CN211487132U - 光刻胶生产废气有害气体吸收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，冷凝分离单元包括与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，热利用循环管路与NAS‑5脱水罐外部加热水管连通，积液罐的上部设有与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，回液管路上设有单向阀，分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口。本实用新型结构更为合理、使用节能环保，在对有害气体进行有效祛除的同时，充分利用尾气中的热量，并有效减少NAS‑5流失。

Description

光刻胶生产废气有害气体吸收装置

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备，具体是一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，适用于光刻胶前步原料商品名NAS-5、化学名称1,2-萘醌-2-重氮-5-磺酸钠盐的生产废气的吸收处理，是光刻胶生产线中重要的重要设备。

背景技术

NAS-5是光刻胶的重要原料，为保证光刻胶生产品质和具体性能指标，NAS-5的生产通常占据光刻胶生产线中重要的一环，NAS-5在反应釜反应完全后通常需要脱水处理，但脱水过程中，会产生酸性尾气，直接排放会造成环境污染。

现有的尾气处理装置应用于NAS-5尾气处理时存在热能源浪费和NAS-5流失的问题，因此，仍需改进。

发明内容

本实用新型的目的是为了提供一种结构更为合理、使用节能环保的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，在对有害气体进行有效祛除大颗粒杂质、酸性物质和异味的同时，将尾气中的热量充分用于加热生产环节，并有效减少NAS-5流失。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，所述冷凝分离单元包括与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，所述热利用循环管路与NAS-5脱水罐外部加热水管连通，所述积液罐的上部设有与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，所述回液管路上设有单向阀，所述分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口，分离罐顶部设有出气口。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述水喷淋单元包括水喷淋罐、设于水喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的水喷淋喷头组、设于水喷淋罐底部的储水区、连接于储水区和水喷淋喷头组之间的水输送管路、设于水输送管路上的水提升泵、设于水喷淋喷头组和水喷淋罐顶部出气口之间的气水分离器，水喷淋罐侧壁对应储水区位置设有进气管路，所述水喷淋罐侧壁对应储水区上方的位置设有与水源连通的补水管路，所补水管路上设有控制阀，所述气水分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。水喷淋单元的目的是为了有效祛除尾气中夹带的大颗粒杂质和可溶于水的有害物质，大颗粒杂质的杂质的祛除避免了在后环节的管路磨损。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述碱液喷淋单元包括碱液喷淋罐、设于碱液喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的碱液喷淋喷头组、设于碱液喷淋罐底部的储液区、连接于储液区和碱液喷淋喷头组之间的碱液输送管路、设于碱液输送管路上的碱液提升泵、设于碱液喷淋喷头组和碱液喷淋罐顶部出气口之间的气液分离器，碱液喷淋罐侧壁对应储液区位置设有进气管路，所述碱液喷淋罐侧壁对应储液区上方的位置设有与外部补液槽连通的补液管路，所补液管路上设有补液泵，所述气液分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。碱液喷淋单元的目的是为了有效中和祛除尾气中夹带的酸性物质。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述上支撑架和下支撑架分别由与水喷淋罐或碱液喷淋罐焊接的环形支撑圈、设于环形支撑圈内侧的十字形连接筋组成，所述十字形连接筋与倒锥形挡板焊接固定。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述活性炭吸附过滤单元包括长方体状过滤壳体、均匀间隔设于长方体状过滤壳体中的活性炭过滤片，各个活性炭过滤片由矩形框、设于矩形框内的活性炭过滤本体组成，所述长方体状过滤壳体对应首个活性炭过滤片前方的位置设有进气管路，对应最后一个活性炭过滤片后方的位置设有与烟囱连通的排气管路。活性炭吸附过滤单元的目的是为了有效祛除尾气中的异味。

本实用新型的有益效果是：

1、通过依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元的组合实现对有害气体中大颗粒杂质、酸性物质和异味的有效祛除，显著提高尾气处理能力。

2、冷凝分离单元的分离罐中设有热利用循环管路，热利用循环管路利用尾气的余热并应用于NAS-5脱水罐外部加热，避免了热能的损失，达到了节能的目的。

3、冷凝分离单元的分离罐中通过设置冷凝液循环管路加速尾气凝液，含有NAS-5产品的凝液通过积液罐和回液管路返送回脱水罐，避免了尾气中夹带的NAS-5产品被尾气带走，造成NAS-5产品损失。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是气水分离器或气液分离器的俯视图；

图3是气水分离器或气液分离器的仰视图。

图中：1.积液罐、2.单向阀、3.回液管路、4.NAS-5脱水罐顶部出气管线、5.分离罐、6.热利用循环管路、7.冷凝液循环管路、8.出气口、9.补水管路、10.控制阀、11.水喷淋单元进气管路、12.水喷淋罐、13.水喷淋单元填料层、14.水喷淋喷头组、15.气水分离器、16.水输送管路、17.水提升泵、18.储水区、19.储液区、20.碱液喷淋单元进气管路、21.出气口、22.气液分离器、23.碱液喷淋喷头组、24.碱液喷淋单元填料层、25.碱液输送管路、26.补液管路、27.补液泵、28.补液槽、29.碱液提升泵、30.长方体状过滤壳体、31.活性炭过滤片、32.烟囱、33.出气口、34.碱液喷淋罐。

具体实施方式

如图1-图3所示，该光刻胶生产废气有害气体吸收装置，由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成。

其中，所述冷凝分离单元包括与NAS-5脱水罐顶部出气管线4连通的分离罐5、设于分离罐5内上部的冷凝液循环管路7、设于分离罐5内下部的热利用循环管路6、与分离罐5底部连通的积液罐1。所述热利用循环管路6与NAS-5脱水罐外部加热水管连通，所述积液罐1的上部设有与NAS-5脱水罐顶部出气管线4连通的回液管路3，所述回液管路3上设有单向阀2，所述分离罐5对应热利用循环管路6下方的位置设有进气口，分离罐5顶部设有出气口8。

所述水喷淋单元包括水喷淋罐12、设于水喷淋罐12中部的水喷淋单元填料层13、设于水喷淋单元填料层13上方的水喷淋喷头组14、设于水喷淋罐12底部的储水区18、连接于储水区18和水喷淋喷头组14之间的水输送管路16、设于水输送管路16上的水提升泵 17、设于水喷淋喷头组14和水喷淋罐顶部出气口21之间的气水分离器15。水喷淋罐12侧壁对应储水区18位置设有水喷淋单元进气管路11，水喷淋单元进气管路11与分离罐5顶部的出气口8连通。所述水喷淋罐12侧壁对应储水区18上方的位置设有与水源连通的补水管路9，所补水管路9上设有控制阀10。所述气水分离器15由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板1503，各倒锥形挡板1503的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板1503的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板1503的之间形成倒锥状气流通道1504，所述上支撑架和下支撑架分别由与水喷淋罐12焊接的环形支撑圈1501、 1505、设于环形支撑圈1501、1505内侧的十字形连接筋1502组成，所述十字形连接筋 1502与倒锥形挡板1503焊接固定。水喷淋单元的目的是为了有效祛除尾气中夹带的大颗粒杂质和可溶于水的有害物质，大颗粒杂质的杂质的祛除避免了在后环节的管路磨损。

所述碱液喷淋单元包括碱液喷淋罐34、设于碱液喷淋罐34中部的碱液喷淋单元填料层24、设于碱液喷淋单元填料层24上方的碱液喷淋喷头组23、设于碱液喷淋罐34底部的储液区19、连接于储液区19和碱液喷淋喷头组23之间的碱液输送管路25、设于碱液输送管路25上的碱液提升泵29、设于碱液喷淋喷头组23和碱液喷淋罐顶部出气口33之间的气液分离器22。碱液喷淋罐34侧壁对应储液区19位置设有碱液喷淋单元进气管路20，碱液喷淋单元进气管路20与水喷淋罐顶部出气口21连通。所述碱液喷淋罐34侧壁对应储液区 19上方的位置设有与外部补液槽28连通的补液管路26，所补液管路26上设有补液泵27。所述气液分离器22与气水分离器15的结构相同，此处不再赘述。碱液喷淋单元的目的是为了有效中和祛除尾气中夹带的酸性物质。

水喷淋单元填料层13和碱液喷淋单元填料层24均为气液两相间接触构件，有利于水或碱液与尾气充分接触。本实施例中，水喷淋单元填料层13和碱液喷淋单元填料层24采用拉西球填料。水喷淋单元进气管路11和碱液喷淋单元进气管路20末端均呈直角状，端口朝下位于水或碱液中。

所述活性炭吸附过滤单元包括长方体状过滤壳体30、均匀间隔设于长方体状过滤壳体30中的活性炭过滤片31，各个活性炭过滤片31由矩形框、设于矩形框内的活性炭过滤本体组成，所述长方体状过滤壳体30对应首个活性炭过滤片31前方的位置设有进气管路，对应最后一个活性炭过滤片31后方的位置设有与烟囱32连通的排气管路。活性炭吸附过滤单元的目的是为了有效祛除尾气中的异味。

工作时，NAS-5脱水罐顶部出气管线4排出的尾气首先进入到冷凝分离单元的分离罐5中，热利用循环管路6先吸收尾气热量，余热利用冷凝液循环管路7吸收，实现气液分离，含有NAS-5产品的凝液落至分离罐5底部并进入到积液罐1中，当达到设定液位时，由回液管路3回流至NAS-5脱水罐中，而由分离罐5顶部出气口排出的尾气进入到水喷淋单元中，经过水喷淋罐12底部的储水区18、喷淋水洗和气水分离器15后，进入到碱液喷淋单元中，再经过碱液喷淋罐34底部的储液区19、喷淋水洗和气液分离器22后，进入到活性炭吸附过滤单元中，由各个活性炭过滤本体31吸附过滤，最后排向烟囱32。

Claims (5)

1.一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，所述冷凝分离单元包括与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，所述热利用循环管路与NAS-5脱水罐外部加热水管连通，所述积液罐的上部设有与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，所述回液管路上设有单向阀，所述分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口，分离罐顶部设有出气口。

2.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述水喷淋单元包括水喷淋罐、设于水喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的水喷淋喷头组、设于水喷淋罐底部的储水区、连接于储水区和水喷淋喷头组之间的水输送管路、设于水输送管路上的水提升泵、设于水喷淋喷头组和水喷淋罐顶部出气口之间的气水分离器，水喷淋罐侧壁对应储水区位置设有进气管路，所述水喷淋罐侧壁对应储水区上方的位置设有与水源连通的补水管路，所补水管路上设有控制阀，所述气水分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。

3.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述碱液喷淋单元包括碱液喷淋罐、设于碱液喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的碱液喷淋喷头组、设于碱液喷淋罐底部的储液区、连接于储液区和碱液喷淋喷头组之间的碱液输送管路、设于碱液输送管路上的碱液提升泵、设于碱液喷淋喷头组和碱液喷淋罐顶部出气口之间的气液分离器，碱液喷淋罐侧壁对应储液区位置设有进气管路，所述碱液喷淋罐侧壁对应储液区上方的位置设有与外部补液槽连通的补液管路，所补液管路上设有补液泵，所述气液分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。

4.根据权利要求2或3所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述上支撑架和下支撑架分别由与水喷淋罐或碱液喷淋罐焊接的环形支撑圈、设于环形支撑圈内侧的十字形连接筋组成，所述十字形连接筋与倒锥形挡板焊接固定。

5.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述活性炭吸附过滤单元包括长方体状过滤壳体、均匀间隔设于长方体状过滤壳体中的活性炭过滤片，各个活性炭过滤片由矩形框、设于矩形框内的活性炭过滤本体组成，所述长方体状过滤壳体对应首个活性炭过滤片前方的位置设有进气管路，对应最后一个活性炭过滤片后方的位置设有与烟囱连通的排气管路。

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