时，脉冲发射器41、电流检测装置42、支撑组件10和热盘30导通形成回路，电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置在使用时，具体操作为：当对基板20进行烘烤时，首先，将支撑组件10的一端穿过热盘30，接着升起支撑组件10以便于机械手能够将基板20放置在支撑组件10上，接着，将支撑组件10降低至一定高度后，热盘30开始对基板20进行烘烤，这样通过在基板20与热盘30之间保持一定的距离，可以确保热盘30内的干燥温度能够较好的传递至基板20上，然后利用热盘30对基板20提供均匀的温度并进行加热，以去除基板20表面的水分，在对基板20进行烘烤的过程中，支撑组件10在热盘30内上下升降以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当支撑组件10与热盘30接触时，电流检测装置42、脉冲发射器41、支撑组件10和热盘30会导通并且形成回路，同时电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置，通过包括脉冲发射器41和电流检测装置42，其中，电流检测装置42可以与脉冲发射器41电连接，脉冲发射器41的一端可以与支撑组件10电连接，电流检测装置42的另一端可以与热盘30电连接，或者，本实施例中，脉冲发射器41的一端还可以与热盘30电连接，电流检测装置42的另一端还可以与支撑组件10电连接。

这样在烘烤基板20时，可以及时根据检测到的导通信号触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质，因此，本实用新型提供的一种带有摩擦预警的烘烤装置，当支撑组件10上下升降时顶针122会发生偏位及弯曲的现象，进而通过该装置可以预测到支撑组件10是否与热盘30发生接触，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘会污染基板20，进而影响基板20生产品质的问题。

在上述实施例的基础上，本实施例中，参见图1至图4所示，支撑组件10可以包括升降单元11以及与升降单元11相连的支架12，升降单元11用于驱动支架12升降，以使支架12的一端穿过热盘30对基板20进行支撑，其中脉冲发射器41的正极与支架12电连接。

本实施例提供的烘烤装置在使用时，具体操作为：当对基板20进行烘烤时，首先，将支架12的一端穿过热盘30，接着通过升降单元11将支架12升起以便于机械手能够将基板20放置在支架12的一端，然后再通过升降单元11将支架12降低至一定高度后，热盘30开始对基板20进行烘烤，这样通过在基板20与热盘30之间保持一定的距离，可以确保热盘30内的干燥温度能够较好的传递至基板20上，然后利用热盘30对基板20提供均匀的温度并进行加热，以去除基板20表面的水分，在对基板20进行烘烤的过程中，支架12在升降单元11的作用下在热盘30内上下升降以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当支撑组件10与热盘30接触时，电流检测装置42、脉冲发射器41、支撑组件10和热盘30会导通并且形成回路，同时电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置，通过包括支撑组件10，其中支撑组件10可以包括升降单元11以及与升降单元11相连的支架12，这样在对基板20进行烘烤时，通过升降单元11来驱动支架12升降，以使支架12的一端穿过热盘30对基板20进行支撑，脉冲发射器41的正极与支架12电连接，这样当支架12与热盘30接触时，电流检测装置42、脉冲发射器41、支撑组件10和热盘30会导通并且形成回路，同时，电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，有效避免了因持续生产导致产品返工或报废的问题，提高了基板20的生产品质，并节约了生产成本。

在上述实施例的基础上，本实施例中，支架12可以包括支撑板121和设在支撑板121上的多个顶针122，多个顶针122的顶端可穿过热盘30，升降单元11与支撑板121相连，每个顶针122通过导线与脉冲发射器41的正极电连接。

本实施例提供的烘烤装置在使用时，具体操作为：当对基板20进行烘烤时，首先，将多个顶针122的顶端穿过热盘30，接着通过升降单元11将多个顶针122和支撑板121升起以便于机械手能够将基板20放置在多个顶针122的顶端，然后再通过升降单元11将多个顶针122和支撑板121降低至一定高度后，热盘30开始对基板20进行烘烤，这样通过在基板20与热盘30之间保持一定的距离，可以确保热盘30内的干燥温度能够较好的传递至基板20上，然后利用热盘30对基板20提供均匀的温度并进行加热，以去除基板20表面的水分，在对基板20进行烘烤的过程中，支撑板121和多个顶针122在升降单元11的作用下在热盘30内上下升降以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当支撑组件10与热盘30接触时，这时电流检测装置42、脉冲发射器41、多个顶针122和热盘30会导通并且形成回路，同时电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置，通过包括支撑板121和设在支撑板121上的多个顶针122，多个顶针122的顶端可穿过热盘30，升降单元11与支撑板121相连，每个顶针122通过导线与脉冲发射器41的正极电连接，这样在对基板20进行烘烤时，通过升降单元11来驱动支撑板121和多个顶针122升降，以使多个顶针122的顶端穿过热盘30对基板20进行支撑，脉冲发射器41的正极与顶针122电连接，这样当顶针122与热盘30接触时，电流检测装置42、脉冲发射器41、顶针122和热盘30会导通并且形成回路，同时，电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作。

在上述实施例的基础上，参见图5所示，本实施例中，每个顶针122的外表面可以设有绝缘层1221，绝缘层1221外可以设有金属层1222，每个顶针122外表面的金属层1222可以通过第二导线50与脉冲发射器41电连接。

本实施例中，首先，整个顶针122在支撑板121的作用下为连通状态，接着，对整个顶针122的外表面上涂绝缘层1221，在绝缘层1221的作用下使得整个顶针122分开独立，这样当脉冲发射器41发射脉冲后，不会使得整个顶针122都接收到脉冲，接着，对独立后的每个顶针122的外表面上再涂金属层1222，这样当对顶针122进行分区后，可以按照区域将该区域内的顶针122用第二导线50电连接起来，这样可以快速判定某个区域内的顶针122与热盘30发生了接触，便于快速并排查异常顶针122。

在上述实施例的基础上，参见图4所示，本实施例中，每个顶针122顶端可以设有绝缘的隔热垫1223，通过在顶针122顶端设置绝缘的隔热垫1223，这样当脉冲发射器41发射脉冲后，绝缘的隔热垫1223可以阻断顶针122与基板20之间的脉冲，以确保基板20不会受到脉冲的影响而对生产品质造成影响的问题。

在上述实施例的基础上，本实施例中，参见图1至图4所示，热盘30上开设多个可供顶针122的顶端穿过的通孔31，且通孔31的内径大于顶针122的外径，顶针122的外壁与通孔31的内壁之间可以具有间隙。

本实施例中，热盘30上可以开设圆形结构的通孔31，热盘30上可以开设椭圆形结构的通孔31，热盘30上还可以开设方形、矩形等结构的通孔31，本实施例中，具体以热盘30上开设圆形结构的通孔31为例进行说明。

本实施例中，顶针122的外壁与通孔31的内壁之间可以设置间隙，这样对基板20进行烘烤时，当顶针122在通孔31内升降时，可以避免当顶针122的外壁与通孔31内壁之间无间隙时会造成升降困难的问题，同时降低了操作难度。

在上述实施例的基础上，参见图1至图3所示，通孔31的内壁上可以设有导电层311，每个通孔31内壁上的导电层311可以通过第二导线50与电流检测装置42电连接，当顶针122与导电层311接触时，电流检测装置42、顶针122和导电层311导通可以形成回路。

本实施例提供的烘烤装置在使用时，具体操作为：当对基板20进行烘烤时，首先，将多个顶针122的顶端从热盘30内的通孔31穿过，接着通过升降单元11将多个顶针122和支撑板121升起以便于机械手能够将基板20放置在多个顶针122的顶端，然后再通过升降单元11将多个顶针122和支撑板121降低至一定高度后，热盘30开始对基板20进行烘烤，这样通过在基板20与热盘30之间保持一定的距离，可以确保热盘30内的干燥温度能够较好的传递至基板20上，然后利用热盘30对基板20提供均匀的温度并进行加热，以去除基板20表面的水分。

在对基板20进行烘烤的过程中，支撑板121和多个顶针122在升降单元11的作用下在热盘30内上下升降以带动基板20朝向或远离热盘30移动，当多个顶针122与热盘30接触时，这时电流检测装置42、脉冲发射器41、多个顶针122和导电层311会导通并且形成回路，同时电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作，避免了接触后金属屑内部的粉尘持续污染基板20的问题，从而确保了基板20的生产品质。

本实施例提供的烘烤装置，通过在通孔31的内壁上设有导电层311，每个通孔31内壁上的导电层311通过第二导线50与电流检测装置42电连接，这样在对基板20进行烘烤时，通过升降单元11来驱动支撑板121和多个顶针122升降，以使多个顶针122从热盘30内的通孔31穿过并对基板20进行支撑，这样当顶针122与热盘30接触时，电流检测装置42、多个顶针122和导电层311会导通并且形成回路，同时，电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作。

在上述实施例的基础上，本实施例中，参见图1至图3所示，导电层311的两端可以向通孔外的热盘表面延伸形成延伸层312，相邻两个通孔处的延伸层312可以通过第一导线60电连接，以使电流检测装置42与每个通孔处的导电层电连接。

本实施例提供的烘烤装置，通过在导电层的两端向通孔外的热盘表面延伸形成延伸层312，这样在对基板20进行烘烤时，通过升降单元11来驱动支撑板121和多个顶针122升降，以使多个顶针122从热盘30内的通孔31穿过并对基板20进行支撑，这样当顶针122与热盘30接触时，电流检测装置42、多个顶针122和导电层311会通过第一导线60和第二导线50导通并且形成回路，同时，电流检测装置42可以检测到脉冲发射器41发射的脉冲，并根据检测到的脉冲电流触发报警，以使烘烤装置停止工作。

在上述实施例的基础上，支撑板121可以划分为多个分区1211，本实施例中，以将支撑板121划分为9个分区1211为例进行说明，具体参见图6所示，其中，每个分区内设置的顶针122与相对的通孔31处的导电层311相连，且每个分区对应的通孔31处的导电层311通过第二导线50与电流检测装置42的一个端口相连。

本实施例中，通过将支撑板121划分为多个区域，并且将每个区域内的导电层311与电流检测装置42的一个端口相连，这样当电流检测装置42的某一个端口检测到脉冲时，就可以判定该区域内设置的顶针122与热盘30发生接触，以便于快速锁定并且排查异常顶针122，提高了工作效率，保证了基板20的生产品质。

本实施例中，参见图7所示，支撑板121还可以划分为多个间隔的第一分区X以及与第一分区X垂直且部分重叠的多个第二分区Y，具体的本实施例中，以支撑板121划分为8个间隔的第一分区X，例如：第一分区X1、第一分区X2、第一分区X3、第一分区X4、第一分区X5、第一分区X6、第一分区X7和第一分区X8，7个第二分区Y，例如：第二分区Y1、第二分区Y2、第二分区Y3、第二分区Y4、第二分区Y5、第二分区Y6和第二分区Y7为例进行说明，其中，位于第一分区内的多个顶针122可以通过第二导线50电连接，位于第二分区内的多个顶针122对应的通孔31处的导电层311通过第二导线50电连接。

本实施例中，参见图8所示，每个第一分区内的顶针122可以通过第二导线50接入脉冲发射器41的其中一个端口，每个第二分区内的顶针122对应的通孔31处的导电层311可以通过第一导线60接入电流检测装置42的其中一个端口。

本实施例提供的烘烤装置，通过将支撑板121划分为多个间隔的第一分区以及与第一分区垂直且部分重叠的多个第二分区，接着脉冲发射器41以一定的频率依次向第一分区进行扫描，当第一分区内的某个分区发射脉冲后，第二分区内的某个分区检测到脉冲，这样可以判定该区域内的某个顶针122与热盘30发生了接触，以便于快速锁定并且排查异常顶针122，提高了工作效率，避免了持续生产导致产品返工或报废的问题，节约了生产成本，并且保证了基板20的生产品质。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例中所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种带有摩擦预警的烘烤装置，用于对基板进行烘烤，其特征在于，包括：热盘和可升降的支撑组件；

所述支撑组件的一端用于穿过所述热盘并对所述基板进行支撑，且所述支撑组件在升降过程中带动所述基板朝向或远离所述热盘移动；

还包括：检测装置，所述检测装置的一端与所述支撑组件电连接，所述检测装置的另一端与所述热盘电连接；

当所述支撑组件与所述热盘接触时，所述检测装置、所述支撑组件和所述热盘导通形成回路。

2.根据权利要求1所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，所述检测装置包括脉冲发射器和电流检测装置；

所述电流检测装置与所述脉冲发射器电连接，所述脉冲发射器的一端与所述支撑组件电连接，所述电流检测装置的另一端与所述热盘电连接；或者

所述脉冲发射器的一端与所述热盘电连接，所述电流检测装置的另一端与所述支撑组件电连接。

3.根据权利要求2所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，所述支撑组件包括：升降单元以及与所述升降单元相连的支架，所述升降单元用于驱动所述支架升降，以使所述支架的一端穿过所述热盘对所述基板进行支撑；

所述脉冲发射器的一端与所述支架电连接。

4.根据权利要求3所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，所述支架包括支撑板和设在所述支撑板上的多个顶针，多个所述顶针的顶端可穿过所述热盘；

所述升降单元与所述支撑板相连，每个所述顶针通过导线与所述脉冲发射器电连接。

5.根据权利要求4所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，

每个所述顶针的外表面设有绝缘层，所述绝缘层外设有金属层，每个所述顶针外表面的所述金属层通过所述导线与所述脉冲发射器电连接。

6.根据权利要求4所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，每个所述顶针顶端设有绝缘的隔热垫。

7.根据权利要求4所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，

所述热盘上开设多个可供所述顶针的顶端穿过的通孔，且所述通孔的内径大于所述顶针的外径，以使所述顶针的外壁与所述通孔的内壁之间具有间隙。

8.根据权利要求7所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，所述通孔的内壁上设有导电层，每个通孔内壁上的所述导电层与所述电流检测装置电连接；

当所述顶针与所述导电层接触时，所述电流检测装置、所述顶针和所述导电层导通形成所述回路。

9.根据权利要求8所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，所述导电层的两端向所述通孔外的所述热盘表面延伸形成延伸层，相邻两个所述通孔处的所述延伸层通过第一导线电连接，以使所述电流检测装置与每个所述通孔处的所述导电层电连接。

10.根据权利要求8所述的带有摩擦预警的烘烤装置，其特征在于，

所述支撑板划分为多个分区，每个所述分区内设置的所述顶针与相对的所述通孔处的导电层相连，且每个分区对应的所述通孔处的所述导电层通过导线与所述电流检测装置的一个端口相连；或者

所述支撑板划分为多个间隔的第一分区以及与所述第一分区垂直且部分重叠的多个第二分区，位于所述第一分区内的多个所述顶针通过导线电连接，位于所述第二分区内的多个所述顶针对应的所述通孔处的所述导电层通过导线电连接；

且每个所述第一分区内的所述顶针通过导线接入所述脉冲发射器的其中一个端口，每个所述第二分区内的所述顶针对应的所述通孔处的所述导电层通过导线接入所述电流检测装置的其中一个端口。

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