CN211753227U - 一种pecvd尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置。该PECVD尾气处理装置，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。

Description

一种PECVD尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及PECVD尾气处理技术领域，具体为一种PECVD尾气处理装置。

背景技术

PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，现有的PECVD尾气处理装置在使用时虽然做到了对灰尘进行过滤工作，但是不方便对灰尘进行收集处理工作，同时无法对有害气体中的有害物质进行有效处理净化工作，无法对过滤构件和净化构件进行更换工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PECVD尾气处理装置，以解决上述背景技术中提出现有的PECVD尾气处理装置在使用时虽然做到了对灰尘进行过滤工作，但是不方便对灰尘进行收集处理工作，同时无法对有害气体中的有害物质进行有效处理净化工作，无法对过滤构件和净化构件进行更换工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置，所述过滤装置的内部左侧安装有第二螺纹管，所述第二螺纹管的内部插接有排气管；

优选的，所述除尘构件包括支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架，所述支板之间固接有插管，所述插管的外壁右侧螺纹连接有第一螺纹管，所述第一螺纹管的右侧固接有过滤袋，第一螺纹管的内壁固接有支块，所述支块的右侧固接有横杆，所述横杆的外壁固接有多个支架。

优选的，所述过滤袋的材质为尼龙布制成。

优选的，所述支架为多个等距设置。

优选的，所述收集构件包括箱体、竖管和收集箱，所述箱体的底端插接有竖管，所述竖管的底端插接有收集箱。

优选的，所述过滤装置包括外壳、盒体、环板、过滤棉、活性炭，所述外壳的内部设有两个盒体，所述盒体的内部分别放置有过滤棉和活性炭，所述外壳的内壁右侧固接有环板，所述外壳与插管固定相连。

优选的，所述盒体与外壳为间隙配合。

优选的，所述过滤棉的材质为聚酯纤维。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该PECVD尾气处理装置，通过箱体、竖管和收集管的配合，达到了可以对过滤下来的灰尘进行收集和处理工作，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中第一螺纹管和过滤袋位置放大的连接结构示意图；

图3为图1中盒体、过滤棉和活性炭的连接结构示意图。

图中：1、收集构件，101、箱体，102、竖管，103、收集箱，2、进气管， 3、除尘构件，301、支板，302、插管，303、第一螺纹管，304、过滤袋，305、支块，306、横杆，307、支架，4、撑杆，5、插管，6、过滤装置，601、外壳， 602、盒体，603、环板，604、过滤棉，605、活性炭，7、第二螺纹管，8、排气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件1，收集构件1可以对过滤下来的灰尘进行收集工作，收集构件1 的右侧安装有进气管2，进入管2与燃烧桶相连接，燃烧桶燃烧产生的灰尘和有害气体进入到收集构件1的内部，收集构件1的内部安装有除尘构件3，除尘构件3可以将燃烧产生的灰尘进行过滤工作，除尘构件3的左侧上下两端均安装有撑杆4，撑杆4和插杆5可以对过滤装置6进行支撑安装工作，撑杆4的外壁套接有插管5，撑杆4的外壁左侧通过螺母将插管5固定在撑杆4的外壁，插管 5之间安装有过滤装置6，过滤装置6可以对有害气体进行快速过滤工作，过滤装置6的内部左侧安装有第二螺纹管7，第二螺纹管7的内部插接有排气管8，过滤后的气体通过排气管8排出；

除尘构件3包括支板301、插管302、第一螺纹管303、过滤袋304、支块 305、横杆306和支架307，支板301之间固接有插管302，支板301通过螺栓与箱体101进行螺纹安装工作，同时可以从箱体101上拆卸，插管302的外壁右侧螺纹连接有第一螺纹管303，第一螺纹管303转动可以从插管302的外壁安装拆卸，第一螺纹管303的右侧固接有过滤袋304，过滤袋304可以对有害气体中的灰尘进行过滤工作，第一螺纹管303的内壁固接有支块305，支块305的右侧固接有横杆306，支块305可以将横杆306进行固定支撑工作，横杆306的外壁固接有多个支架307，支架307可以对过滤袋304进行支撑工作，过滤袋304 的材质为尼龙布制成，支架307为多个等距设置。

收集构件1包括箱体101、竖管102和收集箱103，箱体101的底端插接有竖管102，过滤下来的灰尘通过竖管102进入到收集箱103的内部，竖管102的底端插接有收集箱103，灰尘进入到收集箱103的内部后进行处理工作。

过滤装置6包括外壳601、盒体602、环板603、过滤棉604、活性炭605，外壳601的内部设有两个盒体602，盒体602可以从外壳601的内部插入拔出，盒体602的内部分别放置有过滤棉604和活性炭605，过滤棉604可以对有害气体中的有害物质进行过滤工作，活性炭605可以对过滤后的气体进行净化工作，外壳601的内壁右侧固接有环板603，环板603可以进行限位工作，外壳601与插管5固定相连，盒体602与第二螺纹管7螺纹相连，第二螺纹管7可以对盒体602进行挤压工作，盒体602与外壳601为间隙配合，过滤棉604的材质为聚酯纤维。

当PECVD尾气处理装置开始工作时，燃烧桶燃烧后产生的带有灰尘的有害气体通过进气管2进入到箱体101的内部没进入后通过过滤袋304可以将有害气体中的灰尘过滤下来，过滤下来的灰尘掉落到竖管102的内部，通过竖管102 进入到收集箱103的内部进行处理工作，过滤灰尘后的气体通过插管302进入到外壳601的内部，进入后通过过滤棉604将有害气体中的有害物质过滤下来，过滤后的气体通过活性炭进行净化工作，净化后的空气通过第二螺纹管7和排气管8排出，从而完成处理工作，当需要对过滤棉604和活性炭605进行更换时，使用者转动第二螺栓管7，使第二螺纹管7从外壳601的左侧拆卸，拆卸后使用者将盒体602从外壳601的内部取出，取出后可以对过滤棉和活性炭605 进行更换工作，当需要对过滤袋304进行更换时，使用者将撑杆4外壁左侧的螺母拆卸下来，拆卸后使用者将插管5从撑杆4的外壁拔出，可以将外壳601 进行拆卸工作，拆卸后使用者转动支板301上的螺栓拆卸下来，可以将支板301 从箱体101上拆卸下来，拆卸下来后将插管302从箱体101的内部拔出，可以将过滤袋304从箱体101的内部拔出，拔出后使用者转动第一螺纹管303从插管302拆卸下来，拆卸后可以对过滤袋进行更换工作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件(1)，其特征在于：所述收集构件(1)的右侧安装有进气管(2)，所述收集构件(1)的内部安装有除尘构件(3)，所述除尘构件(3)的左侧上下两端均安装有撑杆(4)，所述撑杆(4)的外壁套接有插管(5)，所述插管(5)之间安装有过滤装置(6)，所述过滤装置(6)的内部左侧安装有第二螺纹管(7)，所述第二螺纹管(7)的内部插接有排气管(8)；

所述除尘构件(3)包括支板(301)、插管(302)、第一螺纹管(303)、过滤袋(304)、支块(305)、横杆(306)和支架(307)，所述支板(301)之间固接有插管(302)，所述插管(302)的外壁右侧螺纹连接有第一螺纹管(303)，所述第一螺纹管(303)的右侧固接有过滤袋(304)，第一螺纹管(303)的内壁固接有支块(305)，所述支块(305)的右侧固接有横杆(306)，所述横杆(306)的外壁固接有多个支架(307)。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤袋(304)的材质为尼龙布制成。

3.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述支架(307)为多个等距设置。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述收集构件(1)包括箱体(101)、竖管(102)和收集箱(103)，所述箱体(101)的底端插接有竖管(102)，所述竖管(102)的底端插接有收集箱(103)。

5.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤装置(6)包括外壳(601)、盒体(602)、环板(603)、过滤棉(604)、活性炭(605)，所述外壳(601)的内部设有两个盒体(602)，所述盒体(602)的内部分别放置有过滤棉(604)和活性炭(605)，所述外壳(601)的内壁右侧固接有环板(603)，所述外壳(601)与插管(5)固定相连。

6.根据权利要求5所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述盒体(602)与外壳(601)为间隙配合。

7.根据权利要求5所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤棉(604)的材质为聚酯纤维。

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