CN211402635U - 一种芯片的手动测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种芯片的手动测试装置,属于芯片测试技术领域。移动载台固定在工作台上,高度块固定在所述移动载台上,载物台位于高度块上,载物台上方设有探针卡安装架,所述探针卡安装架固定在Z向微调滑块上,所述Z向微调滑块滑动连接在Z向微调滑轨上,Z向微调滑轨位于Z向滑块上,所述Z向滑块滑动连接于Z向导轨上,Z向导轨位于Z向支架上,所述Z向支架上还设有千分尺,千分尺连接Z向微调滑块,Z向滑块底部连接限位板,所述限位板底部设有Z向限位柱,凸轮固定在旋转驱动杆上,所述旋转驱动杆两端贯穿所述Z向支架,所述旋转驱动杆两端连接Z向升降摇杆。本实用新型的有益效果是:结构简易,容易操作,成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种芯片的手动测试装置,属于芯片测试技术领域。
背景技术
规模生产芯片的厂家一般都有自动芯片测试机(ATE:Auto Test Equipment),但是这种设备价格昂贵,作为研究开发机构的科学院所无法承担,并且用途也不大,相反,这些机构一般更需要一种简易,低价格的手动测试装置。
实用新型内容
为解决现有技术存在的缺陷,本实用新型的目的是提供一种简易且造价低的芯片的手动测试装置。
本实用新型的技术方案是:一种芯片的手动测试装置,移动载台固定在工作台上,高度块固定在所述移动载台上,载物台位于高度块上,载物台上方设有探针卡安装架,所述探针卡安装架固定在Z向微调滑块上,所述Z向微调滑块滑动连接在Z向微调滑轨上,Z向微调滑轨位于Z向滑块上,所述Z向滑块滑动连接于Z向导轨上,Z向导轨位于Z向支架上,所述Z向支架上还设有千分尺,千分尺连接Z向微调滑块,Z向滑块底部连接限位板,所述限位板底部设有Z向限位柱,Z向限位柱通过安装板固定在Z向支架上,连杆顶端转动连接所述限位板,连杆底端转动连接凸轮,所述凸轮固定在旋转驱动杆上,所述旋转驱动杆两端贯穿所述Z向支架,所述旋转驱动杆两端连接Z向升降摇杆。
所述移动载台为XYθ移动载台。
所述安装板上还设有缓冲器,所述缓冲器顶端高于Z向限位柱。
所述探针卡安装架上设有用于固定探针卡的压板,压板通过压紧螺栓安装于探针卡安装架上。
本实用新型的有益效果是:结构简易,容易操作,成本低。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的主视图;
图3为本实用新型的侧视图。
图中附图标记如下:1、工作台,2、Z向升降摇杆,3、连杆,4、Z向限位柱,5、缓冲器,6、Z向滑块,7、Z向支架,8、Z向导轨,9、Z向微调滑轨,10、千分尺,11、Z向微调滑块,12、探针卡安装架,13、探针卡,14、载物台,15、高度块,16、移动载台,17、限位板,18、凸轮,19、旋转驱动杆,20、压板,21、压紧螺栓。
具体实施方式
下面结合附图1-3对本实用新型做进一步说明:
一种芯片的手动测试装置,移动载台16固定在工作台1上,高度块15固定在所述移动载台16上,载物台14位于高度块15上,载物台14上方设有探针卡安装架12,所述探针卡安装架12固定在Z向微调滑块11上,所述Z向微调滑块11滑动连接在Z向微调滑轨9上,Z向微调滑轨9位于Z向滑块6上,所述Z向滑块6滑动连接于Z向导轨8上,Z向导轨8位于Z向支架7上,所述Z向支架7上还设有千分尺10,千分尺10连接Z向微调滑块11,Z向滑块6底部连接限位板17,所述限位板17底部设有Z向限位柱4,Z向限位柱4通过安装板固定在Z向支架7上,连杆3顶端转动连接所述限位板17,连杆3底端转动连接凸轮18,所述凸轮18固定在旋转驱动杆19上,所述旋转驱动杆19两端贯穿所述Z向支架7,所述旋转驱动杆19两端连接Z向升降摇杆2。所述移动载台16为XYθ移动载台。所述安装板上还设有缓冲器5,所述缓冲器5顶端高于Z向限位柱4。所述探针卡安装架12上设有用于固定探针卡13的压板20,压板20通过压紧螺栓21安装于探针卡安装架12上。
本实用新型的工作过程为:
推动Z向升降摇杆2,通过凸轮18和连杆3带动Z向滑块6以及探针卡安装架12向上移动,凸轮18向上转动到极限位置后,贴靠在Z向支架7表面上,探针卡安装架12停止在高位,将待检测制品放到载物台14上,然后拉动Z向升降摇杆2,使针卡安装架12带动探针卡向下移动,限位板17与缓冲器5接触,经缓冲器5的缓冲后,限位板17再与Z向限位柱4接触,调节Z向限位柱4,使探针卡13与待检测制品微接触,然后调节XYθ移动载台,从而调节探针卡13与待检测制品的相对位置,然后启动与探针卡连接的测试箱按键,进行测定,测定完毕后,推起Z向升降摇杆2,使探针卡13升起,更换下一个待检测制品,进入一下检测循环。
关于XYθ移动载台,现有技术已公开相关技术方案,本申请不再赘述其具体结构。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种芯片的手动测试装置,其特征在于,移动载台(16)固定在工作台(1)上,高度块(15)固定在所述移动载台(16)上,载物台(14)位于高度块(15)上,载物台(14)上方设有探针卡安装架(12),所述探针卡安装架(12)固定在Z向微调滑块(11)上,所述Z向微调滑块(11)滑动连接在Z向微调滑轨(9)上,Z向微调滑轨(9)位于Z向滑块(6)上,所述Z向滑块(6)滑动连接于Z向导轨(8)上,Z向导轨(8)位于Z向支架(7)上,所述Z向支架(7)上还设有千分尺(10),千分尺(10)连接Z向微调滑块(11),Z向滑块(6)底部连接限位板(17),所述限位板(17)底部设有Z向限位柱(4),Z向限位柱(4)通过安装板固定在Z向支架(7)上,连杆(3)顶端转动连接所述限位板(17),连杆(3)底端转动连接凸轮(18),所述凸轮(18)固定在旋转驱动杆(19)上,所述旋转驱动杆(19)两端贯穿所述Z向支架(7),所述旋转驱动杆(19)两端连接Z向升降摇杆(2)。
2.根据权利要求1所述的芯片的手动测试装置,其特征在于,所述移动载台(16)为XYθ移动载台。
3.根据权利要求1所述的芯片的手动测试装置,其特征在于,所述安装板上还设有缓冲器(5),所述缓冲器(5)顶端高于Z向限位柱(4)。
4.根据权利要求1所述的芯片的手动测试装置,其特征在于,所述探针卡安装架(12)上设有用于固定探针卡(13)的压板(20),压板(20)通过压紧螺栓(21)安装于探针卡安装架(12)上。
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2019
- 2019-12-23 CN CN201922332539.8U patent/CN211402635U/zh active Active
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