CN115537910B - 一种单晶炉用重锤结构 - Google Patents

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CN115537910B CN202211188803.5A CN202211188803A CN115537910B CN 115537910 B CN115537910 B CN 115537910B CN 202211188803 A CN202211188803 A CN 202211188803A CN 115537910 B CN115537910 B CN 115537910B
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    • C30B29/06Silicon

Abstract

本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,上连接件采用不锈钢材质制成,下连接件采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件与钼材质的下连接件采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件易于车削。

Description

一种单晶炉用重锤结构
技术领域
本发明涉及重锤技术领域,具体地说,涉及一种单晶炉用重锤结构。
背景技术
单晶炉用重锤用于直拉单晶硅生产作业中,具体的作为直拉单晶硅籽晶安装装置。目前现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成。但是受限于钼材质的物理特性,导致钼材质的重锤结构一方面价格昂贵,这样在受损后,整体更换的情况下,成本过高;另一方面切削加工困难。
发明内容
为达到上述目的,本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。
优选的,所述上连接件采用310S不锈钢材质制成。
优选的,所述上连接件上一体成型有上螺纹连接部,所述下连接件上设有与所述螺纹连接部螺接的上安装螺孔。
优选的,所述下连接件上一体成型有用于与石墨夹头连接的下螺纹连接部。
优选的,所述上连接件的长度大于所述下连接件的长度。
优选的,还包括:
侧卡爪单元,两个所述侧卡爪单元对向式安装于所述上连接件侧端;
限位卡槽,所述限位卡槽周向开设于所述下连接件上,所述侧卡爪单元卡设于所述限位卡槽上。
优选的,所述侧卡爪单元包括:
安装座,所述安装座固定安装于所述上连接件侧端;
中心安装口,所述中心安装口开设于所述安装座远离上连接件端;
转动槽,两个所述转动槽对向式开设于所述中心安装口内壁上;
限位卡爪,所述限位卡爪呈U型设置,所述限位卡爪顶端安装有伸入所述转动槽内的转动耳部,所述限位卡爪底端内凹式一体成型有用于卡设于限位卡槽内的限位卡部;
锁紧单元,所述锁紧单元安装于所述安装座内,所述锁紧单元用于对伸入所述转动槽内的转动耳部进行锁紧;
手动油压驱动单元,两个所述手动油压驱动单元对向式安装于所述安装座侧端,所述手动油压驱动单元与所述锁紧单元连接。
优选的,所述锁紧单元包括:
油压室,多个所述油压室以所述转动槽为中心周向设于所述安装座内;
油压块,所述油压块滑动连接于所述油压室内;
止动块,所述转动槽内壁预留有用于放置所述止动块的止动槽;
顶杆,所述顶杆一端伸入所述油压室内,并与所述油压块连接,所述顶杆另一端伸入所述止动槽内,并与所述止动块连接;
连接弹簧,所述连接弹簧位于所述油压室内,并连接于所述油压块和油压室内壁之间;
后进油通道,所述后进油通道位于所述安装座内,并连接于所述手动油压驱动单元和油压室之间。
优选的,所述手动油压驱动单元包括:
手转动座,所述手转动座转动安装于所述安装座侧端;
环形储油槽,所述环形储油槽开设于所述手转动座靠近安装座端,所述后进油通道连通于所述环形储油槽内;
储油室,所述储油室设于所述手转动座内;
U型重块,所述U型重块滑动安装于所述储油室内;
复位弹簧,所述复位弹簧位于所述储油室内,所述复位弹簧连接于所述储油室内壁和U型重块之间;
前进油通道,两个所述前进油通道呈对称式设于所述手转动座内,所述前进油通道连通于所述环形储油槽和储油室之间,所述U型重块避开所述前进油通道设置。
优选的,所述手动油压驱动单元还包括:
转动室,所述转动室设于所述手转动座内;
限位转盘,所述限位转盘位于所述转动室内;
固定转柱,所述固定转柱一端与所述安装座连接,所述固定转柱另一端伸入所述转动室内,并与所述限位转盘连接;
热膨胀限位环,所述热膨胀限位环位于所述转动室内,所述转动室内壁上开设有便于所述热膨胀限位环安装于的环形卡槽,所述热膨胀限位环内环端周向安装有限位卡齿,所述限位转盘上周向安装有适配所述限位卡齿的弹性斜块;
导热条,所述导热条植入所述手转动座内,所述导热条伸入所述转动室内,并与所述热膨胀限位环连接。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明外形图;
图3为本发明中限位卡爪与安装座连接示意图;
图4为本发明中限位卡爪外形图;
图5为本发明中锁紧单元和手动油压驱动单元结构示意图;
图6为本发明中储油室内结构示意图。
图中:1.重锤本体;11.上连接件;12.下连接件;13.上螺纹连接部;14.上安装螺孔;15.下螺纹连接部;16.侧卡爪单元;17.限位卡槽;18.石墨夹头;21.安装座;22.中心安装口;23.转动槽;24.限位卡爪;25.转动耳部;26.限位卡部;31.油压室;32.油压块;33.止动块;34.顶杆;35.连接弹簧;36.后进油通道;37.导热条;41.手转动座;42.环形储油槽;43.储油室;44.U型重块;45.复位弹簧;46.前进油通道;47.转动室;48.限位转盘;49.固定转柱;40.热膨胀限位环。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例
下面将结合附图对本发明做进一步描述。
如图1至图6所示,本实施例提供的一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体1,所述重锤本体1包括螺接的上连接件11和下连接件12,所述上连接件11采用不锈钢材质制成,所述下连接件12采用钼材质制成。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体1包括螺接的上连接件11和下连接件12,上连接件11采用不锈钢材质制成,下连接件12采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件11与钼材质的下连接件12采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件11易于车削。
在一个实施例中,所述上连接件11采用310S不锈钢材质制成。
上述技术方案的工作原理为:
上连接件11采用310S不锈钢材质制成,相较于钼材质,具有良好耐高温的属性下,易于车削。
在一个实施例中,所述上连接件11上一体成型有上螺纹连接部13,所述下连接件12上设有与所述螺纹连接部13螺接的上安装螺孔14。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
上连接件11和下连接件12之间通过上螺纹连接部13和上安装螺孔14实现螺接,从而使上连接件11和下连接件12之间配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换。
在一个实施例中,所述下连接件12上一体成型有用于与石墨夹头18连接的下螺纹连接部15。
上述技术方案的工作原理为:
下螺纹连接部15的设置,用于石墨夹头18和重锤结构的可拆卸连接,从而便于石墨夹头结构及籽晶结构的更换。
在一个实施例中,所述上连接件11的长度大于所述下连接件12的长度。
在一个实施例中,还包括:
侧卡爪单元16,两个所述侧卡爪单元16对向式安装于所述上连接件11侧端;
限位卡槽17,所述限位卡槽17周向开设于所述下连接件12上,所述侧卡爪单元16卡设于所述限位卡槽17上。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
当下连接件12通过上安装螺孔14和上螺纹连接部13的配合螺接于上连接件11上时,将对向位于上连接件11侧端的两个侧卡爪单元16向下翻转,从而卡设于周向开设于所述下连接件12上的限位卡槽17内,以进一步实现了上连接件11和下连接件12之间的固定连接,从而在上连接件11和下连接件12因材质不同出现受热形变差异时,提高了上连接件11和下连接件12之间连接的稳固性。
在一个实施例中,所述侧卡爪单元16包括:
安装座21,所述安装座21固定安装于所述上连接件11侧端;
中心安装口22,所述中心安装口22开设于所述安装座21远离上连接件11端;
转动槽23,两个所述转动槽23对向式开设于所述中心安装口22内壁上;
限位卡爪24,所述限位卡爪24呈U型设置,所述限位卡爪24顶端安装有伸入所述转动槽23内的转动耳部25,所述限位卡爪24底端内凹式一体成型有用于卡设于限位卡槽17内的限位卡部26;
锁紧单元,所述锁紧单元安装于所述安装座21内,所述锁紧单元用于对伸入所述转动槽23内的转动耳部25进行锁紧;
手动油压驱动单元,两个所述手动油压驱动单元对向式安装于所述安装座21侧端,所述手动油压驱动单元与所述锁紧单元连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
当下连接件12通过上安装螺孔14和上螺纹连接部13的配合螺接于上连接件11上时,手动将限位卡爪24向下翻转,位于限位卡爪24顶端的转动耳部25在转动槽23内转动,同步地,位于限位卡爪24底端的限位卡部26卡设于限位卡槽17内,此时,手动顺时针转动手动油压驱动单元,手动油压驱动单元油压以驱动锁紧单元工作,锁紧单元完成对转动槽23内转动耳部25的锁紧固定,从而防止限位卡爪24反向向上翻转。
在一个实施例中,所述锁紧单元包括:
油压室31,多个所述油压室31以所述转动槽23为中心周向设于所述安装座21内;
油压块32,所述油压块32滑动连接于所述油压室31内;
止动块33,所述转动槽23内壁预留有用于放置所述止动块33的止动槽;
顶杆34,所述顶杆34一端伸入所述油压室31内,并与所述油压块32连接,所述顶杆34另一端伸入所述止动槽内,并与所述止动块33连接;
连接弹簧35,所述连接弹簧35位于所述油压室31内,并连接于所述油压块32和油压室31内壁之间;
后进油通道36,所述后进油通道36位于所述安装座21内,并连接于所述手动油压驱动单元和油压室31之间。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
手动顺时针转动手动油压驱动单元,液压油自后进油通道36压入油压室31内,液压油在油压室31内带动油压块32向连接弹簧35拉伸方向运动,从而带动与油压块32连接的顶杆34、与顶杆34连接的止动块33在止动槽内伸出,以完成对转动耳部25的夹持,进而完成转动耳部25在转动槽23内的固定。
在一个实施例中,所述手动油压驱动单元包括:
手转动座41,所述手转动座41转动安装于所述安装座21侧端;
环形储油槽42,所述环形储油槽42开设于所述手转动座41靠近安装座21端,所述后进油通道36连通于所述环形储油槽42内;
储油室43,所述储油室43设于所述手转动座41内;
U型重块44,所述U型重块44滑动安装于所述储油室43内;
复位弹簧45,所述复位弹簧45位于所述储油室43内,所述复位弹簧45连接于所述储油室43内壁和U型重块44之间;
前进油通道46,两个所述前进油通道46呈对称式设于所述手转动座41内,所述前进油通道46连通于所述环形储油槽42和储油室43之间,所述U型重块44避开所述前进油通道46设置。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
手动顺时针转动手转动座41,从而带动位于手转动座41内的储油室43由水平状态变成左高右低状态,位于储油室43内的U型重块44受重力作用向右滑动,从而将储油室43内的液压油自前进油通道46压入环形储油槽42内,并自后进油通道36压入油压室31内,从而实现了止动块33对转动耳部25的夹持,且手动顺时针转动手转动座41的角度越大,位于储油室43内的U型重块44受重力作用向右滑动距离越大,从而使止动块33对转动耳部25的夹持力度越大,当需要解除限位卡爪24对限位卡槽17的限位时,手动逆时针转动手转动座41,从而使处于左高右低状态的储油室43向趋于水平状态过渡,此时在复位弹簧45回位作用下,U型重块44在储油室43内向复位弹簧45收缩方向运动,油压室31内液压油自后进油通道36、环形储油槽42、前进油通道46回位到储油室43内,液压油在油压室31内解除对油压块32的作用力,在连接弹簧35回位作用下,油压块32通过顶杆34带动止动块33回位到止动槽内,制动块33解除对转动耳部25的夹持,此时手动向上翻转限位卡爪24,使限位卡部26脱离限位卡槽17即可。
在一个实施例中,所述手动油压驱动单元还包括:
转动室47,所述转动室47设于所述手转动座41内;
限位转盘48,所述限位转盘48位于所述转动室47内;
固定转柱49,所述固定转柱49一端与所述安装座21连接,所述固定转柱49另一端伸入所述转动室47内,并与所述限位转盘48连接;
热膨胀限位环40,所述热膨胀限位环40位于所述转动室47内,所述转动室47内壁上开设有便于所述热膨胀限位环40安装于的环形卡槽,所述热膨胀限位环40内环端周向安装有限位卡齿,所述限位转盘48上周向安装有适配所述限位卡齿的弹性斜块;
导热条37,所述导热条37植入所述手转动座41内,所述导热条37伸入所述转动室47内,并与所述热膨胀限位环40连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
手动转动手转动座41,从而使手转动座41在固定转柱49上转动,从而使与固定转柱49连接的限位转盘48在位于手转动座41内的转动室47内转动,限位转盘48上周向安装的弹性斜块与热膨胀限位环40内环端周向安装的限位卡齿配合下,实现了手转动座41等角度转动,且每转动一下后(每转动一下的刻度可以为5°),通过弹性斜块和限位卡齿的配合,实现了手转动座41的固定,当手动顺时针转动手转动座41时,手转动座41内的储油室43由水平状态变成左高右低状态,此时止动块33在止动槽内伸出,以完成对转动耳部25的夹持,进而完成转动耳部25在转动槽23内的固定,且随着单晶炉内拉晶工作时,炉内的高温自导热条37传导到热膨胀限位环40上,热膨胀限位环40受热膨胀后,热膨胀限位环40内径变大,安装于热膨胀限位环40内环端的限位卡齿解除对弹性斜块的限位,此时由于U型重块44在储油室43内位于储油室43内右半部分,从而使储油室43的右半部分重力大于储油室43的左半部分,这样造成手转动座41的右半部分重力大于手转动座41的左半部分重力,进而使手转动座41继续向右翻转做顺时针转动,进而在高温环境下,止动块33对转动耳部25的夹持力度变大,以进一步稳固限位卡爪24对限位卡槽17的限位。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (5)

1.一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体(1),其特征在于,所述重锤本体(1)包括螺接的上连接件(11)和下连接件(12),所述上连接件(11)采用不锈钢材质制成,所述下连接件(12)采用钼材质制成;
还包括:
侧卡爪单元(16),两个所述侧卡爪单元(16)对向式安装于所述上连接件(11)侧端;
限位卡槽(17),所述限位卡槽(17)周向开设于所述下连接件(12)上,所述侧卡爪单元(16)卡设于所述限位卡槽(17)上;
所述侧卡爪单元(16)包括:固定安装于所述上连接件(11)侧端的安装座(21),中心安装口(22)开设于所述安装座(21)远离上连接件(11)端,两个转动槽(23)对向式开设于所述中心安装口(22)内壁上,限位卡爪(24)呈U型设置,所述限位卡爪(24)顶端安装有伸入所述转动槽(23)内的转动耳部(25),所述限位卡爪(24)底端内凹式一体成型有用于卡设于限位卡槽(17)内的限位卡部(26),锁紧单元安装于所述安装座(21)内,所述锁紧单元用于对伸入所述转动槽(23)内的转动耳部(25)进行锁紧,两个手动油压驱动单元对向式安装于所述安装座(21)侧端,所述手动油压驱动单元与所述锁紧单元连接;
所述锁紧单元包括:以所述转动槽(23)为中心周向设于所述安装座(21)内的多个油压室(31),油压块(32)滑动连接于所述油压室(31)内,所述转动槽(23)内壁预留有用于放置止动块(33)的止动槽,顶杆(34)一端伸入所述油压室(31)内,并与所述油压块(32)连接,所述顶杆(34)另一端伸入所述止动槽内,并与所述止动块(33)连接,连接弹簧(35)位于所述油压室(31)内,并连接于所述油压块(32)和油压室(31)内壁之间,后进油通道(36)位于所述安装座(21)内,并连接于所述手动油压驱动单元和油压室(31)之间;
所述手动油压驱动单元包括:转动安装于所述安装座(21)侧端的手转动座(41),环形储油槽(42)开设于所述手转动座(41)靠近安装座(21)端,所述后进油通道(36)连通于所述环形储油槽(42)内,储油室(43)设于所述手转动座(41)内,U型重块(44)滑动安装于所述储油室(43)内,复位弹簧(45)位于所述储油室(43)内,所述复位弹簧(45)连接于所述储油室(43)内壁和U型重块(44)之间,两个前进油通道(46)呈对称式设于所述手转动座(41)内,所述前进油通道(46)连通于所述环形储油槽(42)和储油室(43)之间,所述U型重块(44)避开所述前进油通道(46)设置;
所述手动油压驱动单元还包括:设于所述手转动座(41)内的转动室(47),限位转盘(48)位于所述转动室(47)内,固定转柱(49)一端与所述安装座(21)连接,所述固定转柱(49)另一端伸入所述转动室(47)内,并与所述限位转盘(48)连接,热膨胀限位环(40)位于所述转动室(47)内,所述转动室(47)内壁上开设有便于所述热膨胀限位环(40)安装的环形卡槽,所述热膨胀限位环(40)内环端周向安装有限位卡齿,所述限位转盘(48)上周向安装有适配所述限位卡齿的弹性斜块,导热条(37)植入所述手转动座(41)内,所述导热条(37)伸入所述转动室(47)内,并与所述热膨胀限位环(40)连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用重锤结构,其特征在于,所述上连接件(11)采用310S不锈钢材质制成。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用重锤结构,其特征在于,所述上连接件(11)上一体成型有上螺纹连接部(13),所述下连接件(12)上设有与所述上螺纹连接部(13)螺接的上安装螺孔(14)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用重锤结构,其特征在于,所述下连接件(12)上一体成型有用于与石墨夹头(18)连接的下螺纹连接部(15)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用重锤结构,其特征在于,所述上连接件(11)的长度大于所述下连接件(12)的长度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006150538A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Rorze Corp 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。
CN206438198U (zh) * 2016-12-19 2017-08-25 包头市山晟新能源有限责任公司 单晶炉籽晶夹头和具有其的籽晶夹头机构
CN211713257U (zh) * 2019-12-31 2020-10-20 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 一种晶种安装装置
CN212025497U (zh) * 2020-03-31 2020-11-27 洛阳成久电子材料有限公司 一种单晶炉用钼重锤结构

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