CN211367797U - 一种防止单晶掉落的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁上的吸盘，吸盘包括均匀设置的多个，吸盘连接有抽真空装置，吸盘通过气缸连接在副室侧壁上，吸盘为硅胶吸盘或橡胶吸盘。本实用新型的有益效果是：通过吸盘固定单晶硅棒，旋转副室取单晶时通过吸盘吸附固定单晶硅棒，避免晃动，产生磕碰情况，减少由于外力导致的裂纹位错的产生，提高产品入库率；另外可以避免单晶硅棒与副室的金属内壁接触，具有金属隔离的作用。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶制造设备领域，尤其是涉及一种防止单晶掉落的装置。
背景技术
随着单晶硅直径的增大，在单晶硅拉制完成后，取单晶的环节缺少有效的防护措施。随着单晶直径的增大，现有的取单晶防护装置未有效起到保护作用；现有的装置只是在副室的下沿安装了可以横插挡板的销桩，但是此装置只是防止单晶掉落后，掉不出副室，只是起到一个单晶掉落后阻碍单晶掉出副室防止事故进一步扩大的作用，并未在旋转副室过程中对单晶起到一个稳固的作用，来避免事故的发生。
由于大尺寸单晶硅的直径较大，在现有设备副室内径的情况下，单晶硅的外径距离副室内壁的距离越来越近，由此在旋转副室取单晶的过程中，单晶硅会由于惯性的作用，在启动的一瞬间会前后左右摆动，会与副室的内壁发生碰撞，从而导致细晶断裂，使单晶掉落，造成事故。
发明内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防止单晶掉落的装置。
本实用新型采用的技术方案是：一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁上的吸盘，吸盘包括均匀设置的多个。
优选地，吸盘通过气缸连接在副室侧壁上。
优选地，副室侧壁向内突出设有收纳法兰，收纳法兰上设有收纳槽，吸盘设置在收纳槽内。
优选地，吸盘连接有抽真空装置。
优选地，吸盘包括3-8个。
优选地，吸盘端面设有多个吸盘嘴，吸盘端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴均独立连接抽真空装置。
优选地，吸盘为橡胶吸盘。
本实用新型具有的优点和积极效果是：通过吸盘固定单晶硅棒，旋转副室取单晶时通过吸盘吸附固定单晶硅棒，避免晃动，产生磕碰情况，减少由于外力导致的裂纹位错的产生，提高产品入库率；另外可以避免单晶硅棒与副室的金属内壁接触，具有金属隔离的作用。
附图说明
图1是本实用新型一个实施例俯视截面示意图；
图2是本实用新型一个实施例局部结构示意图；
图3是本实用新型一个实施例吸盘结构示意图。
图中：
1、副室侧壁 11、收纳法兰 21、气缸
22、吸盘 23、吸盘嘴
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
如图1图2所示，本实用新型涉及一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁1上的吸盘22，能够吸附单晶硅棒，使其在副室移动或转动的过程中固定连接在副室内侧，避免出现晃动引起磕碰，影响单晶质量，为了全方位吸附单晶硅棒，吸盘22包括均匀设置的多个，优选为3-8个，等距等高设置在副室侧壁1上，保持单晶硅棒能够保持在副室中央。
副室侧壁1向内突出设有收纳法兰11，收纳法兰11上设有收纳槽，吸盘22设置在收纳槽内，拉晶过程中吸盘22收纳在收纳槽中，当需要移动副室时，吸盘22凸出收纳槽范围吸附在硅棒侧壁上；收纳法兰11直径大于单晶硅棒直径，避免影响拉晶过程；吸盘22连接有抽真空装置，如小型真空泵，拉晶过程中抽真空装置不工作，避免影响拉晶过程，当需要移动副室时，抽真空装置控制吸盘22吸附单晶硅棒，吸盘22为硅胶吸盘22或橡胶吸盘22，具有微小的形变功能；吸盘22通过气缸21连接在副室侧壁1上，能够通过气缸21的控制实现伸出和回缩的动作，以适应单晶硅棒拉晶过程和移动过程，具有固定作用的同时也避免影响拉晶过程。吸盘22端面设有多个吸盘嘴23，端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴23均独立连接抽真空装置，方便固定硅棒，当硅棒尺寸不同时，多个吸盘嘴23的设置能够避免硅棒尺寸不同导致的吸附效果不佳的情况。
实施例1：
一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁1上的吸盘22，吸盘22包括均匀设置的3个，等高副室侧壁1向内突出设有收纳法兰11，收纳法兰11包括上法兰和下法兰，上法兰和下法兰中间形成收纳槽，吸盘22设置在收纳槽内；吸盘22通过气缸21连接在副室侧壁1上的收纳槽内，吸盘22连接有抽真空装置。吸盘22为橡胶吸盘22，如图3所示，吸盘22端面设有3*3个吸盘嘴23，中部的吸盘嘴23短于外部的吸盘嘴23，使得吸盘22端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴23均独立连接抽真空装置。
实施例2：
一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁1上的吸盘22，吸盘22包括均匀设置的4个，副室侧壁1向内突出设有收纳法兰11，收纳法兰11上设有4个圆形的收纳槽，吸盘22设置在收纳槽内；吸盘22通过气缸21连接在副室侧壁1上的收纳槽内，吸盘22连接有抽真空装置。吸盘22为橡胶吸盘22，吸盘22端面设有多个吸盘嘴23，吸盘22端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴23均独立连接抽真空装置。
实施例3：
一种防止单晶掉落的装置，包括设置在副室侧壁1上的吸盘22，吸盘22包括均匀设置的6个，副室侧壁1向内突出设有收纳法兰11，收纳法兰11上设有收纳槽，吸盘22设置在收纳槽内；吸盘22通过气缸21连接在副室侧壁1上的收纳槽内，吸盘22连接有抽真空装置。吸盘22包括3-8个，吸盘22为橡胶吸盘22，吸盘22端面设有多个吸盘嘴23，吸盘22端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴23均独立连接抽真空装置。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种防止单晶掉落的装置，其特征在于：包括设置在副室侧壁上的吸盘，所述吸盘包括均匀设置的多个。
2.根据权利要求1所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘通过气缸连接在所述副室侧壁上。
3.根据权利要求2所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述副室侧壁向内突出设有收纳法兰，所述收纳法兰上设有收纳槽，所述吸盘设置在所述收纳槽内。
4.根据权利要求3所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘连接有抽真空装置。
5.根据权利要求1-3中任一所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘包括3-8个。
6.根据权利要求4所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘包括3-8个。
7.根据权利要求6所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘端面设有多个吸盘嘴，所述吸盘端面呈内陷的弧面，每个吸盘嘴均独立连接所述抽真空装置。
8.根据权利要求5所述的防止单晶掉落的装置，其特征在于：所述吸盘为橡胶吸盘。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921985788.0U CN211367797U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种防止单晶掉落的装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921985788.0U CN211367797U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种防止单晶掉落的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211367797U true CN211367797U (zh) | 2020-08-28 |
Family
ID=72170656
Family Applications (1)
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| CN201921985788.0U Active CN211367797U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种防止单晶掉落的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211367797U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112080795A (zh) * | 2020-09-16 | 2020-12-15 | 浙江晶阳机电股份有限公司 | 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉 |
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2019
- 2019-11-18 CN CN201921985788.0U patent/CN211367797U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112080795A (zh) * | 2020-09-16 | 2020-12-15 | 浙江晶阳机电股份有限公司 | 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉 |
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