CN211778393U - 一种压力定位的升降机构 - Google Patents
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Abstract
一种压力定位的升降机构,属于晶体加工技术领域,所述升降机构包括外侧板、滑块、直线导轨、内箱体、底板、工作台、压力传感器、电动推杆,所述底板上固定设置有两对称设置的外侧板,所述外侧板的相对两侧分别设有滑块,所述两外侧板之间设有内箱体,所述内箱体两侧设有直线导轨,所述直线导轨与滑块相匹配,二者相互配合滑动连接,所述底板上于内箱体内设有电动推杆,所述电动推杆上方设有压力传感器,所述电动推杆经压力传感器与内箱体相连,所述内箱体的上方与工作台固定相连。本实用新型采用压力传感器和伺服电机共同控制升降位置;采用高精度直线导轨及整体内箱体的方式,提升系统的稳定性及精度。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体加工技术领域,具体涉及一种压力定位的升降机构。
背景技术
晶体在加工过程中,大都是通过多线切割机对晶体进行切割,而晶体的定向粘接工序,是其中不可或缺的一部分。粘接晶体的精度,直接关系到晶体加工成品的效率。在晶体定向粘接过程中,升降机构的精度和稳定性又是制约其定向粘接结果的主要原因之一。
就现有技术水平,不同批次晶棒的外形尺寸、形位公差很难保证一致。当晶棒外形尺寸有波动时,通过外形尺寸定位的升降方式,就会产生较大的结果偏差。目前粘料机的升降机构,一般都具有稳定性差,工作台面平行度不稳定等特点。市面上在售的常规升降平台,也有受力后易变形,定位精度低行程小的特点。
发明内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种压力定位的升降机构,采用压力传感器和伺服电机共同控制升降位置;采用高精度直线导轨及整体内箱体的方式,提升系统的稳定性及精度。
本实用新型采用如下技术方案:
一种压力定位的升降机构,所述升降机构包括外侧板、滑块、直线导轨、内箱体、底板、工作台、压力传感器、电动推杆,所述底板上固定设置有两对称设置的外侧板,所述外侧板的相对两侧分别设有滑块,所述两外侧板之间设有内箱体,所述内箱体两侧设有直线导轨,所述直线导轨与滑块相匹配,二者相互配合滑动连接,所述底板上于内箱体内设有电动推杆,所述电动推杆上方设有压力传感器,所述电动推杆经压力传感器与内箱体相连,所述内箱体的上方与工作台固定相连。
进一步地,所述外侧板为L型,经螺钉与底板固定相连。
进一步地,所述滑块分布于每侧外侧板的两侧,对称设置,所述滑块经螺钉与外侧板固定相连。
进一步地,所述直线导轨经螺钉与内箱体固定相连。
进一步地,所述电动推杆设有驱动电机。
进一步地,所述电动推杆经螺钉与底板固定相连。
进一步地,所述内箱体的上方与工作台经螺钉固定相连。
本实用新型的优点与效果为:
本实用新型通过电动推杆推动内箱体和工作台,实现升降的功能,当工作台触碰到被粘晶体并达到预设状态时,压力传感器将压力信号传给伺服电机,从而控制升降平台的工作位置高度;通过压力控制升降位移,解决了由晶体外形误差所带来的精度问题;升降内、外箱体通过直线导轨连接,直线导轨平行布置,极大的提高了工作台面升降的平行度;采用整体内箱体,极大的提高了系统的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型压力定位的升降机构的主视图;
图2为本实用新型压力定位的升降机构的侧视图;
图3为图1的A-A剖视图;
图4为本实用新型压力定位的升降机构的俯视图。
图中部件:1为外侧板、2为滑块、3为直线导轨、4为内箱体、5为底板、6为工作台、7为压力传感器、8为电动推杆。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型做进一步解释。
实施例1
如图1-4所述,本实用新型为一种压力定位的升降机构,应用于蓝宝石、碳化硅的定向粘接仪器。所述底板上方设有两个外侧板,对称相对放置,外侧板通过螺钉固定在底板上,外侧板侧面设有滑块,滑块通过螺钉固定在外侧板上,内箱体置于两外侧板中间,内箱体外侧设有多条直线导轨,对称布置,导轨通过螺钉固定在内箱体上,导轨与滑块相互配合连接,底板上方设有电动推杆,电动推杆自带驱动电机,电动推杆通过螺钉固定在底板上,电动推杆通过压力传感器与内箱体连接,压力传感器设于电动推杆上方,内箱体内部,工作台置与内箱体上方,通过螺钉固定在内箱体上。
本实用新型的工作过程为:
电动推杆自带电机,当收到升降指令后,电机驱动电动推杆,经过压力传感器推动内箱体运动,内箱体的运动轨迹完全受直线导轨约束,当直线导轨安装准确牢固时,升降平稳,平面度好;外侧板与滑块均固定在底板上,相对不动,内箱体和导轨在电动推杆的作用下相对运动,升降的高度由压力传感器和电机共同控制,当达到指定位置或者达到预设压力时,升降机构可以停止或者改变运动状态。
Claims (7)
1.一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述升降机构包括外侧板(1)、滑块(2)、直线导轨(3)、内箱体(4)、底板(5)、工作台(6)、压力传感器(7)、电动推杆(8),所述底板(5)上固定设置有两对称设置的外侧板(1),所述外侧板(1)的相对两侧分别设有滑块(2),所述两外侧板(1)之间设有内箱体(4),所述内箱体(4)两侧设有直线导轨(3),所述直线导轨(3)与滑块(2)相匹配,二者相互配合滑动连接,所述底板(5)上于内箱体(4)内设有电动推杆(8),所述电动推杆(8)上方设有压力传感器(7),所述电动推杆(8)顶部经压力传感器(7)与内箱体(4)相连,所述内箱体(4)的上方与工作台(6)固定相连。
2.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述外侧板(1)为L型,经螺钉与底板(5)固定相连。
3.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述滑块(2)分布于每侧外侧板(1)的两侧,对称设置,所述滑块(2)经螺钉与外侧板(1)固定相连。
4.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述直线导轨(3)经螺钉与内箱体(4)固定相连。
5.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述电动推杆(8)设有驱动电机。
6.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述电动推杆(8)经螺钉与底板固定相连。
7.根据权利要求1所述的一种压力定位的升降机构,其特征在于:所述内箱体(4)的上方与工作台(6)经螺钉固定相连。
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