CN112080795A - 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉 - Google Patents

一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉 Download PDF

Info

Publication number
CN112080795A
CN112080795A CN202010970707.0A CN202010970707A CN112080795A CN 112080795 A CN112080795 A CN 112080795A CN 202010970707 A CN202010970707 A CN 202010970707A CN 112080795 A CN112080795 A CN 112080795A
Authority
CN
China
Prior art keywords
crystal bar
crystal
clamping device
falling prevention
falling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010970707.0A
Other languages
English (en)
Inventor
杨金海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Jingyang Electromechanical Co ltd
Original Assignee
Zhejiang Jingyang Electromechanical Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Jingyang Electromechanical Co ltd filed Critical Zhejiang Jingyang Electromechanical Co ltd
Priority to CN202010970707.0A priority Critical patent/CN112080795A/zh
Publication of CN112080795A publication Critical patent/CN112080795A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/32—Seed holders, e.g. chucks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/20—Controlling or regulating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02—Elements
    • C30B29/06—Silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明提供了一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：上炉体或隔离阀；防晶棒掉落夹持装置，若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块，驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连，在驱动机构的驱动下，夹紧块沿着上炉体或者隔离阀轴线的方向伸缩。本发明具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。

Description

一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生 长炉
技术领域
本发明属于机械技术领域，涉及一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
现有技术中，在单晶硅拉制过程中，硅棒重量也在不断增加，会存在籽晶绳断裂，硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩埚内会到最后漏硅事故的发生，更甚者会造成重大财产损失和人员安全事故。
综上所述，为解决现有的单晶炉结构上的不足，本发明设计了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
发明内容
本发明为解决现有技术存在的问题，提供了一种机构简单、维护方便、可靠性高的防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
本发明的目的可通过以下技术方案来实现：
一种防晶棒掉落操作方法，包括下述步骤
S1单晶硅棒在副室内出现从籽晶处或籽晶绳断裂情况时，通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号；
S2防晶棒掉落夹持装置能瞬间启动并夹紧晶棒。
一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：
上炉体或隔离阀；
防晶棒掉落夹持装置，若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块，驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连，在驱动机构的驱动下，夹紧块沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。
作为本方案的进一步改进，夹紧块为弧形。
作为本方案的进一步改进，夹紧块的接触面上设有耐高温护垫。
作为本方案的进一步改进，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。
作为本方案的进一步改进，防晶棒掉落夹持装置设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构为气缸。
作为本方案的进一步改进，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器、用于感知晶棒重量信号的传感器、PLC控制器、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器、用于感知晶棒重量信号的传感器、PLC控制器连接及驱动机构相连。
作为本方案的进一步改进，还包括报警器，报警器与PLC控制器连接，PLC控制器根据位移信号和/或重量信号控制报警器报警。
与现有技术相比，本发明结构设计合理，有效的提高了晶棒掉落的快速反应，降低财产损失和人员伤亡，彻底解决了原技术作业产生的财产损失严重、人员伤亡的现象；再者，利用防晶棒掉落夹持装置实现了对硅棒掉落的快速应急处理，有效降低晶棒掉落砸坏石英坩埚造成的漏硅现象，及更严重的设备损坏和人员伤亡，同时，因为其投入少，为企业减少安全隐患，便于推广。
附图说明
图1是本发明带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉的结构示意图。
图2是本发明防晶棒掉落夹持装置的结构示意图。
图3是实施例中的防晶棒掉落控制系统和带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本发明的技术方案作进一步的阐述。
如图所示，
一种防晶棒掉落操作方法，包括下述步骤
S1单晶硅棒在副室内出现从籽晶处或籽晶绳41断裂情况时，通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号；
S2防晶棒掉落夹持装置20能瞬间启动并夹紧晶棒50。
本带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：
上炉体10或隔离阀；
防晶棒掉落夹持装置20，若干防晶棒掉落夹持装置20均匀设于上炉体10或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置20包括驱动机构21、夹紧块22，驱动机构21的输出轴通过连接杆23与夹紧块22相连，在驱动机构21的驱动下，夹紧块22沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。
现有技术中，在单晶硅拉制过程中，硅棒重量也在不断增加，会存在籽晶绳断裂，硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩埚内会到最后漏硅事故的发生，更甚者会造成重大财产损失和人员安全事故。
综上所述，为解决现有的单晶炉结构上的不足，本发明设计了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
为此，本发明设计了带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，特别是一种能够对晶棒进行夹持，适用于晶体生长炉，降低了晶棒掉落砸坏石英坩埚造成漏硅现象的风险。
工作时，在单晶投料越来越多时，单晶棒重量也越来越大时，就容易发生掉棒的安全事故。
在本实施例中，通过在上炉体10或隔离阀上设置防晶棒掉落夹持装置20，如若硅棒在上炉体10内出现从籽晶处或籽晶绳断裂情况时，防晶棒掉落夹持装置20夹紧晶棒，从而有效防止晶棒掉落石英坩埚，防止漏硅事故的发生。具体工作过程为：在驱动机构21的驱动下夹紧块22向上炉体或隔离阀轴线的方向伸出，夹紧块22对晶棒进行夹持。
作为进一步的优选实施例，夹紧块22为弧形。
在本实施例中，通过设置夹紧块22的形状为弧形，在晶棒掉落时，能够对晶棒进行有效的夹持，使用效果佳。
作为进一步的优选实施例，夹紧块22的接触面上设有耐高温护垫。
作为进一步的优选实施例，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。
在本实施例中，通过在夹紧块22的接触面上设有耐高温护垫，采用聚四氟乙烯材料，该材料耐高温且低磨耗。
作为进一步的优选实施例，防晶棒掉落夹持装置20设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构21为气缸。
在本实施例中，防晶棒掉落夹持装置20的数量至少为三组，气缸安装在上炉体或隔离阀的外侧，连接杆23的一端与气缸的输出轴相连，连接杆23的另一端与夹紧块22相连，由于上炉体的形状为圆柱形，通过设置三组夹持装置，夹紧块22的形状为弧形，能够更有效的对晶棒进行夹持，使用效果佳。
作为进一步的优选实施例，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器32、用于感知晶棒重量信号的传感器31、PLC控制器30、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器32、用于感知晶棒重量信号的传感器31、PLC控制器30连接及驱动机构21相连。
在本实施例中，在具体工作时，通过现有技术中的籽晶提升装置40对炉体中的晶棒50进行提升，具体的是通过籽晶绳41提拉晶棒50，用于感知晶棒位移信号的传感器32、用于感知晶棒重量信号的传感器31设置于籽晶绳41上，用于感知晶棒位移信号的传感器32、用于感知晶棒重量信号的传感器31与PLC控制器30相连，PLC控制器30通过传感器的位移信号和重量信号控制驱动机构21驱动夹紧块22的伸出，夹紧块22伸出，对掉落的晶棒50进行夹紧。
初始状态下，夹紧块22的夹紧面距离晶体表面约2～10mm安全距离；
防晶棒掉落控制系统，与现有技术相比，能够在当晶棒50掉落的时候，驱动机构通过电磁阀控制，快速反应，具体为：通过用于感知晶棒位移信号的传感器32、用于感知晶棒重量信号的传感器31、PLC控制器30、驱动机构21、夹紧块22和电源模块，PLC控制器30根据传感器的位移信号和重量信号控制驱动机构21驱动夹紧块22伸出，夹紧块22伸出夹紧掉落的晶棒50。
上述工作过程，有效的提高了晶棒掉落的快速反应，降低财产损失和人员伤亡，彻底解决了原技术作业产生的财产损失严重、人员伤亡的现象；再者，利用防晶棒掉落夹持装置20实现了对硅棒掉落的快速应急处理，有效降低晶棒掉落砸坏石英坩埚造成的漏硅现象，及更严重的设备损坏和人员伤亡，同时，因为其投入少，为企业减少安全隐患，便于推广。
作为进一步的优选实施例，还包括报警器60，报警器60与PLC控制器30连接，PLC控制器30根据位移信号和/或重量信号控制报警器60报警。
作为本发明的一种具体实施方式，还包括第一无线传输模块70，第一无线传输模块70与PLC控制器30连接，PLC控制器30通过第一无线传输模块70发送位移信号到现场工作人员的终端设备。通过第一无线传输模块发送位移信号和/或重量信号到现场工作人员的终端设备，提醒现场工作人员晶棒发生掉落。
作为进一步的优选实施例，报警器60为蜂鸣报警器、声光报警器、语音报警器的任意一种或多种。
在本实施例中，防晶棒掉落夹持装置20是单晶硅棒在副室内如果出现从籽晶处或籽晶绳41断裂情况时，防晶棒掉落夹持装置20能瞬间启动并夹紧晶棒50，防止晶棒50掉入埚内导致漏硅事故的发生，减少造成重大财产损失和人员安全事故；本实施例中设计防晶棒掉落夹持装置20承重能力约＞1000kg。防晶棒掉落夹持装置20的执行动作时间根据需求设计,夹持住通过环形钳中心以上的单晶硅棒；系统原理：通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号，执行机构采用高速响应气缸，采用三个驱动机构前端安装有夹紧块22，夹紧块22即半弧环形钳，气缸尾端有减振冲击弹簧，气缸安装设计成呈上斜角度设计，并有二路气动动作模式；一路慢动作，一路快动作，在晶棒没有通过环形钳时，三个环形钳气缸退到最大直径；晶体通过环形钳100mm以上后，慢动作开始缓慢收小环形钳，环形钳内壁离晶体表面约2～10mm安全距离时停上，并伺服在此状态；在称重传感器和位置传感器双重检测到掉晶棒时，另一路快速气路动作以高速动作执行夹持住晶体。
本带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉结构设计合理，防晶棒掉落夹持装置20夹紧晶棒，从而有效防止晶棒掉落石英坩埚，防止漏硅事故的发生，实用性好；减少晶棒拉晶的存在漏硅的风险。
本文中所描述的仅为本发明的优选实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此。本发明所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种防晶棒掉落操作方法，其特征在于，包括下述步骤
S1单晶硅棒在副室内出现从籽晶处或籽晶绳(41)断裂情况时，通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号；
S2防晶棒掉落夹持装置(20)能瞬间启动并夹紧晶棒(50)。
2.一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，包括：
上炉体(10)或隔离阀；
防晶棒掉落夹持装置(20)，若干防晶棒掉落夹持装置(20)均匀设于上炉体(10)或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置(20)包括驱动机构(21)、夹紧块(22)，驱动机构(21)的输出轴通过连接杆(23)与夹紧块(22)相连，在驱动机构(21)的驱动下，夹紧块(22)沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。
3.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)为弧形。
4.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)的接触面上设有耐高温护垫。
5.根据权利要求4所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。
6.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，防晶棒掉落夹持装置(20)设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构(21)为气缸。
7.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)连接及驱动机构(21)相连。
8.根据权利要求7所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括报警器(60)，报警器(60)与PLC控制器(30)连接，PLC控制器(30)根据位移信号和/或重量信号控制报警器(60)报警。
CN202010970707.0A 2020-09-16 2020-09-16 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉 Pending CN112080795A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010970707.0A CN112080795A (zh) 2020-09-16 2020-09-16 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010970707.0A CN112080795A (zh) 2020-09-16 2020-09-16 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112080795A true CN112080795A (zh) 2020-12-15

Family

ID=73736893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010970707.0A Pending CN112080795A (zh) 2020-09-16 2020-09-16 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112080795A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112853484A (zh) * 2020-12-31 2021-05-28 四川晶科能源有限公司 一种直拉单晶中掉棒的保护设备
CN112877769A (zh) * 2021-03-11 2021-06-01 邢台晶龙电子材料有限公司 一种单晶棒防坠落装置
CN116288653A (zh) * 2022-12-30 2023-06-23 四川高景太阳能科技有限公司 一种预防晶棒掉落装置
CN117144474A (zh) * 2023-08-31 2023-12-01 清电光伏科技有限公司 限位组件及具有其的单晶炉

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202440566U (zh) * 2012-01-31 2012-09-19 阿特斯(中国)投资有限公司 单晶炉内的单晶棒称重系统
CN203449296U (zh) * 2013-06-15 2014-02-26 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶硅棒存储装置
CN204550787U (zh) * 2015-03-11 2015-08-12 大连连城数控机器股份有限公司 高精度晶体提升装置
CN107523883A (zh) * 2016-06-22 2017-12-29 江苏拜尔特光电设备有限公司 新型防止晶棒掉落装置
CN208517574U (zh) * 2018-06-19 2019-02-19 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种防止晶棒掉落的保护装置
CN109440186A (zh) * 2018-12-17 2019-03-08 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶炉提拉头动态动平衡机构
CN208701249U (zh) * 2018-07-25 2019-04-05 浙江晶阳机电有限公司 一种单晶炉用称重装置
CN209014544U (zh) * 2018-09-23 2019-06-21 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶硅棒晶向检测装置
CN110004492A (zh) * 2019-04-25 2019-07-12 苏州新美光纳米科技有限公司 长晶炉内监测方法及长晶炉
CN209669394U (zh) * 2019-03-28 2019-11-22 晶科能源有限公司 一种直拉单晶炉
CN211367797U (zh) * 2019-11-18 2020-08-28 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种防止单晶掉落的装置
CN213596452U (zh) * 2020-09-16 2021-07-02 浙江晶阳机电股份有限公司 一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202440566U (zh) * 2012-01-31 2012-09-19 阿特斯(中国)投资有限公司 单晶炉内的单晶棒称重系统
CN203449296U (zh) * 2013-06-15 2014-02-26 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶硅棒存储装置
CN204550787U (zh) * 2015-03-11 2015-08-12 大连连城数控机器股份有限公司 高精度晶体提升装置
CN107523883A (zh) * 2016-06-22 2017-12-29 江苏拜尔特光电设备有限公司 新型防止晶棒掉落装置
CN208517574U (zh) * 2018-06-19 2019-02-19 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种防止晶棒掉落的保护装置
CN208701249U (zh) * 2018-07-25 2019-04-05 浙江晶阳机电有限公司 一种单晶炉用称重装置
CN209014544U (zh) * 2018-09-23 2019-06-21 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶硅棒晶向检测装置
CN109440186A (zh) * 2018-12-17 2019-03-08 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶炉提拉头动态动平衡机构
CN209669394U (zh) * 2019-03-28 2019-11-22 晶科能源有限公司 一种直拉单晶炉
CN110004492A (zh) * 2019-04-25 2019-07-12 苏州新美光纳米科技有限公司 长晶炉内监测方法及长晶炉
CN211367797U (zh) * 2019-11-18 2020-08-28 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种防止单晶掉落的装置
CN213596452U (zh) * 2020-09-16 2021-07-02 浙江晶阳机电股份有限公司 一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112853484A (zh) * 2020-12-31 2021-05-28 四川晶科能源有限公司 一种直拉单晶中掉棒的保护设备
CN112853484B (zh) * 2020-12-31 2023-11-21 四川晶科能源有限公司 一种直拉单晶中掉棒的保护设备
CN112877769A (zh) * 2021-03-11 2021-06-01 邢台晶龙电子材料有限公司 一种单晶棒防坠落装置
CN116288653A (zh) * 2022-12-30 2023-06-23 四川高景太阳能科技有限公司 一种预防晶棒掉落装置
CN117144474A (zh) * 2023-08-31 2023-12-01 清电光伏科技有限公司 限位组件及具有其的单晶炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112080795A (zh) 一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉
CN101717038B (zh) 可变倍率吊钩装置
CN213596452U (zh) 一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉
CN202507408U (zh) 一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置
CN101786545B (zh) 一种金属棒料输送装置及应用方法
CN201473192U (zh) 一种吊装工具
CN107986156A (zh) 一种起重机吊钩钢丝绳断绳防坠落机构
CN113291848A (zh) 皮带堵漏预警控制系统及预警方法
CN201369178Y (zh) 用于抓取废滤芯的小孔抓具
CN211854923U (zh) 麦尔兹窑悬挂缸紧急冷却装置
CN102452607A (zh) 一种桥梁吊装机械所用的挂装装置
CN213569145U (zh) 大型螺母水平旋装用吊装属具装置
CN210322337U (zh) 一种支吊架荷载校正辅助测量装置
CN103449140A (zh) 防止管状皮带机涨管的预警装置及方法
CN202765714U (zh) 链式输送机
CN213325586U (zh) 一种硅棒搬运夹持工具
CN102922361B (zh) 锯带铣齿机收料搬运装置
CN111681986A (zh) 半导体工艺设备及其晶舟升降装置
CN201417163Y (zh) 一体式探尺
CN208413628U (zh) 一种球磨机吊装工具
CN206552992U (zh) 一种用于提升机轿厢的链条断裂检测装置
CN215516239U (zh) 一种电梯曳引绳实时监测保护装置
CN217397539U (zh) 一种非接触式光伏设备故障诊断装置
CN2472832Y (zh) 自动同步对中的双钳拔管装置
CN201842563U (zh) 一种桥梁吊装机械所用的挂装装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20201215

RJ01 Rejection of invention patent application after publication