CN211402478U - 2dmems探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构，所述测试装置包括设备本体、工作台、支撑柱、滚轮、气动结构和调节结构，气动结构包括气缸、复位弹簧、导向柱和导向孔；调节结构包括推块、通槽、固定块、夹紧弹簧和安装腔。气缸工作能带动安装块在水平方向上运动，以此来调节两个固定块之间的距离，从而根据探针卡的尺寸来进行调整，扩大了使用范围，且气缸工作时，会使得复位弹簧被压缩，在复位弹簧的反作用力下能够使得安装块快速复位；可直接将探针卡卡合在两个固定块之间，此时固定块会向安装腔内部运动，使得夹紧弹簧被压缩，在探针卡的端面卡合在固定槽内部时，夹紧弹簧的反作用可将探针卡进行夹持固定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种探针卡测试装置，具体是一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构，属于探针卡应用技术领域。
背景技术
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试；将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。
在现有技术中，探针卡测试装置在使用时需要对探针卡进行固定，现有的固定结构的通用性不足，不能够根据探针卡的尺寸进行灵活使用，且目前的固定结构在安装与拆卸探测卡时都较为麻烦，工作效率较低。因此，针对上述问题提出一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种2DMEMS探针卡用测试装置及其气动结构和调节结构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种2DMEMS探针卡用测试装置，包括从上到下依次安装的设备本体、安装架、气动结构、安装块、调节结构、支撑柱和滚轮；
所述气动结构包括气缸、导向柱和导向孔，所述导向孔开设在所述安装架的两端端面，所述导向柱贯穿所述导向孔，且所述导向柱的末端与所述安装块的外侧侧面固接；所述安装架的外侧设有复位弹簧，且所述复位弹簧套接于所述导向柱表面；所述气缸固接在所述安装架的外端面，所述气缸的输出杆末端贯穿所述安装架的外端面，且所述气缸的输出杆末端与所述安装块的外侧侧面固接；
所述调节结构包括推块、通槽、固定块和安装腔，所述安装腔开设在所述安装块的内部，所述固定块一侧卡合在所述安装腔内部，且所述固定块一侧与所述安装腔内侧壁之间固接有夹紧弹簧；所述通槽开设在所述安装块顶端，所述推块卡合在所述通槽内部，且所述推块底端与所述固定块顶端固接。
优选的，所述安装架的底端开有安装孔，且四个所述安装架呈矩阵分布在所述安装架底端。
优选的，所述设备本体的顶端设有工作台，且所述安装通过螺栓所述工作台固定连接。
优选的，所述设备本体的底端固接有所述支撑柱，且所述滚轮与所述支撑柱底端转动连接。
优选的，所述固定块的数目为两个，对称分布在所述安装架内部，且所述固定块的外侧侧面开有固定槽。
优选的，所述通槽的内侧壁上开有导向槽，所述推块的两侧侧面均固接有导向块，且所述导向块与所述导向槽滑动连接。
一种2DMEMS探针卡用测试装置用气动结构，包括气缸、导向柱和导向孔，所述导向孔开设在所述安装架的两端端面，所述导向柱贯穿所述导向孔，且所述导向柱的末端与所述安装块的外侧侧面固接；所述安装架的外侧设有复位弹簧，且所述复位弹簧套接于所述导向柱表面；所述气缸固接在所述安装架的外端面，所述气缸的输出杆末端贯穿所述安装架的外端面，且所述气缸的输出杆末端与所述安装块的外侧侧面固接。
一种2DMEMS探针卡用测试装置用调节结构，包括推块、通槽、固定块和安装腔，所述安装腔开设在所述安装块的内部，所述固定块一侧卡合在所述安装腔内部，且所述固定块一侧与所述安装腔内侧壁之间固接有夹紧弹簧；所述通槽开设在所述安装块顶端，所述推块卡合在所述通槽内部，且所述推块底端与所述固定块顶端固接。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型可通过气缸工作来带动安装块在水平方向上运动，以此来调节两个固定块之间的距离，从而根据探针卡的尺寸来进行调整，扩大了使用范围，且气缸工作时，会使得复位弹簧被压缩，在复位弹簧的反作用力下能够使得安装块快速复位；
2、本实用新型可直接将探针卡卡合在两个固定块之间，此时固定块会向安装腔内部运动，使得夹紧弹簧被压缩，在探针卡的端面卡合在固定槽内部时，夹紧弹簧的反作用可将探针卡进行夹持固定，在拆卸探针卡时，可直接推动推块，将其进行拆卸，使用时较为简单。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型安装架内部结构示意图；
图3为本实用新型气动结构示意图；
图4为本实用新型调节结构示意图。
图中：1、设备本体，2、安装架，3、安装块，4、气缸，5、导向柱，6、复位弹簧，7、推块，8、通槽，9、导向槽，10、固定块，11、固定槽，12、安装孔，13、导向孔，14、安装腔，15、夹紧弹簧，16、导向块，17、工作台，18、支撑柱，19、滚轮。
具体实施方式
为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
具体实施例一
请参阅图1-4所示，一种2DMEMS探针卡用测试装置，包括从上到下依次安装的设备本体1、安装架2、气动结构、安装块3、调节结构、支撑柱18和滚轮19；
所述气动结构包括气缸4、导向柱5和导向孔13，所述导向孔13开设在所述安装架2的两端端面，所述导向柱5贯穿所述导向孔13，且所述导向柱5的末端与所述安装块3的外侧侧面固接；所述安装架2的外侧设有复位弹簧6，且所述复位弹簧6套接于所述导向柱5表面；所述气缸4固接在所述安装架2的外端面，所述气缸4的输出杆末端贯穿所述安装架2的外端面，且所述气缸4的输出杆末端与所述安装块3的外侧侧面固接；
所述调节结构包括推块7、通槽8、固定块10和安装腔14，所述安装腔14开设在所述安装块3的内部，所述固定块10一侧卡合在所述安装腔14内部，且所述固定块10一侧与所述安装腔14内侧壁之间固接有夹紧弹簧15；所述通槽8开设在所述安装块3顶端，所述推块7卡合在所述通槽8内部，且所述推块7底端与所述固定块10顶端固接。
所述安装架2的底端开有安装孔12，且四个所述安装架2呈矩阵分布在所述安装架2底端，便于所述安装架2的安装；所述设备本体1的顶端设有工作台17，且所述安装通过螺栓所述工作台17固定连接，便于所述工作台17顶端结构的安装；所述设备本体1的底端固接有所述支撑柱18，且所述滚轮19与所述支撑柱18底端转动连接，通过所述滚轮19可对本装置进行移动；所述固定块10的数目为两个，对称分布在所述安装架2内部，且所述固定块10的外侧侧面开有固定槽11，便于将探针卡固定在两个所述固定块10之间；所述通槽8的内侧壁上开有导向槽9，所述推块7的两侧侧面均固接有导向块16，且所述导向块16与所述导向槽9滑动连接，推动所述推块7时，所述导向块16起到了导向与限位作用。
本实用新型在使用时，首先通过安装孔12可将安装架2固定在工作台17表面上，再使得气缸4工作，气缸4工作会带动安装块3在水平方向上运动，以此来调节两个固定块10之间的距离，根据探针卡的尺寸来进行调整，扩大了使用范围，在气缸4工作的同时，导向柱5会顺着导向孔13活动，使得复位弹簧6被压缩，再在复位弹簧6的反作用力下能够使得安装块3快速复位；
然后在固定探针卡时，可直接将探针卡卡合在两个固定块10之间，此时固定块10会向安装腔14内部运动，使得夹紧弹簧15被压缩，当探针卡的端面卡合在固定槽11内部时，在夹紧弹簧15的反作用可将探针卡进行夹持固定；在拆卸探针卡时，可直接推动推块7，推块7会带动固定块10顺着导向槽9运动，从而将探针卡进行拆卸，拆装时都较为简单。
具体实施例二
以下实施例是本申请探针卡用测试装置用气动结构的实施例。
所述气动结构包括气缸4、导向柱5和导向孔13，所述导向孔13开设在所述安装架2的两端端面，所述导向柱5贯穿所述导向孔13，且所述导向柱5的末端与所述安装块3的外侧侧面固接；所述安装架2的外侧设有复位弹簧6，且所述复位弹簧6套接于所述导向柱5表面；所述气缸4固接在所述安装架2的外端面，所述气缸4的输出杆末端贯穿所述安装架2的外端面，且所述气缸4的输出杆末端与所述安装块3的外侧侧面固接。
具体实施例三
以下实施例是本申请探针卡用测试装置用调节结构的实施例。
所述调节结构包括推块7、通槽8、固定块10和安装腔14，所述安装腔14开设在所述安装块3的内部，所述固定块10一侧卡合在所述安装腔14内部，且所述固定块10一侧与所述安装腔14内侧壁之间固接有夹紧弹簧15；所述通槽8开设在所述安装块3顶端，所述推块7卡合在所述通槽8内部，且所述推块7底端与所述固定块10顶端固接。
需要说明的是，本申请涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (8)
1.一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的设备本体（1）、安装架（2）、气动结构、安装块（3）、调节结构、支撑柱（18）和滚轮（19）；
所述气动结构包括气缸（4）、导向柱（5）和导向孔（13），所述导向孔（13）开设在所述安装架（2）的两端端面，所述导向柱（5）贯穿所述导向孔（13），且所述导向柱（5）的末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；所述安装架（2）的外侧设有复位弹簧（6），且所述复位弹簧（6）套接于所述导向柱（5）表面；所述气缸（4）固接在所述安装架（2）的外端面，所述气缸（4）的输出杆末端贯穿所述安装架（2）的外端面，且所述气缸（4）的输出杆末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；
所述调节结构包括推块（7）、通槽（8）、固定块（10）和安装腔（14），所述安装腔（14）开设在所述安装块（3）的内部，所述固定块（10）一侧卡合在所述安装腔（14）内部，且所述固定块（10）一侧与所述安装腔（14）内侧壁之间固接有夹紧弹簧（15）；所述通槽（8）开设在所述安装块（3）顶端，所述推块（7）卡合在所述通槽（8）内部，且所述推块（7）底端与所述固定块（10）顶端固接。
2.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述安装架（2）的底端开有安装孔（12），且四个所述安装架（2）呈矩阵分布在所述安装架（2）底端。
3.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述设备本体（1）的顶端设有工作台（17），且所述安装通过螺栓所述工作台（17）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述设备本体（1）的底端固接有所述支撑柱（18），且所述滚轮（19）与所述支撑柱（18）底端转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述固定块（10）的数目为两个，对称分布在所述安装架（2）内部，且所述固定块（10）的外侧侧面开有固定槽（11）。
6.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用测试装置，其特征在于：所述通槽（8）的内侧壁上开有导向槽（9），所述推块（7）的两侧侧面均固接有导向块（16），且所述导向块（16）与所述导向槽（9）滑动连接。
7.一种2DMEMS探针卡用测试装置用气动结构，其特征在于：包括气缸（4）、导向柱（5）和导向孔（13），所述导向孔（13）开设在所述安装架（2）的两端端面，所述导向柱（5）贯穿所述导向孔（13），且所述导向柱（5）的末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接；所述安装架（2）的外侧设有复位弹簧（6），且所述复位弹簧（6）套接于所述导向柱（5）表面；所述气缸（4）固接在所述安装架（2）的外端面，所述气缸（4）的输出杆末端贯穿所述安装架（2）的外端面，且所述气缸（4）的输出杆末端与所述安装块（3）的外侧侧面固接。
8.一种2DMEMS探针卡用测试装置用调节结构，其特征在于：包括推块（7）、通槽（8）、固定块（10）和安装腔（14），所述安装腔（14）开设在所述安装块（3）的内部，所述固定块（10）一侧卡合在所述安装腔（14）内部，且所述固定块（10）一侧与所述安装腔（14）内侧壁之间固接有夹紧弹簧（15）；所述通槽（8）开设在所述安装块（3）顶端，所述推块（7）卡合在所述通槽（8）内部，且所述推块（7）底端与所述固定块（10）顶端固接。
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|---|---|---|---|---|
| CN112320270A (zh) * | 2020-11-03 | 2021-02-05 | 电子科技大学中山学院 | 大型机械加工用通用型辅助上料装置及其关键机构 |
| CN114654393A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-24 | 常州荣玖机械有限公司 | 一种用于拼装圆形膜片式夹紧气缸的快速工装装置 |
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| CN112320270B (zh) * | 2020-11-03 | 2021-11-19 | 电子科技大学中山学院 | 大型机械加工用通用型辅助上料装置 |
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| CN114654393B (zh) * | 2022-03-07 | 2023-08-18 | 常州荣玖机械有限公司 | 一种用于拼装圆形膜片式夹紧气缸的快速工装装置 |
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Assignee: Strong half conductor (Shanghai) Co.,Ltd. Assignor: MAXONE SEMICONDUCTOR (SUZHOU) Co.,Ltd. Contract record no.: X2021320010005 Denomination of utility model: Test device for 2dmems probe card and its pneumatic structure and regulating structure Granted publication date: 20200901 License type: Common License Record date: 20210207 |
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