CN211713257U - 一种晶种安装装置 - Google Patents

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王立刚
张强
贾海洋
王淼
王连文
朱玉
李仕权
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Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co.,Ltd.
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Abstract

本实用新型公开了一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤的底端中部开设有凹槽,一籽晶上端伸入凹槽内,所述凹槽的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块,所述套接块的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口,所述凹口的内部等间距设有四个与其平行的限位杆,且每个限位杆均通过连接块连接有石墨挤压块,所述凹口的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆,且固定杆的底端垂直连接有安装板,所述凹口、四个石墨挤压块与安装板的圆心均位于凹槽的圆心上。如此设置,不仅实现了对圆柱籽晶插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶圆心与凹槽圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶摆放位置不正,对其上晶体生长的质量造成影响的问题。

Description

一种晶种安装装置
技术领域
本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体的涉及一种晶种安装装置。
背景技术
籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种;拉单晶时,都需要用到晶种。
在授权公开号为CN 208379047U专利中,通过石墨套的设置,对籽晶与钼制夹头之间进行分隔,以此降低籽晶接头端与夹头之间产生粘黏,而对籽晶内部结构造成的影响,但是由于其在对籽晶连接端进行固定的同时,不能对籽晶的中心位置与夹持结构的中心位置之间进行对齐的调节,从而导致籽晶位置摆放不正,对其上晶体生长的质量造成影响,故而,迫切的需要研制一种晶种安装装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶种安装装置,以解决上述背景技术中提出的现有的夹持结构在对籽晶连接端进行固定的同时,不能对籽晶的中心位置与夹持结构的中心位置之间进行对齐的调节,从而导致籽晶位置摆放不正,对其上晶体生长的质量造成影响问题。
为解决上述问题,本实用新型采取如下技术方案:
一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤的底端中部开设有凹槽,一籽晶的上端伸入所述凹槽内,所述凹槽的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块,所述套接块的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口,所述凹口的内部等间距设有四个与其平行的限位杆,且每个限位杆均通过连接块连接有石墨挤压块,每个所述连接块上均开设有供相应侧限位杆穿过的通孔,所述凹口的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆,且固定杆的底端垂直连接有安装板,所述凹口、四个石墨挤压块与安装板的圆心均位于凹槽的圆心上。
所述安装板的底端表面设有四个水平设置的伸缩结构,所述安装板的四周分别通过相应侧的伸缩结构与相应的石墨挤压块连接,所述钼重锤的圆心处设有与凹槽连通且用于盛放固定杆延伸端的盲孔,且钼重锤上设有垂直贯穿其两侧壁的固定销,所述固定杆上设有供固定销垂直穿过的通孔。
所述伸缩结构包括水平固定设于安装板底端面的套筒、水平固定于套筒内部的弹簧以及固定于弹簧另一端且与套筒滑动连接的滑杆,每个所述滑杆的自由端均与相应侧石墨挤压块的顶端内侧壁固定连接,四个所述套筒的底端共同连接有与安装板平行的石墨板,每个所述伸缩结构与相应侧石墨挤压块一一对应且对齐。
所述固定销的两端螺纹连接有与钼重锤外侧壁紧密贴合的螺母,所述通孔至少设置有两个。
所述套接块顶端的敞口直径小于其底端的敞口直径,所述套接块的底端设有直径大于凹槽直径的环形托台,且环形托台的顶端表面与钼重锤的底端表面接触。
每个所述石墨挤压块包括一体成型的上连块和下连块,所述上连块的内端面与固定杆平行,所述下连块的内端面与凹口倾斜面平行。
本实用新型的有益效果为:
1.本实用新型通过每个石墨挤压块与安装板同圆心的设置,使上下升降的安装板实现对四个石墨挤压块的同步控制,从而使石墨挤压块在相互靠拢时,不仅实现了对圆柱籽晶插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶圆心与凹槽圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶摆放位置不正,对其上晶体生长的质量造成影响的问题;
2.本实用新型通过圆柱籽晶顶端对石墨板的挤压使安装板在套筒与滑杆滑动的配合下进行向上移动,从而带动与滑杆自由端固定连接的石墨挤压块进行向上的移动,且通过倾斜设置的凹口与限位杆的设置,使石墨挤压块进行向上移动的同时,实现四个石墨挤压块的聚拢工作,从而通过石墨挤压块与圆柱籽晶之间紧密的接触,实现对圆柱籽晶插接端的固定,且通过固定销对固定杆的固定,实现对圆柱籽晶固定的同时,通过套接块与钼重锤之间的螺纹连接,也实现了对套接块与钼重锤之间锁定工作,从而避免了该夹持装置在旋转时,对套接块与钼重锤之间稳定性能的影响;
3.本实用新型通过石墨挤压块内侧壁上与凹口平行斜面的设置,方便了圆柱籽晶与凹槽之间的插入工作,且通过石墨挤压块内侧壁上与固定杆平行竖直面的设置,增大了聚拢时每个石墨挤压块与圆柱籽晶侧壁之间的接触面积,以此对圆柱籽晶的承重能力进行保证;
4.本实用新型通过固定销与不同位置通孔的连接,实现该夹持装置对不同直径大小圆柱籽晶插接端的固定,以此提高了该夹持装置使用的灵活性能;
5.本实用新型通过石墨挤压块与石墨板对圆柱籽晶与钼重锤之间进行分隔,以此避免圆柱籽晶与钼重锤直接接触导致圆柱籽晶受损,而对圆柱籽晶内部结构的完整性造成的影响。
附图说明
图1为本实用新型的正视内部结构示意图;
图2为石墨挤压块与安装板之间连接结构示意图;
图3为图1中A处放大结构示意图。
附图标记:1-钼重锤,2-凹槽,3-圆柱籽晶,4-套接块,5-凹口,6-限位杆,7-石墨挤压块,8-固定杆,9-安装板,10-套筒,11-弹簧,12-滑杆,13-石墨板,14-盲孔,15-固定销,16-通孔,17-螺母,18-连接块,19-托台。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1-3所示的一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤1的底端中部开设有呈圆形结构的凹槽2,一籽晶3的上端伸入所述凹槽2内,所述凹槽2的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块4,所述套接块4的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口5,所述凹口5的内部等间距设有四个与其平行的限位杆6,且每个限位杆6均通过连接块18连接有石墨挤压块7,每个所述连接块18上均开设有供相应侧限位杆6穿过的通孔16,所述凹口5的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆8,且固定杆8的底端垂直连接有安装板9,所述凹口5、四个石墨挤压块7与安装板9的圆心均位于凹槽2的圆心上。
如此设置,使上下升降的安装板9实现对四个石墨挤压块7的同步控制,从而使石墨挤压块7在相互靠拢时,不仅实现了对圆柱籽晶3插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶3圆心与凹槽2圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶3摆放位置不正,对其上半导体硅材料结成质量造成影响的问题。
所述安装板9的底端表面设有四个水平设置的伸缩结构,所述安装板9的四周分别通过相应侧的伸缩结构与相应的石墨挤压块7连接,所述钼重锤1的圆心处设有与凹槽2连通且用于盛放固定杆8延伸端的盲孔14,且钼重锤1上设有垂直贯穿其两侧壁的固定销15,所述固定杆8上设有供固定销15垂直穿过的通孔16。
所述伸缩结构包括水平固定设于安装板9底端面的套筒10、水平固定于套筒10内部的弹簧11以及固定于弹簧11另一端且与套筒10滑动连接的滑杆12,每个所述滑杆12的自由端均与相应侧石墨挤压块7的顶端内侧壁固定连接,四个所述套筒10的底端共同连接有与安装板9平行的石墨板13,每个所述伸缩结构与相应侧石墨挤压块7一一对应且对齐。通过套筒10与滑杆12之间的滑动,对安装板9的上下移动进行配合,从而使石墨挤压块7在滑杆12的伸缩下实现向上、向下的移动,以此实现四个石墨挤压块7的聚拢和展开,从而完成对圆柱籽晶3插接端的固定与释放。
所述固定销15的两端螺纹连接有与钼重锤1外侧壁紧密贴合的螺母17,所述通孔16至少设置有两个。通过固定销15与不同位置通孔16的连接,实现该夹持装置对不同直径大小圆柱籽晶3插接端的固定,以此提高了该夹持装置使用的灵活性能,且通过螺母17将固定销15的两端固定在钼重锤1的两侧壁上,以此避免固定销15错位对圆柱籽晶3稳定性能的影响。
所述套接块4顶端的敞口直径小于其底端的敞口直径,所述套接块4的底端设有直径大于凹槽2直径的环形托台19,且环形托台19的顶端表面与钼重锤1的底端表面接触。通过环形托台19方便了套接块4与凹槽2之间的连接,且通过环形托台19与钼重锤1底端表面的接触,对套接块4的底端进行限位,从而方便了安装者对套接块4安装进程的了解。
每个所述石墨挤压块7包括一体成型的上连块和下连块,所述上连块的内端面与固定杆8平行,所述下连块的内端面与凹口5倾斜面平行。如此设置,方便了圆柱籽晶3与凹槽2之间的插入工作,且通过石墨挤压块7内侧壁上与固定杆8平行竖直面的设置,增大了聚拢时每个石墨挤压块7与圆柱籽晶3侧壁之间的接触面积,以此对圆柱籽晶3的承重能力进行保证。
上述晶种安装装置的具体应用过程为:使用时首先将圆柱籽晶3放置在凹槽2的内部,其次圆柱籽晶3顶端对石墨板13的挤压使安装板9在套筒10与滑杆12滑动的配合下进行向上移动,从而带动与滑杆12自由端固定连接的石墨挤压块7进行向上的移动,且通过倾斜设置的凹口5与限位杆6的设置,使石墨挤压块7进行向上移动的同时,实现四个石墨挤压块7的聚拢工作,从而通过石墨挤压块7与圆柱籽晶3之间紧密的接触,实现对圆柱籽晶3插接端的固定,其次通过固定销15穿过固定杆8上的通孔16以及螺母17对固定销15两端的螺纹固定,实现对圆柱籽晶3的固定,且通过套接块4与钼重锤1之间的螺纹连接,使固定杆8在被固定的同时也实现了对套接块4与钼重锤1之间锁定工作,从而避免了该夹持装置在旋转时,对套接块4与钼重锤1之间稳定性能的影响;
晶体生长时,通过石墨挤压块7与石墨板对圆柱籽晶3与钼重锤1之间进行分隔,避免圆柱籽晶3与钼重锤1直接接触导致圆柱籽晶3受损,而对圆柱籽晶3内部结构的完整性造成的影响;
当该夹持装置对不同直径大小圆柱籽晶3的固定时,通过固定销15与不同位置通孔16的连接,实现该夹持装置对不同直径大小圆柱籽晶3插接端的固定,以此提高了该夹持装置使用的灵活性能,这样便完成了该晶种安装装置使用过程。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本实用新型,而并非用作为对本实用新型的限定,只要在本实用新型的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求范围内。

Claims (6)

1.一种晶种安装装置,包括钼重锤(1),所述钼重锤(1)的底端中部开设有凹槽(2),一籽晶(3)的上端伸入所述凹槽(2)内,其特征在于,所述凹槽(2)的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块(4),所述套接块(4)的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口(5),所述凹口(5)的内部等间距设有四个与其平行的限位杆(6),且每个限位杆(6)均通过连接块(18)连接有石墨挤压块(7),每个所述连接块(18)上均开设有供相应侧限位杆(6)穿过的通孔(16),所述凹口(5)的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆(8),且固定杆(8)的底端垂直连接有安装板(9),所述凹口(5)、四个石墨挤压块(7)与安装板(9)的圆心均位于凹槽(2)的圆心上。
2.根据权利要求1所述的一种晶种安装装置,其特征在于,所述安装板(9)的底端表面设有四个水平设置的伸缩结构,所述安装板(9)的四周分别通过相应侧的伸缩结构与相应的石墨挤压块(7)连接,所述钼重锤(1)的圆心处设有与凹槽(2)连通且用于盛放固定杆(8)延伸端的盲孔(14),且钼重锤(1)上设有垂直贯穿其两侧壁的固定销(15),所述固定杆(8)上设有供固定销(15)垂直穿过的通孔(16)。
3.根据权利要求2所述的一种晶种安装装置,其特征在于,所述伸缩结构包括水平固定设于安装板(9)底端面的套筒(10)、水平固定于套筒(10)内部的弹簧(11)以及固定于弹簧(11)另一端且与套筒(10)滑动连接的滑杆(12),每个所述滑杆(12)的自由端均与相应侧石墨挤压块(7)的顶端内侧壁固定连接,四个所述套筒(10)的底端共同连接有与安装板(9)平行的石墨板(13),每个所述伸缩结构与相应侧石墨挤压块(7)一一对应且对齐。
4.根据权利要求3所述的一种晶种安装装置,其特征在于,所述固定销(15)的两端螺纹连接有与钼重锤(1)外侧壁紧密贴合的螺母(17),所述通孔(16)至少设置有两个。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种晶种安装装置,其特征在于,所述套接块(4)顶端的敞口直径小于其底端的敞口直径,所述套接块(4)的底端设有直径大于凹槽(2)直径的环形托台(19),且环形托台(19)的顶端表面与钼重锤(1)的底端表面接触。
6.根据权利要求5所述的一种晶种安装装置,其特征在于,每个所述石墨挤压块(7)包括一体成型的上连块和下连块,所述上连块的内端面与固定杆(8)平行,所述下连块的内端面与凹口(5)倾斜面平行。
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