CN211402241U - 一种二次离子质谱仪测试用样品架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种二次离子质谱仪测试用样品架。样品架包括样品架基座、前挡片、背压块、固定螺丝和弹簧；前挡片开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片焊接在样品架基座上；背压块通过固定螺丝固定在样品架基座上，弹簧的上端置于背压块底部，下端压住装载后的样品，使样品与前挡片充分接触。本设计既能满足均匀装载多个样品，样品与样品架接触良好并导电均匀，又便于操作、不易损坏，从而解决了现有样品架存在的各种弊端。
Description
技术领域
本实用新型涉及专用测试样品架，尤其涉及一种二次离子质谱仪测试用样品架。该样品架适用于二次离子质谱仪测试装载样品时使用，特别适合大批量样品标准化测试。
背景技术
二次离子质谱仪是从国外引进的大型测试仪器，价格昂贵，是检测高纯半导体材料痕量杂质必不可少的工具，样品架是其关键的一个组件，关系到样品测试的准确性和均匀性。仪器引进时配备的样品架，前挡片机械强度不够，容易变形，造成电场不均匀，测试误差较大，而且耐磨性差；孔的大小、数量及均匀性都不适合均匀装载数量较多的样品；另外用来调节样品厚度和压力的弹簧太硬，压力大，经常导致前挡片脱焊；内六角固定螺丝采用不锈钢制成，易被磨损，使用次数多了就出现螺丝溢扣的现象；背面压块重量不够，通常还需要人为的再加上一定的压力才能将样品压紧，力度不可控，很容易压不实或力过大造成前挡片从基座脱焊。
发明内容
鉴于现有样品架存在的各种弊端，本实用新型提供一种二次离子质谱仪测试用样品架。新型的样品架旨在解决装载样品较少、测试结果重复性差、操作不便、易损坏等问题。
本实用新型为实现上述目的采用的技术方案是：一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述样品架包括样品架基座、前挡片、背压块、固定螺丝和弹簧；前挡片开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片焊接在样品架基座上；背压块通过固定螺丝固定在样品架基座上，弹簧的上端置于背压块底部，下端压住装载后的样品，使样品与前挡片充分接触。
本实用新型所述弹簧是采用磷铜丝制成的塔形弹簧。
本实用新型所述弹簧高度为4mm，圈数为三圈半。
本实用新型所述前挡片采用高纯钽片制成，钽片纯度达到99999以上。
本实用新型所述固定螺丝为内六角螺丝，采用钛合金材料制成。
本实用新型的有益效果是：本设计既能满足均匀装载多个样品，样品与样品架接触良好并导电均匀，又便于操作、不易损坏，从而解决了现有样品架存在的各种弊端。
附图说明
图1是本实用新型装配结构示意图；
图2是图1中样品架基座示意图；
图3是图1中前挡片开孔示意图；
图4是图1中弹簧示意图；
图5是图1中背压块示意图；
图6是图1中固定螺丝示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，一种二次离子质谱仪测试用样品架包括样品架基座1、前挡片2、背压块3、固定螺丝4和弹簧5；前挡片2开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片2焊接在样品架基座1上；背压块3通过固定螺丝4固定在样品架基座1上，弹簧5的上端置于背压块3底部，下端压住装载后的样品6，使样品6与前挡片2充分接触。
如图1至图6所示，本实用新型加工的具体步骤如下：
1、前挡片的设计与加工
a.前挡片采用高纯钽片制成，钽片纯度达到99999以上，以免在高纯材料测试中引入沾污。
b.前挡片设计开十个边长为4mm的正方形方孔，上下左右均对称分布，每个孔的排列如图3所示。且两孔之间的距离、孔与边缘的距离都足够大，装载后的所有样品与钽片均能充分接触，导电均匀性好且便于操作。
c.对开孔后的钽片进行热处理，使其机械性能大大增强，不易变形；对钽片进行抛光处理，粗糙度小于0.1um；对方孔边缘进行倒边处理，使电场过渡更加平缓。
2.将前挡板用焊接的方式固定在样品架基座上，焊接时采用合适的工作条件，使其焊接牢固且表面没有灼烧痕迹。样品架基座与现有基座保持一致。
3.样品装载时使用的弹簧采用磷铜丝制成塔形弹簧，高度为4mm，圈数为3圈半。无磁性，弹性适中，既能压紧样品、导电良好，又不至于弹力过大导致钽片从基座脱焊。
4.样品架背面圆形背压块用钽材料加工而成，重量比现有不锈钢材质的压块增加一倍多，压力正好与弹簧匹配。
5.样品架的固定螺丝为内六角固定螺丝，采用钛合金材料制成，不易磨损。
Claims (5)
1.一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述样品架包括样品架基座（1）、前挡片（2）、背压块（3）、固定螺丝（4）和弹簧（5）；前挡片（2）开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片（2）焊接在样品架基座（1）上；背压块（3）通过固定螺丝（4）固定在样品架基座（1）上，弹簧（5）的上端置于背压块（3）底部，下端压住装载后的样品（6），使样品（6）与前挡片（2）充分接触。
2.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述弹簧（5）是采用磷铜丝制成的塔形弹簧。
3.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述弹簧（5）高度为4mm，圈数为三圈半。
4.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述前挡片（2）采用高纯钽片制成，钽片纯度达到99999以上。
5.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述固定螺丝（4）为内六角螺丝，采用钛合金材料制成。
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| CN (1) | CN211402241U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112593285A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-02 | 苏州焜原光电有限公司 | 分子束外延系统中固定GaSb衬底的方法及样品架 |
| CN114724918A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-07-08 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种用于辉光放电质谱仪的样品装置及样品测试方法 |
-
2019
- 2019-12-10 CN CN201922198476.1U patent/CN211402241U/zh active Active
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