CN211437167U - 一种清洗液供给装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种清洗液供给装置。本实用新型提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。本实用新型的清洗液供给装置能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。

Description

一种清洗液供给装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板制作技术领域，尤其涉及一种清洗液供给装置。

背景技术

目前，为了提高显示面板的良品率，在显示面板的制作过程中，通常需要对基板进行清洗，以去除基板表面附着的异物。

对基板进行清洗时，储液罐中储存的清洗液通过清洗设备喷洒至基板表面，以利用清洗液对基板进行清洗。现有技术中，通常是采用单个储液罐储存清洗液，当储液罐中的清洗液消耗殆尽时，将原有储液罐替换为装满清洗液的新的储液罐，采用新的储液罐继续为清洗设备提供清洗液，如此新旧交替，实现对清洗设备的持续供液。

然而，在替换储液罐时，原有的储液罐内通常还剩余有小部分清洗液，替换后会将该部分清洗液排出，这样会造成清洗液的浪费，增大了基板清洗液的消耗量和清洗成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种清洗液供给装置，能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。

本实用新型提供一种清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。

可选的，第二储液罐内的清洗液的容量小于第一预设值时，第一储液罐向第二储液罐内补充清洗液至容量为第二预设值；其中，第二预设值大于第一预设值。

可选的，第一储液罐内的清洗液的容量小于第二预设值时，原液储液罐向第一储液罐内按预设配比补充清洗原液，第一储液罐内按预设配比形成清洗液且补充清洗液至容量为第三预设值；其中，第三预设值大于第二预设值。

可选的，清洗液供给装置还包括控制器，控制器用于控制第一储液罐向第二储液罐内补充清洗液，还用于控制原液储液罐向第一储液罐内补充清洗原液。

可选的，原液储液罐和第一储液罐之间连接有第一进液管，原液储液罐内的清洗原液通过第一进液管进入第一储液罐内；第一储液罐和第二储液罐之间连接有第二进液管，第一储液罐内的清洗液通过第二进液管进入第二储液罐内。

可选的，第二储液罐和基板清洗腔室之间连接有第一排液管，第二储液罐内的清洗液通过第一排液管进入基板清洗腔室；第一储液罐和基板清洗腔室之间连接有第二排液管，第一储液罐内的清洗液通过第二排液管进入基板清洗腔室。

可选的，原液储液罐和第二储液罐之间还连接有第三进液管，原液储液罐内的清洗原液通过第三进液管进入第二储液罐，第二储液罐内按预设配比形成清洗液。

可选的，清洗液供给装置还包括储水箱，储水箱和第一储液罐及第二储液罐之间均连接有进水管，储水箱内储存的水按预设配比通过进水管进入第一储液罐及第二储液罐内，第一储液罐和第二储液罐内进入的清洗原液和水按预设配比形成清洗液。

可选的，第一进液管、第二进液管、第三进液管以及进水管上均设置有流量计。

可选的，第一储液罐和第二储液罐内均设置有液位检测装置。

本实用新型提供的清洗液供给装置，用于向基板清洗腔室提供清洗液以对基板进行清洗，具体的，清洗液供给装置包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐用于储存清洗原液，且原液储液罐和第一储液罐连通，原液储液罐内的清洗原液可进入第一储液罐内，清洗原液进入第一储液罐后，在第一储液罐内可以按清洗液所要求的的预设配比形成清洗液，这样第一储液罐可作为接收清洗原液并配置、储存清洗液的储液罐，第一储液罐和第二储液罐之间相连通，第一储液罐内配制好的清洗液可进入第二储液罐，最终通过第二储液罐向基板清洗腔室内喷洒清洗液。通过设置原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，在第二储液罐内的清洗液容量过低时，通过原液储液罐向第一储液罐内输送清洗原液，第一储液罐内形成清洗液并输送给第二储液罐，这样第二储液罐可以持续向基板清洗腔室输送清洗液，这样不会对清洗液造成浪费，可以降低清洗液的消耗量，同时可以提高基板的清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的清洗液供给装置的结构示意图。

附图标记说明：

1-原液储液罐；2-第一储液罐；3-第二储液罐；41-第一进液管；42-第二进液管；43-第三进液管；44-第一排液管；45-第二排液管；5-储水箱；51-进水管；6-流量计；7-加热器；8-水泵；9-基板清洗腔室。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例提供的清洗液供给装置的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3，原液储液罐1和第一储液罐2之间连通，第一储液罐2和第二储液罐3之间连通；其中，原液储液罐1用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐2且在第一储液罐2内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐3，且第二储液罐3用于将清洗液输送至基板清洗腔室9以对基板进行清洗。

本实施例提供的清洗液供给装置用于向基板清洗腔室9提供清洗液，可以理解的是，基板通常位于基板清洗腔室9内，清洗液供给装置将清洗液输送至基板清洗腔室9后，通过基板清洗腔室9向基板表面喷洒清洗液，从而通过清洗液对基板进行清洗，以去除基板表面附着的灰尘、毛发等异物。具体的，清洗液供给装置至少包括原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3。

其中，原液储液罐1和第一储液罐2之间连通，第一储液罐2和第二储液罐3之间连通，原液储液罐1用于储存清洗原液，清洗原液的浓度很高，可以理解为清洗原液是未被稀释之前的清洗液，因而需要将清洗原液按一定的配比进行稀释形成符合要求的清洗液，方可利用浓度适宜的清洗液对基板进行清洗。因此，通过设置第一储液罐2，且第一储液罐2和原液储液罐1连通，这样原液储液罐1内的清洗原液可进入第一储液罐2内，且清洗原液在第一储液罐2内可按预设配比被稀释形成清洗液，该预设配比可以是预先设定的符合要求的比例参数。

第一储液罐2的主要作用是使清洗原液在其中按预设配比被稀释形成清洗液，即第一储液罐2主要是作为配制和暂存清洗液的容器，在第一储液罐2内形成清洗液后，通过与第一储液罐2连通的第二储液罐3，第一储液罐2内的清洗液可以进入第二储液罐3。第二储液罐3作为最终储存清洗液的容器，其可将清洗液输送至基板清洗腔室9，通过基板清洗腔室9向基板表面喷洒清洗液，以对基板进行清洗。

在实际应用中，可根据实际需求设置预设配比在第一储液罐2内配制形成清洗液，清洗液通常由清洗原液加水稀释至适宜浓度，示例性的，预设配比可以为1:100，即清洗液中清洗原液占1％，也就是说，添加的水量为清洗液的99％。另外，根据实际需求，预设配比也可以为其他比例，本实施例对此不作具体限制。

本实施例通过设置原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3，利用原液储液罐1储存清洗原液并向第一储液罐2输送清洗原液，在第一储液罐2内将清洗原液按预设配比稀释配制形成浓度适宜的清洗液，然后第一储液罐2再将配制好的清洗液输送至第二储液罐3，最终通过第二储液罐3向基板清洗腔室9输送清洗液。

本实施例的清洗液供给装置，避免了仅设置一个储液罐来向基板清洗腔室9提供清洗液，而在该储液罐内的清洗液容量不足时，需要将该储液罐停用并重新配制清洗液，并替换新的储液罐来继续向基板清洗腔室9提供清洗液，由于在替换旧的储液罐之前，旧储液罐内通常还剩余有少部分清洗液，这时候会将剩余的清洗液直接排出储液罐，这会造成清洗液的浪费，增大了清洗液的消耗量，提高了基板的清洗成本；并且，由于需要替换储液罐，因而会造成基板的清洗工序中断，这会降低基板的清洗效率。

本实施例中，通过原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3的有序工作，在第二储液罐3中的清洗液容量不足时，第一储液罐2可以立即向第二储液罐3中补充清洗液，并且在第一储液罐2内的清洗液容量不足时，原液储液罐1可以立即向第一储液罐2内补充清洗原液，并在第一储液罐2内配制形成浓度和温度达到制程需求的清洗液，如此可以持续源源不断的向第二储液罐3内补充清洗液，因而第二储液罐3可以持续向基板清洗腔室9输送清洗液。

这样不用替换储液罐，一方面不会造成清洗液的浪费，可以降低清洗液的消耗量，进而可以降低基板的清洗成本；另一方面，第二储液罐3可以持续不断的向基板清洗腔室9提供清洗液，因而不会中断基板的清洗工序，可以提高基板的清洗效率。另外，在第二储液罐3的清洗液容量不足的情况下，仅需控制第一储液罐2向第二储液罐3补充清洗液，原液储液罐1向第一储液罐2补充清洗原液即可，操控方式简单高效，可以有效降低操作人员的劳动强度。

需要说明的是，清洗液供给装置还可以包括一个或多个盛装清洗原液的储液罐，虽然原液储液罐1中清洗原液的消耗率较低，但以防万一在清洗过程中清洗原液消耗殆尽，因而本实施例中还可以通过盛装清洗原液的储液罐向原液储液罐1中补充清洗原液，以保证可以持续不断的供给清洗原液。

另外，如图1所示，由于第一储液罐2作为配制清洗液的容器，在实际应用中，清洗液的温度通常要高于室温，以使清洗液更好的对基板进行清洗，以保证清洗液的清洗效果。因而，在配制清洗液时，需要对清洗液进行加热，因而第一储液罐2内还设置有加热器7，通过加热器7将清洗液加热到适宜的温度范围内，以使清洗液更好的发挥作用。示例性的，可以控制加热器7将清洗液加热到40-50℃的范围内，以使清洗液具有较高的温度，以保证清洗液的效果，也不至于使清洗液温度过高，导致清洗液的消耗过快而增大清洗成本。

如图1所示，由于清洗液要从第一储液罐2输送至第二储液罐3，在这输送过程中，清洗液的温度可能会降低，因而可以在第二储液罐3内也设置加热器7，在清洗液输送至第二储液罐3内后，也可以通过加热器7对清洗液进行适当加热，以将清洗液维持在适宜温度范围内。

为了避免在第二储液罐3内的清洗液消耗殆尽的情况下，第一储液罐2无法及时向第二储液罐3补充清洗液，本实施例中，第二储液罐3内的清洗液的容量小于第一预设值时，第一储液罐2可以向第二储液罐3内补充清洗液至容量为第二预设值；其中，第二预设值大于第一预设值。

本实施例中，当第二储液罐3内的清洗液容量小于第一预设值时，可以控制第一储液罐2立即向第二储液罐3内输送清洗液，以向第二储液罐3内补充足够的清洗液，避免由于第二储液罐3内的清洗液过少，而无法持续向基板清洗腔室9输送清洗液，以使第二储液罐3内的清洗液容量始终保持在合适的范围内，这样第二储液罐3可以持续不断的向基板清洗腔室9提供清洗液。

具体的，当第二储液罐3内的清洗液容量小于第一预设值时，控制第一储液罐2立即向第二储液罐3补充清洗液，而当第二储液罐3内的清洗液容量到达第二预设值后，控制第一储液罐2不再向第一储液罐2补充清洗液，以免补充的清洗液过多，而造成的第二储液罐3内清洗液完全充满其内腔，这样清洗液的压力可能会对第二储液罐3造成损伤，致使第二储液罐3无法正常工作，严重时甚至会发生安全事故。因而将第二储液罐3内的清洗液容量始终控制在合适的范围内，以使第二储液罐3可以持续不断向基板清洗腔室9提供清洗液，又不会致使第二储液罐3内清洗液过多而对其造成损害。

可以理解的是，第二预设值大于第一预设值，示例性的，在实际应用中，根据基板清洗腔室9对应清洗的基板的数量及基板的尺寸大小等因素，清洗液容量对应的第一预设值可以在150L至300L的范围内，例如，第一预设值可以为250L；清洗液容量对应的第二预设值可以在400L至600L的范围内，例如，第二预设值可以为500L。

如图1所示，示例性的，第二储液罐3内的清洗液容量对应的液位值可以对应以下几组数据，液位的标示值由低到高依次包括：150L、250L、300L、500L、700L和750L，例如，当第二储液罐3内的清洗液的液位低于150L时，则说明第二储液罐3内的清洗液容量过低，可能会不够用，这时候清洗液供给装置可以进行报警，已提示操作人员可能是清洗原液不够或其他警示情况，以及时补充清洗原液。

上述为特殊情况，通常情况下，当第二储液罐3的清洗液的液位低于250L时，即可控制第一储液罐2立即向第二储液罐3补充清洗液至第二储液罐3的清洗液的液位达到500L，则第一储液罐2停止向第二储液罐3补充清洗液，以防止在第二储液罐3的清洗液消耗率较低或不进行清洗工作时，第一储液罐2继续向第二储液罐3补充清洗液，而造成的第二储液罐3内清洗液过多的情况；若第二储液罐3内清洗液的液位高于700L或750L时，清洗液供给装置也可以启动报警，以提醒操作人员第二储液罐3内清洗液过多，提示是否为清洗液供给装置的控制失灵，第一储液罐2继续向第二储液罐3补充清洗液的情况。

同样的，为了使第一储液罐2内的清洗液容量保持在合适范围内，可选的，第一储液罐2内的清洗液的容量小于第二预设值时，原液储液罐1可以向第一储液罐2内按预设配比补充清洗原液，第一储液罐2内可以按预设配比形成清洗液且补充清洗液至容量为第三预设值；其中，第三预设值大于第二预设值。

同前所述，第二储液罐3内的清洗液的液位过低时，需要立即控制第一储液罐2向第二储液罐3内输送清洗液，而在第一储液罐2内的清洗液的液位过低时，同样需要控制原液储液罐1立即向第一储液罐2内输送清洗原液，可以理解的是，控制原液储液罐1按预设配比向第一储液罐2内输送适量的清洗原液，并且在第一储液罐2内按预设配比将清洗原液稀释为浓度合适的清洗液，以在第一储液罐2内配制清洗液，并输送至第二储液罐3。

由于第一储液罐2需要稀释清洗原液来配制清洗液，并且第一储液罐2需要向第二储液罐3输送清洗液，因而第一储液罐2的清洗液的液位应当比第二储液罐3的清洗液的液位高一些，本实施例中，可以控制当第一储液罐2内的清洗液的容量小于前述的第二预设值时，就立即开始由原液储液罐1向第一储液罐2输送清洗原液，第一储液罐2内根据预设配比补充适量的水，将清洗液补充道容量为第三预设值，这时原液储液罐1停止向第一储液罐2内补充清洗原液。

示例性的，第一储液罐2内清洗液的液位的第二预设值可以为500L，第一储液罐2内清洗液的液位的第三预设值可以为700L，也就是说，当第一储液罐2内的清洗液的液位低于500L时，原液储液罐1立即向第一储液罐2内按预设配比补充适量的清洗原液，然后第一储液罐2补充加水至700L，在此不再赘述。

为了实现对清洗液供给装置的控制，可选的，清洗液供给装置还可以包括控制器，控制器可以用于控制第一储液罐2向第二储液罐3内补充清洗液，还可以用于控制原液储液罐1向第一储液罐2内补充清洗原液。如前所述，本实施例中，当第二储液罐3内的清洗液的容量小于第一预设值时，控制第一储液罐2向第二储液罐3内补充清洗液至容量为第二预设值，当第一储液罐2内的清洗液的容量小于第二预设值时，控制原液储液罐1向第一储液罐2内按预设配比补充清洗原液，且控制第一储液罐2按预设配比补充加水至清洗液的容量为第三预设值，以上这些控制过程都是通过控制器实现的。

另外，控制器还可以控制原液储液罐1内的清洗原液的补充，加热器7对第一储液罐2和第二储液罐3内的清洗液的加热温度也可以由控制器来控制，控制器还可以实现更多的控制功能，在此不再赘述。

如图1所示，在一种具体实施方式中，原液储液罐1和第一储液罐2之间可以连接有第一进液管41，原液储液罐1内的清洗原液通过第一进液管41进入第一储液罐2内；第一储液罐2和第二储液罐3之间连接有第二进液管42，第一储液罐2内的清洗液通过第二进液管42进入第二储液罐3内。

通过在原液储液罐1和第一储液罐2之间连接第一进液管41，原液储液罐1内的清洗原液经过第一进液管41进入第一储液罐2内，同样的，通过在第一储液罐2和第二储液罐3之间连接第二进液管42，第一储液罐2内已经配制好的清洗液经过第二进液管42进入第二储液罐3内。可以理解的是，第一进液管41和第二进液管42上均可以设置有阀门，控制器通过控制阀门开启或关闭，以控制原液储液罐1和第一储液罐2之间的连通或断开或第一储液罐2和第二储液罐3之间的连通与断开，从而可控制原液储液罐1向第一储液罐2补充清洗原液，以及控制第一储液罐2向第二储液罐3补充清洗液。

如图1所示，在一种可能的实施方式中，第二储液罐3和基板清洗腔室9之间可以连接有第一排液管44，第二储液罐3内的清洗液可以通过第一排液管44进入基板清洗腔室9；第一储液罐2和基板清洗腔室9之间可以连接有第二排液管45，第一储液罐2内的清洗液可以通过第二排液管45进入基板清洗腔室9。

本实施例中，第一储液罐2内的清洗液输送至第二储液罐3，第二储液罐3用于向基板清洗腔室9提供清洗液，通过在第二储液罐3和基板清洗腔室9之间连接第一排液管44，第二储液罐3内的清洗液通过第一排液管44进入基板清洗腔室9，进而使基板清洗腔室9向基板表面喷洒清洗液，以对基板进行清洗。

另外，除了第一储液罐2向第二储液罐3输送清洗液，由第二储液罐3向基板清洗腔室9提供清洗液这种方式外，为了提高清洗液供给装置的使用灵活性，在第二储液罐3无法正常工作，或者希望将清洗液供给装置的工作模式调整为仅开启原液储液罐1和第一储液罐2等情况下，也可以在第一储液罐2内配制好清洗液后，直接由第一储液罐2向基板清洗腔室9提供清洗液，这样在第二储液罐3无法正常工作的情况下，清洗液供给装置依然可以正常工作，并且由于第二储液罐3不工作，可以相应减小清洗液供给装置工作浪费的能源。

具体的，如图1所示，将第二排液管45连接在第一储液罐2和基板清洗腔室9之间，第一储液罐2内的清洗液可以通过第二排液管45进入基板清洗腔室9，在第二储液罐3不工作的情况下，可以由第一储液罐2直接向基板清洗腔室9输送清洗液。

为了进一步提高清洗液供给装置的工作灵活性，使清洗液供给装置对清洗液的输送更有保障，在一种可能的实施方式中，原液储液罐1和第二储液罐3之间还可以连接有第三进液管43，原液储液罐1内的清洗原液通过第三进液管43进入第二储液罐3，第二储液罐3内按预设配比形成清洗液。

如图1所示，本实施例中，除了原液储液罐1向第一储液罐2输送清洗原液，在第一储液罐2内配制形成清洗液，再由第一储液罐2向第二储液罐3输送清洗液这种工作模式外，还可以由原液储液罐1直接向第二储液罐3输送清洗原液，并在第二储液罐3内配制形成清洗液，并且第二储液罐3将清洗液输送至基板清洗腔室9。其中，通过在原液储液罐1和第二储液罐3之间连接第三进液管43，通过控制器的控制，原液储液罐1内的清洗原液按预设配比输送至第二储液罐3，并在第二储液罐3内按预设配比稀释为浓度适宜的清洗液。

通过在原液储液罐1和第二储液罐3之间连接第三进液管43，使原液储液罐1内的清洗原液可直接进入第二储液罐3内，这样当第一储液罐2无法正常工作的情况下，可以使原液储液罐1直接向第二储液罐3输送清洗原液，并在第二储液罐3内配制清洗液并将清洗液输送至基板清洗腔室9。

这样原液储液罐1既可向第一储液罐2输送清洗原液，也可向第二储液罐3输送清洗原液，第一储液罐2和第二储液罐3均可配制清洗液，且第一储液罐2和第二储液罐3均可向基板清洗腔室9输送清洗液。那么清洗液供给装置既可以按照既定工作模式工作，即原液储液罐1向第一储液罐2输送清洗原液，第一储液罐2内配制形成清洗液并向第二储液罐3输送清洗液，第二储液罐3将清洗液输送至基板清洗腔室9；另外，在第一储液罐2或第二储液罐3无法正常工作的情况下，可以直接通过第二储液罐3或第一储液罐2配制并向基板清洗腔室9输送清洗液。因而可以保证在上述何种情况下，均能将清洗液输送至基板清洗腔室9，清洗液供给装置工作安全有保障。

如图1所示，第二储液罐3内同样设置有加热器7，该加热器7不仅可以维持清洗液在输送过程中的温度，并且在原液储液罐1向第二储液罐3内直接输送清洗原液，并在第二储液罐3内配制清洗液的情况下，在配制清洗液的过程中，加热器7为清洗液升温，以使输送至基板清洗腔室9的清洗液具有适宜的温度，保证清洗液对基板的清洗效果。

如图1所示，可选的，清洗液供给装置还可以包括储水箱5，储水箱5和第一储液罐2及第二储液罐3之间可以均连接有进水管51，储水箱5内储存的水可以按预设配比通过进水管51进入第一储液罐2及第二储液罐3内，第一储液罐2和第二储液罐3内进入的清洗原液和水可以按预设配比形成清洗液。

由于原液储液罐1既可向第一储液罐2输送清洗原液，也可向第二储液罐3输送清洗原液，第一储液罐2和第二储液罐3内均可以按预设配比配制清洗液，清洗原液被水稀释至合适比例形成清洗液，因而本实施例的清洗液供给装置还包括储水箱5，第一储液罐2和第二储液罐3上均连接有进水管51，进水管51均和储水箱5连接，这样储水箱5内的水可以通过进水管51进入第一储液罐2或第二储液罐3，进而在第一储液罐2或第二储液罐3内配制形成清洗液。

具体的，根据不同的工作模式，控制器可以控制储水箱5向第一储液罐2输送水，或储水箱5向第二储液罐3输送水，并且控制器可以控制储水箱5向第一储液罐2或第二储液罐3输送水的流量及时间，以使第一储液罐2或第二储液罐3内的清洗原液和水按预设配比混合均匀而形成清洗液。

如图1所以，为了精准的控制进入第一储液罐2和第二储液罐3内的清洗原液及水的流量，可选的，第一进液管41、第二进液管42、第三进液管43以及进水管51上可以均设置有流量计6。通过在第一进液管41和进水管51上设置流量计6，可以监测原液储液罐1进入第一储液罐2内的清洗原液的流量，进而控制进入第一储液罐2内的清洗原液的量，以使第一储液罐2内的清洗原液可按预设配比和水混合形成清洗液，同样的，通过在第三进液管43和进水管51上设置流量计6，可以确保第二储液罐3内的清洗原液可按预设配比和水混合形成清洗液。

通过在第二进液管42上设置流量计6，在控制器的控制下，可以使第一储液罐2向第二储液罐3内补充的清洗液的容量在合理的范围内，以避免第二储液罐3内的清洗液过少，且防止第二储液罐3内的清洗液过多。

示例性的，在第一进液管41、第二进液管42、第三进液管43以及进水管51上安装的流量计6可以为高精度流量计6，以精确监测清洗原液、清洗液以及水的流量，并且，流量计6可以监测一段时间内的流量，例如单次流过的流量，还可以记录总流量，即累计多次流过的总流量，本实施例对此不作限制。

另外，在第二储液罐3和基板清洗腔室9之间连接的第一排液管44及第一储液罐2和基板清洗腔室9之间连接的第二排液管45上也可以安装流量计6，以监测第二储液罐3及第一储液罐2向基板清洗腔室9输送清洗液的流量。

可选的，第一储液罐2和第二储液罐3内均设置有液位检测装置。在设置流量计6监测清洗原液、清洗液及水的流量的基础上，本实施例中，在第一储液罐2和第二储液罐3内还可以设置液位检测装置，通过监测流量，并通过监测第一储液罐2和第二储液罐3内的液位情况，可以确保第一储液罐2或第二储液罐3内配制形成浓度符合要求的清洗液，并且可以实时监测第一储液罐2及第二储液罐3内的清洗液的容量，以保证在第一储液罐2内和第二储液罐3内具有足够的清洗液，并在第一储液罐2或第二储液罐3内的清洗液容量不足的情况下，及时控制第一储液罐2向第二储液罐3输送清洗液，原液储液罐1向第一储液罐2或第二储液罐3输送清洗原液。

需要说明的是，本实施例中，可以在原液储液罐1内也设置液位检测装置，这样可以及时获知原液储液罐1内储存的清洗原液的液位高低，以便在原液储液罐1内的清洗原液的容量过少时，及时向原液储液罐1内补充清洗原液。

另外，在第一进液管41、第二进液管42及第三进液管43上还可以安装有水泵8，以通过水泵8提高输送清洗原液及清洗液时的压力，以确保清洗原液及清洗液可以顺利输送至第一储液罐2或第二储液罐3，并且可以保证清洗液和清洗原液在管道内的流速。

本实施例提供的清洗液供给装置，用于向基板清洗腔室提供清洗液以对基板进行清洗，具体的，清洗液供给装置包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐用于储存清洗原液，且原液储液罐和第一储液罐连通，原液储液罐内的清洗原液可进入第一储液罐内，清洗原液进入第一储液罐后，在第一储液罐内可以按清洗液所要求的的预设配比形成清洗液，这样第一储液罐可作为接收清洗原液并配置、储存清洗液的储液罐，第一储液罐和第二储液罐之间相连通，第一储液罐内配制好的清洗液可进入第二储液罐，最终通过第二储液罐向基板清洗腔室内喷洒清洗液。通过设置原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，在第二储液罐内的清洗液容量过低时，通过原液储液罐向第一储液罐内输送清洗原液，第一储液罐内形成清洗液并输送给第二储液罐，这样第二储液罐可以持续向基板清洗腔室输送清洗液，这样不会对清洗液造成浪费，可以降低清洗液的消耗量，同时可以提高基板的清洗效率。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种清洗液供给装置，其特征在于，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，所述原液储液罐和所述第一储液罐之间连通，所述第一储液罐和所述第二储液罐之间连通；其中，所述原液储液罐用于储存清洗原液，所述清洗原液进入所述第一储液罐且在所述第一储液罐内按预设配比形成清洗液，所述清洗液进入所述第二储液罐，且所述第二储液罐用于将所述清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。

2.根据权利要求1所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第二储液罐内的所述清洗液的容量小于第一预设值时，所述第一储液罐向所述第二储液罐内补充所述清洗液至容量为第二预设值；其中，所述第二预设值大于所述第一预设值。

3.根据权利要求2所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第一储液罐内的所述清洗液的容量小于所述第二预设值时，所述原液储液罐向所述第一储液罐内按预设配比补充所述清洗原液，所述第一储液罐内按预设配比形成所述清洗液且补充所述清洗液至容量为第三预设值；其中，所述第三预设值大于所述第二预设值。

4.根据权利要求1-3任一项所述的清洗液供给装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于控制所述第一储液罐向所述第二储液罐内补充所述清洗液，还用于控制所述原液储液罐向所述第一储液罐内补充清洗原液。

5.根据权利要求1-3任一项所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述原液储液罐和所述第一储液罐之间连接有第一进液管，所述原液储液罐内的清洗原液通过所述第一进液管进入所述第一储液罐内；所述第一储液罐和所述第二储液罐之间连接有第二进液管，所述第一储液罐内的清洗液通过所述第二进液管进入所述第二储液罐内。

6.根据权利要求5所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第二储液罐和所述基板清洗腔室之间连接有第一排液管，所述第二储液罐内的清洗液通过所述第一排液管进入所述基板清洗腔室；所述第一储液罐和所述基板清洗腔室之间连接有第二排液管，所述第一储液罐内的清洗液通过所述第二排液管进入所述基板清洗腔室。

7.根据权利要求5所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述原液储液罐和所述第二储液罐之间还连接有第三进液管，所述原液储液罐内的清洗原液通过所述第三进液管进入所述第二储液罐，所述第二储液罐内按预设配比形成所述清洗液。

8.根据权利要求7所述的清洗液供给装置，其特征在于，还包括储水箱，所述储水箱和所述第一储液罐及所述第二储液罐之间均连接有进水管，所述储水箱内储存的水按预设配比通过所述进水管进入所述第一储液罐及所述第二储液罐内，所述第一储液罐和所述第二储液罐内进入的所述清洗原液和水按预设配比形成所述清洗液。

9.根据权利要求8所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第一进液管、所述第二进液管、所述第三进液管以及所述进水管上均设置有流量计。

10.根据权利要求1-3任一项所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第一储液罐和所述第二储液罐内均设置有液位检测装置。

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