CN219581185U - 一种双Tank循环高效药液供给装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种双Tank循环高效药液供给装置,涉及玻璃基板清洗技术领域,包括喷淋室,喷淋室内设有喷淋管,喷淋管上设有若干对玻璃基板进行清洗的喷淋嘴,喷淋室外侧设有对喷淋管起到供液作用的A供液组件和B供液组件,A供液组件和B供液组件与喷淋管通过管路并联连接,该双Tank循环高效药液供给装置,构成A供液组件和B供液组件循环不间断供给液模式,减少更换药液时间,提高设备的利用率,提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃基板清洗技术领域,具体涉及一种双Tank循环高效药液供给装置。
背景技术
在现有的液晶面板行业中湿洗设备多使用化学药液用来去除玻璃基板表面的灰尘、有机物、等杂质。
目前湿洗设备多采用单Tank(药液罐)的循环药液供给方式,通过供水泵向喷淋室中的玻璃基板表面喷淋药液。
然而现有的单Tank(药液罐)的循环药液供给方式存在Tank(药液罐)中的药液在使用一段时间后,需要关闭供水泵并使得Tank(药液罐)更换新的药液,即打开排液自动阀排出废液再重新配置新的药液,以及重新启动Tank中的加热器加热药液,Tank在更换药液重新加热这一过程设备无法作业影响设备产能,更换药液时间长,生产效率低的问题。
发明内容
为克服现有技术的不足,本实用新型提出一种双Tank循环高效药液供给装置,包括喷淋室,所述喷淋室内设有喷淋管,所述喷淋管上设有若干对玻璃基板进行清洗的喷淋嘴,所述喷淋室外侧设有对喷淋管起到供液作用的A供液组件和B供液组件,所述A供液组件和B供液组件与喷淋管通过管路并联连接。
为实现上述目的,A供液组件或B供液组件内的药液进入喷淋管内,并通过喷淋嘴排出,对玻璃基板进行清洗,通过A供液组件和B供液组件与喷淋管通过管路并联连接,A供液组件和B供液组件形成一用一备结构,在A供液组件需要更换药液时,使用B供液组件,当B供液组件需要更换药液时,使用A供液组件,构成A供液组件和B供液组件循环不间断供给液模式,减少更换药液时间,提高设备的利用率,提高生产效率。
进一步地,还包括药液泵,所述药液泵的进水口有两个,所述A供液组件包括第一Tank,所述B供液组件包括第二Tank,所述第一Tank和第二Tank的出水口分别通过管路与药液泵的进水口连通,所述药液泵的出水管与喷淋管连通。
通过上述技术方案,使用第一Tank时,通过药液泵的作用,第一Tank内的药液通过药液泵进入喷淋管内,第二Tank内的药液不进入喷淋管内,当第一Tank需要更换药液时,通过药液泵的作用使得第二Tank内的药液进入喷淋管内,第一Tank内的药液不再进入喷淋管内,形成了第一Tank和第二Tank循环不间断供给液模式。
进一步地,所述第一Tank和第二Tank上均设有三个进液口,所述第一Tank和第二Tank的第一个进液口与药液供应罐的出水口分别通过管路连通,所述第一Tank和第二Tank的第二个进液口与纯水供应罐的出水口分别通过管路连通,所述喷淋室的出水管与第一Tank以及第二Tank的第三个进液口分别通过管路连通。
通过上述技术方案,通过药液供应罐的作用分别向第一Tank和第二Tank供给药液,通过纯水供应罐的作用分别向第一Tank和第二Tank供给纯水,通过药液供应罐和纯水供应罐的配合,便于配置第一Tank和第二Tank内药液,且喷淋室内清洗玻璃基板留下的药液回流至第一Tank或第二Tank内,维持第一Tank和第二Tank内药液浓度稳定,减少因第一Tank和第二Tank清洗玻璃基板后药液浓度降低导致洗净效果不可控的可能性。
进一步地,所述第一Tank和第二Tank上还设有一个出水口,所述第一Tank上另一出水口与A药液排放罐的进水口通过管路连通,所述第二Tank上另一出水口与B药液排放罐的进水口通过管路连通。
通过上述技术方案,当第一Tank和第二Tank内药液清洗一定数量的玻璃基板后,将第一Tank和第二Tank内药液分别排放至A药液排放罐和B药液排放罐内,以便于清空第一Tank和第二Tank,进而便于再次配置药液。
进一步地,所述第一Tank和第二Tank上均设有温度传感器、加热器、浓度计和液位传感器。
通过上述技术方案,通过在第一Tank和第二Tank上设置加热器,便于将第一Tank和第二Tank内药液加热到设定温度,通过在第一Tank和第二Tank上设置温度传感器,便于检测第一Tank和第二Tank内药液温度,也便于确定药液温度是否达到设定值,通过在第一Tank和第二Tank上设置浓度计,便于检测第一Tank和第二Tank内药液浓度,维持第一Tank和第二Tank药液浓度稳定,减少药液浓度降低导致洗净效果不可控的可能性,通过在第一Tank和第二Tank上设有液位传感器,便于检测第一Tank和第二Tank内药液液位。
进一步地,所述第一Tank和药液泵的连通管路上、第二Tank和药液泵的连通管路上、喷淋室和第一Tank的连通管路上、喷淋室和第二Tank的连通管路上、药液供应罐和第一Tank的连通管路上、药液供应罐和第二Tank的连通管路上、纯水供应罐和第一Tank的连通管路上、纯水供应罐和第二Tank的连通管路上、A药液排放罐和第一Tank的连通管路上和B药液排放罐和第二Tank的连通管路上均设有自动阀,所述第一Tank和药液泵的连通管路上、第二Tank和药液泵的连通管路上、药液泵和喷淋室的连通管路上、纯水供应罐的出水管上、A药液排放罐和第一Tank的连通管路上、B药液排放罐和第二Tank的连通管路上均设有手动阀,所述药液泵与喷淋室的连通管路上设有流量计。
通过上述技术方案,通过自动阀和手动阀的设置,便于控制管路通断,通过设置流量计便于控制管路内药液流量大小。
综上所述,该双Tank循环高效药液供给装置具有以下有益效果:
(1)该双Tank循环高效药液供给装置,A供液组件或B供液组件内的药液进入喷淋管内,并通过喷淋嘴排出,对玻璃基板进行清洗,通过A供液组件和B供液组件与喷淋管通过管路并联连接,A供液组件和B供液组件形成一用一备结构,在A供液组件需要更换药液时,使用B供液组件,当B供液组件需要更换药液时,使用A供液组件,构成A供液组件和B供液组件循环不间断供给液模式,减少更换药液时间,提高设备的利用率,提高生产效率。
(2)该双Tank循环高效药液供给装置,当第一Tank上的浓度计检测到第一Tank内药液浓度不在标准范围内时,通过控制第一Tank和药液供应罐以及第一Tank和纯水供应罐之间连接管路上自动阀的通断来维持第一Tank内药液浓度,以维持玻璃基板的洗净效果,使设备洗净玻璃基板的质量可控,增加了设备的稳定性。
(3)该双Tank循环高效药液供给装置,通过设有对玻璃基板的数量起到计数作用的计数器以及记录清洗时间的计时器,控制第一Tank或第二Tank药液洗净玻璃的数量,减少药液浪费。
(4)该双Tank循环高效药液供给装置,通过浓度计、液位计、温度传感器的作用,便于工作人员检测第一Tank或第二Tank内部药液情况,减少工作人员工作量,减少人力成本。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步描写和阐述。
图1是本实用新型首选实施方式的结构示意图。
附图标记:1、喷淋室;101、喷淋管;102、喷淋嘴;2、玻璃基板;3、第一Tank;4、第二Tank;5、药液泵;6、药液供应罐;7、纯水供应罐;8、温度传感器;9、加热器;10、浓度计;11、液位传感器;12、A药液排放罐;13、B药液排放罐;14、自动阀;15、手动阀;16、流量计。
具体实施方式
下面将结合附图、通过对本实用新型的优选实施方式的描述,更加清楚、完整地阐述本实用新型的技术方案。
如图1所示,本实用新型首选实施方式的一种双Tank循环高效药液供给装置,包括喷淋室1,喷淋室1内设有喷淋管101,喷淋管101上设有若干对玻璃基板2进行清洗的喷淋嘴102,喷淋室1外侧设有对喷淋管101起到供液作用的A供液组件和B供液组件,A供液组件和B供液组件与喷淋管101通过管路并联连接,A供液组件或B供液组件内的药液进入喷淋管101内,并通过喷淋嘴102排出,对玻璃基板2进行清洗,通过A供液组件和B供液组件与喷淋管101通过管路并联连接,A供液组件和B供液组件形成一用一备结构,在A供液组件需要更换药液时,使用B供液组件,当B供液组件需要更换药液时,使用A供液组件,构成A供液组件和B供液组件循环不间断供给液模式,减少更换药液时间,提高设备的利用率,提高生产效率。
如图1,还包括药液泵5,药液泵5的进水口有两个,A供液组件包括第一Tank3,B供液组件包括第二Tank4,第一Tank3和第二Tank4的出水口分别通过管路与药液泵5的进水口连通,药液泵5的出水管与喷淋管101连通,使用第一Tank3时,通过药液泵5的作用,第一Tank3内的药液通过药液泵5进入喷淋管101内,第二Tank4内的药液不进入喷淋管101内,当第一Tank3需要更换药液时,通过药液泵5的作用使得第二Tank4内的药液进入喷淋管101内,第一Tank3内的药液不再进入喷淋管101内,形成了第一Tank3和第二Tank4循环不间断供给液模式。
如图1,为了便于维持第一Tank3和第二Tank4使用过程中药液浓度的稳定性,以便于维持玻璃基板2的清洁度,第一Tank3和第二Tank4上均设有三个进液口,第一Tank3和第二Tank4的第一个进液口与药液供应罐6的出水口分别通过管路连通,第一Tank3和第二Tank4的第二个进液口与纯水供应罐7的出水口分别通过管路连通,喷淋室1的出水管与第一Tank3以及第二Tank4的第三个进液口分别通过管路连通,通过药液供应罐6的作用分别向第一Tank3和第二Tank4供给药液,通过纯水供应罐7的作用分别向第一Tank3和第二Tank4供给纯水,通过药液供应罐6和纯水供应罐7的配合,便于配置第一Tank3和第二Tank4内药液,且喷淋室1内清洗玻璃基板2留下的药液回流至第一Tank3或第二Tank4内,维持第一Tank3和第二Tank4内药液浓度稳定,减少因第一Tank3和第二Tank4清洗玻璃基板2后药液浓度降低导致洗净效果不可控的可能性。
如图1,当第一Tank3或第二Tank4需要重新配置而排空废液时,第一Tank3和第二Tank4上还设有一个出水口,第一Tank3上另一出水口与A药液排放罐12的进水口通过管路连通,第二Tank4上另一出水口与B药液排放罐13的进水口通过管路连通,当第一Tank3和第二Tank4内药液清洗一定数量的玻璃基板2后,将第一Tank3和第二Tank4内药液分别排放至A药液排放罐12和B药液排放罐13内,以便于清空第一Tank3和第二Tank4,进而便于再次配置药液。
如图1,为了便于工作人员清楚了解第一Tank3和第二Tank4内药液的浓度、温度、液位等情况,第一Tank3和第二Tank4上均设有温度传感器8、加热器9、浓度计10和液位传感器11,通过在第一Tank3和第二Tank4上设置加热器9,便于将第一Tank3和第二Tank4内药液加热到设定温度,通过在第一Tank3和第二Tank4上设置温度传感器8,便于检测第一Tank3和第二Tank4内药液温度,也便于确定药液温度是否达到设定值,通过在第一Tank3和第二Tank4上设置浓度计10,便于检测第一Tank3和第二Tank4内药液浓度,维持第一Tank3和第二Tank4药液浓度稳定,减少药液浓度降低导致洗净效果不可控的可能性,通过在第一Tank3和第二Tank4上设有液位传感器11,便于检测第一Tank3和第二Tank4内药液液位。
如图1,为了控制该设备各个管路通断,第一Tank3和药液泵5的连通管路上、第二Tank4和药液泵5的连通管路上、喷淋室1和第一Tank3的连通管路上、喷淋室1和第二Tank4的连通管路上、药液供应罐6和第一Tank3的连通管路上、药液供应罐6和第二Tank4的连通管路上、纯水供应罐7和第一Tank3的连通管路上、纯水供应罐7和第二Tank4的连通管路上、A药液排放罐12和第一Tank3的连通管路上和B药液排放罐13和第二Tank4的连通管路上均设有自动阀14,第一Tank3和药液泵5的连通管路上、第二Tank4和药液泵5的连通管路上、药液泵5和喷淋室1的连通管路上、纯水供应罐7的出水管上、A药液排放罐12和第一Tank3的连通管路上、B药液排放罐13和第二Tank4的连通管路上均设有手动阀15,药液泵5与喷淋室1的连通管路上设有流量计16,通过自动阀14和手动阀15的设置,便于控制管路通断,通过设置流量计16便于控制管路内药液流量大小。
使用时,接通电源,打开开关,喷淋室1上设有主控模块和与主控模块电信连接的显示屏,喷淋室1内还设有对玻璃基板2的数量起到计数作用的计数器以及记录清洗时间的计时器,计数器和计时器均与主控模块电信连接,两个温度传感器8、加热器9、浓度计10、液位传感器11以及若干自动阀14均与主控模块电信连接,显示屏上可以看到清洗的玻璃基板2数量、清洗时间以及第一Tank3和第二Tank4的温度、液位、浓度;
接通电源后设置第一Tank3为主供应药源,设置第二Tank4为备用药源配置药液等待,通过主控模块设置工作时间、玻璃基板2的清洗数量以及浓度范围;
打开第一Tank3和药液泵5之间连通管路上的自动阀14,药液泵5以及喷淋室1和第一Tank3之间连通管路上的自动阀14,第一Tank3内的药液通过药液泵5的作用流入喷淋管101内,再通过喷淋嘴102流出,对玻璃基板2进行喷淋清洗,此时计时器开始计时,且喷淋室1内清洗玻璃基板2后的药液回流至第一Tank3内部,当第一Tank3上的浓度计10检测到第一Tank3内药液浓度不在标准范围内时,通过控制第一Tank3和药液供应罐6以及第一Tank3和纯水供应罐7之间连接管路上自动阀14的通断来维持第一Tank3内药液浓度,以维持玻璃基板2的洗净效果,使设备洗净玻璃基板的质量可控,增加了设备的稳定性;
当计时器检测到第一Tank3清洗时间到达预设值或计数器检测到玻璃基板2的清洗数量到达设定值时,控制第一Tank3和药液泵5之间连通管路上的自动阀14,使得第一Tank3和药液泵5之间管路关闭,第一Tank3不再向喷淋室1内供给药液,且五分钟后关闭喷淋室1和第一Tank3之间连通管路上的自动阀14,便于喷淋室1内药液以及管路中残留药液全部回流至第一Tank3内,之后打开第一Tank3和A药液排放罐12之间连通管路上自动阀14和手动阀15,便于排出第一Tank3内废液,排出废液后,打开药液供应罐6和第一Tank3之间连通管路上的自动阀14以及纯水供应罐7和第一Tank3之间连通管路上的自动阀14以及手动阀15,重新配置第一Tank3内药液;
同时清除喷淋室1上计数器、计时器数据;
在第一Tank3停止供液时,打开第二Tank4上的加热器9,对第二Tank4内药液进行加热,当喷淋室1内药液以及管路药液全部回流至第一Tank3内后,打开药液泵5和第二Tank4之间连通管路上的自动阀14,且此时第二Tank4内的药液通过药液泵5进入喷淋管101内,并且通过喷淋嘴102喷出,通过第二Tank4内药液热量对管路以及喷淋室1进行加热,当喷淋室1、喷淋管101、喷淋嘴102以及管路温度达到设定值后,重新开始工作,计时器和计数器打开,对玻璃基板2进行清洁;
当计时器检测到第二Tank4清洗时间到达预设值或计数器检测到玻璃基板2的清洗数量到达设定值时,使得第二Tank4和药液泵5之间管路关闭,第二Tank4不再供液,五分钟后关闭喷淋室1和第二Tank4之间连通管路上的自动阀14,便于喷淋室1内药液以及管路中残留药液全部回流至第二Tank4内,之后打开第二Tank4和B药液排放罐13之间连通管路上的自动阀14和手动阀15,便于排出第二Tank4内废液,排出废液后,打开药液供应罐6和第二Tank4之间连通管路上的自动阀14以及纯水供应罐7和第二Tank4之间连通管路上的自动阀14以及手动阀15,重新配置第二Tank4内药液;
同时清除喷淋室1上计数器、计时器数据;
在第二Tank4停止供液时,打开第一Tank3上的加热器9,对第一Tank3内药液进行加热,当喷淋室1内药液以及管路药液全部回流至第二Tank4内后,打开药液泵5和第一Tank3之间连通管路上的自动阀14,且此时第一Tank3内的药液通过药液泵5进入喷淋管101内,并且通过喷淋嘴102喷出,通过第一Tank3内药液热量对管路以及喷淋室1进行加热,当喷淋室1、喷淋管101、喷淋嘴102以及管路温度达到设定值后,重新开始工作,计时器和计数器打开,对玻璃基板2进行清洁,重复循环以上操作,减少更换药液的时间,减少设备的等待时间,从而提高设备清洗玻璃基板2的效率,减少药液浪费,提高经济效益;同时还可精准控制每张玻璃基板2的洗净效果,增加设备工艺可靠性;
并且喷淋室1上还设有警示灯,且警示灯与主控模块电信连接,当浓度计10检测到第一Tank3或第二Tank4内浓度异常时,警示灯亮起,便于工作人员了解第一Tank3和第二Tank4内药液的使用状态,减少工作人员的工作量,节约人工成本。
上述具体实施方式仅仅对本实用新型的优选实施方式进行描述,而并非对本实用新型的保护范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思和精神范畴的前提下,本领域的普通技术人员根据本实用新型所提供的文字描述、附图对本实用新型的技术方案所作出的各种变形、替代和改进,均应属于本实用新型的保护范畴。本实用新型的保护范围由权利要求确定。
Claims (6)
1.一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,包括喷淋室(1),所述喷淋室(1)内设有喷淋管(101),所述喷淋管(101)上设有若干对玻璃基板(2)进行清洗的喷淋嘴(102),所述喷淋室(1)外侧设有对喷淋管(101)起到供液作用的A供液组件和B供液组件,所述A供液组件和B供液组件与喷淋管(101)通过管路并联连接。
2.根据权利要求1所述的一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,还包括药液泵(5),所述药液泵(5)的进水口有两个,所述A供液组件包括第一Tank(3),所述B供液组件包括第二Tank(4),所述第一Tank(3)和第二Tank(4)的出水口分别通过管路与药液泵(5)的进水口连通,所述药液泵(5)的出水管与喷淋管(101)连通。
3.根据权利要求2所述的一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,所述第一Tank(3)和第二Tank(4)上均设有三个进液口,所述第一Tank(3)和第二Tank(4)的第一个进液口与药液供应罐(6)的出水口分别通过管路连通,所述第一Tank(3)和第二Tank(4)的第二个进液口与纯水供应罐(7)的出水口分别通过管路连通,所述喷淋室(1)的出水管与第一Tank(3)以及第二Tank(4)的第三个进液口分别通过管路连通。
4.根据权利要求3所述的一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,所述第一Tank(3)和第二Tank(4)上还设有一个出水口,所述第一Tank(3)上另一出水口与A药液排放罐(12)的进水口通过管路连通,所述第二Tank(4)上另一出水口与B药液排放罐(13)的进水口通过管路连通。
5.根据权利要求4所述的一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,所述第一Tank(3)和第二Tank(4)上均设有温度传感器(8)、加热器(9)、浓度计(10)和液位传感器(11)。
6.根据权利要求4所述的一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,所述第一Tank(3)和药液泵(5)的连通管路上、第二Tank(4)和药液泵(5)的连通管路上、喷淋室(1)和第一Tank(3)的连通管路上、喷淋室(1)和第二Tank(4)的连通管路上、药液供应罐(6)和第一Tank(3)的连通管路上、药液供应罐(6)和第二Tank(4)的连通管路上、纯水供应罐(7)和第一Tank(3)的连通管路上、纯水供应罐(7)和第二Tank(4)的连通管路上、A药液排放罐(12)和第一Tank(3)的连通管路上和B药液排放罐(13)和第二Tank(4)的连通管路上均设有自动阀(14),所述第一Tank(3)和药液泵(5)的连通管路上、第二Tank(4)和药液泵(5)的连通管路上、药液泵(5)和喷淋室(1)的连通管路上、纯水供应罐(7)的出水管上、A药液排放罐(12)和第一Tank(3)的连通管路上、B药液排放罐(13)和第二Tank(4)的连通管路上均设有手动阀(15),所述药液泵(5)与喷淋室(1)的连通管路上设有流量计(16)。
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