CN217922422U - 电动取棒工装 - Google Patents

电动取棒工装 Download PDF

Info

Publication number
CN217922422U
CN217922422U CN202221578619.7U CN202221578619U CN217922422U CN 217922422 U CN217922422 U CN 217922422U CN 202221578619 U CN202221578619 U CN 202221578619U CN 217922422 U CN217922422 U CN 217922422U
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamping jaw
clamping
hole
handed screw
electric rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202221578619.7U
Other languages
English (en)
Inventor
徐涛
王建军
汪佳
宋涛
李兆颖
周来平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co ltd
Original Assignee
Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co ltd filed Critical Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co ltd
Priority to CN202221578619.7U priority Critical patent/CN217922422U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN217922422U publication Critical patent/CN217922422U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种电动取棒工装,包括:主体支架;支撑板,支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔,支撑板垂直固定于支架的下部;抱夹机构,抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪,抱夹机构与支架水平滑移配合;驱动机构,驱动机构包括动力组件、一体式左右旋丝杠和连接组件,动力组件与一体式左右旋丝杠连接,一体式左右旋丝杠与抱夹机构平行设置,一体式左右旋丝杠包括左旋丝杠和右旋丝杠,左旋丝杠的端部通过一个连接组件与左夹爪连接,右旋丝杠的端部通过一个连接组件与右夹爪连接。实用新型的电动取棒工装,工作效率高,直流驱动,能耗低,结构紧凑,维护简单,能够消除取棒过程中对副炉室的干涉。

Description

电动取棒工装
技术领域
本实用新型涉及硬轴单晶炉取晶棒设备领域,尤其是涉及一种电动取棒工装。
背景技术
晶硅硅棒在单晶炉内拉制完成后,需从炉内取出,放置在取棒车中。随着生产技术革新,目前生产的硅棒直径较大(12寸),长度较长,重量较大,单晶炉副炉室的空间相对狭小,现有的电动取棒设备体积较大,在单晶炉副炉室操作时,容易对副炉室发生撞击等干涉,对操作人员的要求较高;另外现有的电动取棒设备,结构复杂,需要电动控制一系列复杂的传动机构,安全风险较大。
实用新型内容
针对上述存在的技术不足,本实用新型的目的是提供一种电动取棒工装,以解决背景技术中提出的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
本实用新型提供一种电动取棒工装,包括:
主体支架;
支撑板,所述支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔,所述支撑板垂直固定于所述支架的下部;
抱夹机构,所述抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪,所述抱夹机构与所述主体支架水平滑移配合;
驱动机构,用于驱动抱夹机构同步相向或背向运动以使抱夹机构抱紧或打开,所述驱动机构包括动力组件、一体式左右旋丝杠和连接组件,所述动力组件与一体式左右旋丝杠连接,所述一体式左右旋丝杠与所述抱夹机构平行设置,所述一体式左右旋丝杠包括左旋丝杠和右旋丝杠,所述左旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述左夹爪连接,所述右旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述右夹爪连接。
在本实用新型的一些实施例中,所述抱夹机构为多个,多个所述抱夹机构从上到下间隔设置在所述主体支架上,所述主体支架上水平固定有与所述抱夹机构一一对应的滑轨,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪的靠近主体支架的一侧分别固定一个滑块,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪分别通过一个滑块与滑轨滑动连接。
在本实用新型的一些实施例中,所述动力组件包括电机和减速机,所述电机通过减速机与一体式左右旋丝杠连接。
在本实用新型的一些实施例中,所述工装还包括自动调心机构,所述自动调心机构包括调心底座和螺纹紧固件,所述调心底座与所述支撑板同心设置,所述调心底座的中心处开设有通孔一,所述通孔一的中心轴线与所述中心孔的中心轴线重合,所述调心底座上开设有两个调节孔,在经过所述通孔一轴线的剖切面上,两个所述调节孔分别设置在所述通孔一轴线的两侧,所述螺纹紧固件穿过所述调心底座的通孔一与支撑板螺纹连接,所述螺纹紧固件的直径小于通孔一的孔径。
在本实用新型的一些实施例中,所述调心底座的下表面圆周均匀设有多个减磨件。
在本实用新型的一些实施例中,所述减磨件为钢珠滚轮;所述调心底座在所述通孔一的上方设有垫片。
在本实用新型的一些实施例中,所述自动调心机构还包括衬环,所述调心底座的上表面中心处开设有与衬环相配适的圆槽,所述衬环固定于圆槽中。
在本实用新型的一些实施例中,所述工装还包括三个距离传感器,所述三个距离传感器分别与控制系统通讯连接,所述三个距离传感器分别为距离传感器一、距离传感器二和距离传感器三,其中,所述距离传感器一用于测定与所述左夹爪相连的所述滑块左端距离所述滑轨左端的距离,所述距离传感器二用于测定与所述右夹爪相连的所述滑块的右端距离所述滑轨右端的距离;所述距离传感器三用于测定两个所述滑块之间的距离。
在本实用新型的一些实施例中,所述主体支架远离所述抱夹机构的一侧中部安装有卡轴机构,所述卡轴机构包括卡轴、底板和卡轴座,所述底板水平固定在支架远离抱夹机构的一侧,所述底板的两端垂直固定卡轴座,两个所述卡轴座平行设置,两个所述卡轴座之间水平安装有所述卡轴。
在本实用新型的一些实施例中,所述连接组件包括连接板和安装架,两个所述安装架之间水平安装有所述一体式左右旋丝杠,所述安装架的一侧一体连接所述连接板,所述连接板固定于所述滑块与和与该滑块相对应的夹爪之间,所述抱夹机构的夹爪通过螺栓依次穿过夹爪、所述连接板固定于所述滑块上。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
(1)本实用新型的电动取棒工装,工作效率高,直流驱动,能耗低,结构简单、紧凑,传动方式维护简单,适合于单晶炉副炉室相对狭小的空间使用,确保完全消除取棒过程中对副炉室的干涉。
(2)本实用新型中三个距离传感器的设置,使得在夹取晶棒时,抱夹机构可根据晶棒直径进行自动调节,可以适用于多种直径尺寸的晶棒,全自动抱夹,无需人工干预,降低了人工操作的要求,增加了取棒的安全性。
(3)本实用新型中自动调心底座的设置,当晶棒下落时,可根据晶棒位置进行快速同心调节,确保电动取棒工装与晶棒的同心度,极大增加了取棒的安全系数,降低了对人员操作的要求。
(4)本实用新型中一体式左右旋丝杠通过连接组件与抱夹机构连接,传动方式简单,连接组件的安装架和连接板一体成型,结构紧凑,大大缩短了一体式左右旋丝杠与抱夹机构之间的距离,节约空间,使得工装的整体的宽度由现有技术常见工装的550mm缩短至400-490mm,整个工装结构更加紧凑。
(5)本实用新型的电动取棒工装适配夹取晶棒直径、长度范围广,适用于直径290mm~320m,长度250mm-2000mm的晶棒。
(6)本实用新型的丝杠采用一体式左右旋丝杠设计,高精度,确保晶棒受力均匀。卡轴机构结构紧凑,适配性高,可根据不同炉台进行定制设计。
附图说明
图1是根据本实用新型一个实施例的电动取棒工装的示意图;
图2是根据本实用新型一个实施例的电动取棒工装另一视角的示意图;
图3是根据本实用新型一个实施例中抱夹机构和驱动机构的示意图;
图4是根据本实用新型一个实施例中自动调心机构的示意图;
图5是根据本实用新型一个实施例中自动调心机构的爆炸图;
图6是根据本实用新型一个实施例中连接组件的示意图;
图7是根据本实用新型一个实施例的电动取棒工装在水平状态下的示意图;
图8是根据本实用新型一个实施例中主体支架的示意图;
图9是根据本实用新型一个实施例的电动取棒工装在夹取晶棒时的示意图。
附图标记:
电动取棒工装100;
主体支架10,支撑板11,中心孔111,缺口112,滑轨12,滑块13,距离传感器一14,距离传感器二15,距离传感器三16,支撑托17,支撑槽171;
抱夹机构20,左夹爪21,右夹爪22,凹槽23,缓冲垫一231;
驱动机构30,动力组件31,一体式左右旋丝杠32,连接组件33,电机311,减速机312,左旋丝杠321,右旋丝杠322,丝杠螺母323,连接板331,安装架332,机械限位块333,顶板3321,侧板3322,后挡板3323,安装孔3324;
自动调心机构40,调心底座41,螺纹紧固件42,衬环43,减磨件44,缓冲垫二45,限位垫46,通孔一411,调节孔412,圆槽413;
卡轴机构50,卡轴51,底板52,卡轴座53,胀紧套54,插头架55,防护衬板56,通孔二551;
晶棒200,锥体部210。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本实用新型。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外,本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
下面参考图1-图9描述根据本实用新型实施例的电动取棒工装。
参考图1所示,根据本实用新型的一种电动取棒工装100,包括:主体支架10、抱夹机构20和驱动机构30。
参考图8所示,主体支架10的下部垂直固定支撑板11,支撑板11的中心开设有容许晶棒200底部的锥体部210通过的中心孔111,支撑板11上还设有适于晶棒200的锥形体进出中心孔111的缺口112,缺口112设置在支撑板11的远离主体支架10的一端且与中心孔111连通;
参考图1和图3所示,抱夹机构20包括两个对称设置的左夹爪21和右夹爪22,抱夹机构20与主体支架10水平滑移配合;参照图1所示,抱夹机构20与支撑板11位于主体支架10的同一侧,抱夹机构20的数量为多个,多个抱夹机构20在上下方向上间隔设置于主体支架10上,例如,如图1所示,抱夹机构20可以两个,两个抱夹机构20在上下方向上间隔设置于主体支架10上。当然,本实用新型不限于此,抱夹机构20也可以为三个、四个、五个、六个等。同一抱夹机构20中,左夹爪21和右夹爪22镜像对称设置,左夹爪21和右夹爪22的内侧形成用于夹持晶棒200的凹槽23,其中,“内侧”指的是同一抱夹机构20中的左夹爪21和右夹爪22的朝向彼此的一侧。凹槽23中螺纹连接有缓冲垫一231,通过在凹槽23中设置缓冲垫一231,在抱夹机构20抱紧晶棒200时,缓冲垫一231位于抱夹机构20和晶棒200之间,避免抱夹机构20和晶棒200直接刚性接触,从而有利于保证电动取棒工装100工作的可靠性。
参考图1和图3所示,驱动机构30,用于驱动抱夹机构20同步相向或背向运动以使抱夹机构20抱紧或打开,驱动机构30包括动力组件31、一体式左右旋丝杠32和两个连接组件33,动力组件31与一体式左右旋丝杠32连接,一体式左右旋丝杠32与抱夹机构20平行设置,一体式左右旋丝杠32包括左旋丝杠321和右旋丝杠322,左旋丝杠321的端部通过一个连接组件33与左夹爪21连接,右旋丝杠322的端部通过一个连接组件33与右夹爪22连接。
可以理解的是,动力组件31驱动一体式左右旋丝杠32转动,由于左旋丝杠321和右旋丝杠322旋转方向相反,在左旋丝杠321和右旋丝杠322旋转的同时分别带动左夹爪21和右夹爪22同步相向或背向运动,左夹爪21和右夹爪22的相向运动,抱夹机构20逐渐抱紧;左夹爪21和右夹爪22的背向运动,抱夹机构20逐渐打开。
在本实用新型的一些实施例中,参考图1、图3和图6所示,一体式左右旋丝杠32的两端分别安装有丝杠螺母323,一体式左右旋丝杠32的两端通过丝杠螺母323与连接组件33连接。连接组件33包括与连接板331和与安装架332,两个安装架332之间水平安装有一体式左右旋丝杠32,安装架332包括顶板3321、两个侧板3322和后挡板3323,顶板3321下表面的两侧分别垂直固定有侧板3322,顶板3321远离一体式左右旋丝杠32的一侧垂直固定后挡板3323,后挡板3323上开设有与丝杠螺母323相配适的安装孔3324,丝杠螺母323通过安装孔3324安装在安装架332上,丝杠螺母323的端部伸出安装孔3324,且固定有机械限位块324。顶板3321的一侧一体连接连接板331,顶板3321的上表面与连接板331上表面齐平,连接板331固定于滑块13与和与该滑块13相对应的夹爪之间,抱夹机构20的夹爪通过螺栓依次穿过夹爪、连接板331固定于滑块13上。换言之,位于左侧的连接板331固定于位于左侧的滑块13与左夹爪21之间,左夹爪21通过螺栓依次穿过左夹爪21、位于左侧的连接板331固定于位于左侧的滑块13上。位于右侧的连接板331固定于位于右侧的滑块13与右夹爪22之间,右夹爪22通过螺栓依次穿过右夹爪22、位于右侧的连接板331固定于位于右侧的滑块13上。安装架332和连接板331一体成型。
本实用新型的连接组件33一体式的设计,具有以下优点:结构紧凑,大大缩短了一体式左右旋丝杠32与抱夹机构20之间的距离,节约空间,使得工装的整体的宽度由现有技术常见工装的550mm缩短至400-490mm,整个工装结构紧凑,在副炉室夹取晶棒200时,工装与副炉室之间的空间更为充足,确保完全消除取棒过程中对副炉室的干涉。同时由于其结构紧凑,一个主体支架10上可以安装更多的抱夹机构20,因此在保证安全的前提下,可以增加工夹取晶棒200的长度;确保抱夹机构20与一体式左右旋丝杠32高精度配合,提高取棒直径的精度要求;一体式设计,结构紧凑,安全系数高。
在本实用新型的一些实施例中,参考图2和图7所示,主体支架10上水平固定有与抱夹机构20一一对应的滑轨12,抱夹机构20的左夹爪21和右夹爪22的靠近主体支架10的一侧分别固定一个滑块13,抱夹机构20的左夹爪21和右夹爪22分别通过一个滑块13与滑轨12滑动连接。
在本实用新型的一些实施例中,参考图3所示,动力组件31包括电机311和减速机312,电机311与减速机312连接,减速机312安装于一体式左右旋丝杠32的中部。例如,电机311可以为直流电机,减速机312可以为蜗轮蜗杆减速机。
不同单晶炉生产的晶棒200直径不尽相同,为了使抱夹机构20自动调节,在本实用新型的一些实施例中,参考图3所示,电动取棒工装100还包括三个距离传感器,三个距离传感器分别与单晶炉的控制系统通讯连接,三个距离传感器分别为距离传感器一14、距离传感器二15和距离传感器三16,其中距离传感器一14用于测定与左夹爪21相连的滑块13左端距离滑轨12左端的距离,距离传感器二15用于测定与右夹爪22相连的滑块13的右端距离滑轨12右端的距离;距离传感器三16用于测定两滑块13之间的距离;距离传感器一14、距离传感器二15的设置,可以保证抱夹机构20处于打开状态时,左夹爪21和右夹爪22位于滑轨12两端的安全距离,防止脱出滑轨12,换言之,可以限制左夹爪21和右夹爪22远离彼此方向上的最大运动行程,有利于减少安全隐患;距离传感器三16用于限定抱夹机构20处于抱紧状态时,与左夹爪21相连的滑块13和与右夹爪22相连的滑块13之间安全距离的限位,换言之,可以限制左夹爪21和右夹爪22靠近彼此方向上的最近距离。三个距离传感器的设置,可以保证抱夹机构20在夹取不同直径晶棒200时的可靠性,无需人工干预,降低了人工操作的要求,提高了取棒的安全性。
晶棒200放置在支撑板11上时,有时候会出现偏心或者倾斜的情况,即出现晶棒200的中心轴线与支撑板11的中心孔111中心轴线平行但不重合或晶棒200的中心轴线与支撑板11的中心孔111中心轴线形成一定夹角,此种情况下,影响抱夹机构20的抱紧效果,影响安全性,有鉴于此,参考图1、图2、图4和图5所示,根据本实用新型实施例的电动取棒工装100,还包括自动调心机构40,对晶棒200进行自动调心。自动调心机构40位于支撑板11上,自动调心机构40包括调心底座41和螺纹紧固件42,调心底座41与支撑板11同心设置,调心底座41的中心处开设有通孔一411,通孔一411的中心轴线与中心孔111的中心轴线重合,调心底座41上开设有两个调节孔412,在经过通孔一411轴线的剖切面上,两个调节孔412分别设置在通孔一411轴线的两侧,换言之,两个调节孔412的圆心与通孔一411的圆心在一条直线上,螺纹紧固件42穿过调心底座41的通孔一411与支撑板11螺纹连接,螺纹紧固件42的直径小于通孔一411的孔径。螺纹紧固件42穿过调心底座41后螺纹固定在支撑板11上,螺纹紧固件42相对支撑板11是不动的,由于调心底座41的通孔一411的孔径大于螺纹紧固件42的直径,如此在晶棒200的锥体部210相对支撑板11下移的过程中,调心底座41沿晶棒200的径向可移动,调心底座41能在一定的范围内,跟随晶棒200的锥体部210移动,从而使晶棒200的支撑点位于调心底座41的中心,晶棒200的底部的锥体部210则被稳定支撑于调心底座41的中心的通孔一411内,有效避免了晶棒200偏心或倾斜带来的安全隐患。
在本实用新型的一些实施例中,参考图4和图5所示,自动调心机构40还包括衬环43,调心底座41的上表面中心处开设有与衬环43相配适的圆槽413,衬环43固定于圆槽413中。所述衬环43采用碳纤维复合材料,衬环43作用是承托晶棒200,避免晶棒200与调心底座41的不锈钢金属材料直接接触,以免污染晶棒200,同时衬环43采用碳纤维复合材料,能耐高温,以适应刚出炉的高温状态的晶棒200。调心底座41的下表面圆周均匀安装有多个减磨件44,多个所述减磨件44圆周均匀分布于通孔一411的外侧,减磨件44可以为钢珠滚轮,当然,本实用新型不限于此,减磨件44也可以为其他具有润滑、减少摩擦作用的结构。在从上往下的方向上,螺纹紧固件42在通孔一411的上方依次设有缓冲垫二45和限位垫46片,缓冲垫二45和限位垫46片中心的孔与螺纹紧固件42相适应,缓冲垫二45采用橡胶材质,限位垫46片采用不锈钢材质,螺纹紧固件42可以为轴肩螺栓,当然,本实用新型不限于此,螺纹紧固件42也可以为其他可以实现相同目的结构。
在本实用新型的一些实施例中,参考图2所示,主体支架10远离抱夹机构20的一侧中部安装有卡轴机构50,卡轴机构50包括卡轴51、底板52和卡轴座53,底板52水平安装在主体支架10远离抱夹机构20的一侧,底板52的两端垂直固定卡轴座53,两个卡轴座53平行设置,两个卡轴座53之间水平安装有卡轴51,卡轴51的两端通过胀紧套54与两个卡轴座53连接,卡轴51远离抱夹机构20的一侧固定有插头架55,插头架55呈L形板状,插头架55上开设有与单晶炉取晶臂连接的通孔二551。进一步地,主体支架10的两端对称螺纹固定有防护衬板56,防护衬板56从上到下间隔开设有螺纹孔(图中未标出),底板52的左右两端通过螺栓穿过防护衬板56固定在主体支架10上。
在本实用新型的一些实施例中,参考图1、图2和图7所示,主体支架10从上往下间隔安装有多个支撑托17,支撑托17朝向靠近主体支架10的方向凹入以限定出适于支撑晶棒200的支撑槽171。支撑托17用于电动取棒工装100在水平状态时,支撑晶棒200。
工作原理:
参考图1、图7和图9所示,取晶棒200时,电动取棒工装100在取棒车上完成由水平状态(图7)旋转至竖直状态(图1),此时抱夹机构20处于最大张开状态,单晶炉取晶臂的凹槽机构行走至卡轴机构50处,通过插头架55上的通孔二551完成与取晶工装的连接,取晶臂将电动取棒工装100运动至副室取晶棒200位置,抱夹机构20的开口正对晶棒200进入,使得晶棒200最终处于抱夹机构20内,缓慢向下移动晶棒200,使之晶棒200底部的锥体部210落在自动调心机构40上,自动调心机构40将在晶棒200的重力下进行对中调整,确保晶棒200中心与取晶工装中心一致,动力组件31启动后驱动一体式左右旋丝杠32转动,左旋丝杠321和右旋丝杠322旋转的同时分别带动左夹爪21和右夹爪22平稳地在滑轨12上同步相向运动,抱夹机构20逐渐抱紧至设定位置,通过距离传感器三16控制左夹爪21和右夹爪22靠近彼此方向上的最近距离,即完成对晶棒200的夹持(图9),断开籽晶夹具与晶棒200的连接,取晶臂可实现将装载有晶棒200的电动取棒工装100可靠转移出副炉室;
在取晶臂将装载有晶棒200的电动取棒工装100转移出副炉室后,电动取棒工装100和晶棒200整体转移到推车上时,通过推车的旋转机构将电动取棒工装100和晶棒200从竖直状态变为水平状态,动力组件31启动,驱动一体式左右旋丝杠32转动,左旋丝杠321和右旋丝杠322旋转的同时分别带动左夹爪21和右夹爪22同步背向运动抱夹机构20逐渐打开,通过距离传感器一14和距离传感器二15控制左夹爪21和右夹爪22远离彼此方向上的最大运动行程,抱夹机构20逐渐打开至最大状态,晶棒200依靠支撑托17支撑,进而便于工作人员将晶棒200取出。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,还可以是通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种电动取棒工装,其特征在于,包括:
主体支架;
支撑板,所述支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔,所述支撑板垂直固定于所述支架的下部;
抱夹机构,所述抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪,所述抱夹机构与所述主体支架水平滑移配合;
驱动机构,用于驱动抱夹机构同步相向或背向运动以使抱夹机构抱紧或打开,所述驱动机构包括动力组件、一体式左右旋丝杠和连接组件,所述动力组件与一体式左右旋丝杠连接,所述一体式左右旋丝杠与所述抱夹机构平行设置,所述一体式左右旋丝杠包括左旋丝杠和右旋丝杠,所述左旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述左夹爪连接,所述右旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述右夹爪连接。
2.根据权利要求1所述的电动取棒工装,其特征在于,所述抱夹机构为多个,多个所述抱夹机构从上到下间隔设置在所述主体支架上,所述主体支架上水平固定有与所述抱夹机构一一对应的滑轨,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪的靠近主体支架的一侧分别固定一个滑块,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪分别通过一个滑块与滑轨滑动连接。
3.根据权利要求1所述的电动取棒工装,其特征在于,所述动力组件包括电机和减速机,所述电机通过减速机与一体式左右旋丝杠连接。
4.根据权利要求1所述的电动取棒工装,其特征在于,还包括自动调心机构,所述自动调心机构包括调心底座和螺纹紧固件,所述调心底座与所述支撑板同心设置,所述调心底座的中心处开设有通孔一,所述通孔一的中心轴线与所述中心孔的中心轴线重合,所述调心底座上开设有两个调节孔,在经过所述通孔一轴线的剖切面上,两个所述调节孔分别设置在所述通孔一轴线的两侧,所述螺纹紧固件穿过所述调心底座的通孔一与支撑板螺纹连接,所述螺纹紧固件的直径小于通孔一的孔径。
5.根据权利要求4所述的电动取棒工装,其特征在于,所述调心底座的下表面圆周均匀设有多个减磨件。
6.根据权利要求5所述的电动取棒工装,其特征在于,所述减磨件为钢珠滚轮;所述调心底座在所述通孔一的上方设有垫片。
7.根据权利要求4所述的电动取棒工装,其特征在于,所述自动调心机构还包括衬环,所述调心底座的上表面中心处开设有与衬环相配适的圆槽,所述衬环固定于圆槽中。
8.根据权利要求2所述的电动取棒工装,其特征在于,还包括三个距离传感器,所述三个距离传感器分别与控制系统通讯连接,所述三个距离传感器分别为距离传感器一、距离传感器二和距离传感器三,其中,所述距离传感器一用于测定与所述左夹爪相连的所述滑块左端距离所述滑轨左端的距离,所述距离传感器二用于测定与所述右夹爪相连的所述滑块的右端距离所述滑轨右端的距离;所述距离传感器三用于测定两个所述滑块之间的距离。
9.根据权利要求2所述的电动取棒工装,其特征在于,所述主体支架远离所述抱夹机构的一侧中部安装有卡轴机构,所述卡轴机构包括卡轴、底板和卡轴座,所述底板水平固定在所述支架远离抱夹机构的一侧,所述底板的两端垂直固定所述卡轴座,两个所述卡轴座平行设置,两个所述卡轴座之间水平安装有所述卡轴。
10.根据权利要求9所述的电动取棒工装,其特征在于,所述连接组件包括连接板和安装架,所述安装架的一侧一体连接所述连接板,所述连接板固定于所述滑块与和与该滑块相对应的夹爪之间,所述抱夹机构的夹爪通过螺栓依次穿过夹爪、所述连接板固定于所述滑块上。
CN202221578619.7U 2022-06-22 2022-06-22 电动取棒工装 Active CN217922422U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202221578619.7U CN217922422U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 电动取棒工装

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202221578619.7U CN217922422U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 电动取棒工装

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN217922422U true CN217922422U (zh) 2022-11-29

Family

ID=84183027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202221578619.7U Active CN217922422U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 电动取棒工装

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN217922422U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109500669B (zh) 一种可调式轴承加工固定打磨装置
CN113560900B (zh) 一种基于电磁离合原理的微型直线加工中心及使用方法
CN106077828A (zh) 汽车座椅管用双头自动倒角机
CN217922422U (zh) 电动取棒工装
CN211386617U (zh) 镁合金单点渐进成形固定工装
CN109702530A (zh) 加工发动机缸体斜水孔的夹具及加工方法
CN213135469U (zh) 一种简易手动调节的管材支撑装置
KR102201426B1 (ko) 초대형 소재의 수직,수평 회전장치
CN219152021U (zh) 一种可调式滚轮架
CN221018487U (zh) 一种热钢件锻造工作装置
CN219670552U (zh) 一种安全型热处理夹具
CN218380875U (zh) 一种锻件直径测量工作台
CN220660832U (zh) 一种传动轴放置架
CN214559095U (zh) 一种导管同轴加工用便于调节结构的车床夹具
CN213135328U (zh) 用于母夹挟持臂生产的螺丝成型机
CN113977504B (zh) 一种便于进行角度调节的轨道交通车辆软管接头装配设备
CN116767834B (zh) 一种轴承检测输送夹具
CN111397373B (zh) 一种实验室多功能高温前处理装置
CN114951738B (zh) 一种车桥钻孔工装
CN213319722U (zh) 机械加工用快速定心式夹持装置
CN215032322U (zh) 芯棒自动升降调芯装置
CN112097073B (zh) 一种可垂直安装与锁紧的滚轮适配器
CN217916930U (zh) 一种定位可调的液压机
CN215786517U (zh) 一种全自动旋铆机下料设备
CN219725292U (zh) 一种钢管镗孔用固定夹具

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant