CN211363007U - 一种单晶硅棒生产截断装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅棒生产截断装置,工作台上两侧边均设有立杆,立板之间设有横板,立杆之间滑动连接设有升降板,升降板的下端设有方型缺口,升降板前侧面设有线锯切割机构,线锯切割机构内设有打磨机构,通孔内设有液压杆和液压泵,升降板后侧面设有固定块,液压杆与固定块连接,工作台上两侧边均设有T型凹槽,T型凹槽内滑动设有方型的框架,框架前后侧面均设有铰接件,铰接件上均铰接设有两个弧型夹持件,框架上面的滑槽之间设有两个连接杆,连接杆两端均设有连接块,连接块分别与弧型夹持件连接,连接杆侧面均设有板件,板件下面均设有竖板,框架两侧面均设有两个螺纹杆。本实用新型的优点:夹持牢固、切割和研磨同时进行。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶硅加工技术领域,具体是指一种单晶硅棒生产截断装置。
背景技术
单晶硅棒从单晶炉拉制出来后,需要进行后续的机械加工,晶棒单线截断机用于截断工序,它将拉制后的单晶硅棒进行切头尾、切样片及等长批量截断切割加工,这就要求切割过程对单晶硅棒完全固定牢固,这样切割过程,才会减少缺陷,避免出现“波浪面,面不平”和“崩边”的问题;切割后的单晶硅棒表面要去除上道工序的表面机械应力损伤层和杂质污染,在进行单面研磨并使硅片具有一定的平坦表面,而现有的切割产品无法同时满足切割和研磨。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是解决上述问题,提供一种夹持牢固、切割和研磨同时进行的单晶硅棒生产截断装置。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的技术方案为:一种单晶硅棒生产截断装置,包括工作台,所述工作台上且靠近两侧边均设有立杆,所述立杆上面之间固定连接设有横板,所述立杆前侧面之间滑动连接设有升降板,所述升降板的下端设有方型缺口,所述升降板前侧面设有线锯切割机构,所述线锯切割机构内设有打磨机构,所述横板上设有通孔,所述通孔内固定连接设有液压杆和为液压杆提供动力的液压泵,所述升降板后侧面且与液压杆位置对应处固定连接设有固定块,所述液压杆延伸出通孔的一端与固定块固定连接,所述工作台上且靠近两侧边均设有T型凹槽,所述T型凹槽内均滑动连接设有T型滑块,所述T型滑块远离T型凹槽的侧面之间固定连接设有方型的框架,所述框架前后侧面下端中间处均固定连接设有铰接件,所述铰接件上均铰接设有两个弧型夹持件,两个弧型夹持件相对设置,所述框架上面且靠近前后侧处均设有滑槽,所述滑槽之间滑动连接设有两个连接杆,所述连接杆两端均固定连接设有连接块,所述连接块分别与同一侧面相邻近的弧型夹持件固定连接,所述连接杆相互远离的侧面均固定连接设有板件,所述板件下面且相互远离的一端均固定连接设有竖板,所述框架两侧面均固定连接设有两个螺纹杆,所述螺纹杆延伸出相邻竖板的一端均螺纹连接设有螺母,所述竖板与框架之间的螺纹杆上均套接设有弹簧。
本实用新型与现有技术相比的优点在于:通过框架前后两侧面的弧型夹持件夹持单晶硅棒,双向夹持,更加稳固,且通过拧动螺母,使螺母相互靠近或者远离调整弧型夹持件之间的距离达到适应不同尺寸直径的单晶硅棒,框架与工作台滑动连接,方便移动与线锯切割机构的距离,线锯切割机构是单晶硅棒最适宜的切割方式,内部设有打磨机构在切割的同时进行打磨,省时省力。
作为改进,所述线锯切割机构包括均转动连接在升降板前侧面四角处的切割轮,所述升降板后侧面且低于升降板上端的切割轮固定连接设有固定板,所述固定板上设有电机一,所述电机一输出端与切割轮延伸出升降板的一端固定连接,所述切割轮外侧面之间套接设有线锯,四个切割轮腾出空间,方便内部打磨带接下来的打磨。
作为改进,所述打磨机构包括均固定连接在升降板前侧面且靠近两侧处的两个支撑板,所述支撑板之间转动设有带轮,所述带轮外侧面之间套接设有相配合的打磨带,靠近升降板上端的支撑板上固定连接设有电机二,所述电机二输出端与带轮延伸出支撑板的一端固定连接,带轮带动打磨带转动,升降板下降带动线锯切割,随后的打磨带便可对切割好的单晶棒切面进行打磨。
作为改进,所述打磨带靠近横板的外侧面与线锯设为同一水平线。
作为改进,所述弧型夹持件相对的侧面上均布设有防滑凸起,减少摩擦痕,增加摩擦力。
附图说明
图1是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置的主视结构示意图。
图2是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置夹紧固定机构主视结构示意图。
图3是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置线锯切割机构后视结构示意图。
图4是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置线锯切割机构左视结构示意图。
图5是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置的左视结构示意图。
图6是本实用新型一种单晶硅棒生产截断装置的左视结构示意图。
如图所示:1、工作台;2、立杆;3、横板;4、升降板;5、方型缺口;6、线锯切割机构;7、打磨机构;8、通孔;9、液压杆;10、液压泵;11、固定块;12、T型凹槽;13、T型滑块;14、框架;15、铰接件;16、弧型夹持件;17、滑槽;18、连接杆;19、连接块;20、板件;21、竖板;22、螺纹杆;23、螺母;24、弹簧;25、切割轮;26、固定板;27、电机一;28、支撑板;29、带轮;30、打磨带;31、电机二;32、防滑凸起;33、线锯。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
结合附图1、图2、图3、图4、图5、图6。单晶硅棒生产截断装置,包括工作台1,所述工作台1上且靠近两侧边均设有立杆2,所述立杆2上面之间固定连接设有横板3,所述立杆2前侧面之间滑动连接设有升降板4,所述升降板4的下端设有方型缺口5,所述升降板4前侧面设有线锯切割机构6,所述线锯切割机构6内设有打磨机构7,所述横板3上设有通孔8,所述通孔8内固定连接设有液压杆9和为液压杆9提供动力的液压泵10,所述升降板4后侧面且与液压杆9位置对应处固定连接设有固定块11,所述液压杆9延伸出通孔8的一端与固定块11固定连接,所述工作台1上且靠近两侧边均设有T型凹槽12,所述T型凹槽12内均滑动连接设有T型滑块13,所述T型滑块13远离T型凹槽12的侧面之间固定连接设有方型的框架14,所述框架14前后侧面的下端中间处均固定连接设有铰接件15,所述铰接件15上均铰接设有两个弧型夹持件16,两个弧型夹持件16相对设置,所述框架14上面且靠近前后侧处均设有滑槽17,所述滑槽17之间滑动连接设有两个连接杆18,所述连接杆18两端均固定连接设有连接块19,所述连接块19分别与同一侧面相邻近的弧型夹持件16固定连接,所述连接杆18相互远离的侧面均固定连接设有板件20,所述板件20下面且相互远离的一端均固定连接设有竖板21,所述框架14两侧面上均固定连接设有两个螺纹杆22,所述螺纹杆22延伸出相邻竖板21的一端均螺纹连接设有螺母23,所述竖板21与框架14之间的螺纹杆22上均套接设有弹簧24。
所述线锯切割机构6包括均转动连接在升降板4前侧面四角处的切割轮25,所述升降板4后侧面且低于升降板4上端的切割轮25固定连接设有固定板26,所述固定板26上设有电机一27,所述电机一27输出端与切割轮25延伸出升降板4的一端固定连接,所述切割轮25外侧面之间套接设有线锯33。
所述打磨机构7包括均固定连接在升降板4前侧面且靠近两侧处的两个支撑板28,所述支撑板28之间转动设有带轮29,所述带轮29外侧面之间套接设有相配合的打磨带30,靠近升降板4上端的支撑板28上固定连接设有电机二31,所述电机二31输出端与带轮29延伸出支撑板28的一端固定连接。
所述打磨带30靠近横板3的外侧面与线锯33设为同一水平线。
所述夹持件16相对的侧面上均布设有防滑凸起32。
本实用新型在具体实施时:将单晶硅棒插入框架14内,拧动两侧面的螺母23,使螺母23相互靠近拧进,这时连接杆18便滑动相互靠近,连接杆18两端的连接块19相互靠近,便带着框架14前后端上的两个弧型夹持件16相互靠近,进而对单晶硅棒进行夹紧;然后外接电源启动电机一27和电机二31,电机一27带动切割轮25转动从而带动线锯33转动,方便切割,电机二31带动带轮29转动,从而带动29打磨带30转动,液压杆9和液压泵10相互配合,带动升降板4上下运动,进而带动线锯33对单晶硅棒的切割,在切割的同时与线锯33相邻的打磨带30便对切割好的一面进行打磨,减少操作步骤,提高工作效率;框架14与工作台1滑动连接,方便调节需要切割的长度,框架14前后侧面均设有弧型夹持件16夹持效果好更加稳固。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种单晶硅棒生产截断装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)上且靠近两侧边均设有立杆(2),所述立杆(2)上面之间固定连接设有横板(3),所述立杆(2)前侧面之间滑动设有升降板(4),所述升降板(4)的下端设有方型缺口(5),所述升降板(4)前侧面设有线锯切割机构(6),所述线锯切割机构(6)内设有打磨机构(7),所述横板(3)上设有通孔(8),所述通孔(8)内固定连接设有液压杆(9)和液压泵(10),所述升降板(4)后侧面且与液压杆(9)位置对应处固定连接设有固定块(11),所述液压杆(9)延伸出通孔(8)的一端与固定块(11)固定连接,所述工作台(1)上且靠近两侧边均设有T型凹槽(12),所述T型凹槽(12)内均滑动设有T型滑块(13),所述T型滑块(13)远离T型凹槽(12)的侧面之间固定连接设有方型的框架(14),所述框架(14)前后侧面的下端中间处均固定连接设有铰接件(15),所述铰接件(15)上均铰接设有两个弧型夹持件(16),两个弧型夹持件(16)相对设置,所述框架(14)上面且靠近前后侧处均设有滑槽(17),所述滑槽(17)之间滑动设有两个连接杆(18),所述连接杆(18)两端均固定连接设有连接块(19),所述连接块(19)分别与同一侧面相邻近的弧型夹持件(16)固定连接,所述连接杆(18)相互远离的侧面均固定连接设有板件(20),所述板件(20)下面且相互远离的一端均固定连接设有竖板(21),所述框架(14)两侧面上均固定连接设有两个螺纹杆(22),所述螺纹杆(22)延伸出相邻竖板(21)的一端均螺纹连接设有螺母(23),所述竖板(21)与框架(14)之间的螺纹杆(22)上均套接设有弹簧(24)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产截断装置,其特征在于:所述线锯切割机构(6)包括均转动连接在升降板(4)前侧面四角处的切割轮(25),所述升降板(4)后侧面且低于升降板(4)上端的切割轮(25)固定连接设有固定板(26),所述固定板(26)上设有电机一(27),所述电机一(27)输出端与切割轮(25)延伸出升降板(4)的一端固定连接,所述切割轮(25)外侧面之间套接设有线锯(33)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒生产截断装置,其特征在于:所述打磨机构(7)包括均固定连接在升降板(4)前侧面且靠近两侧处的两个支撑板(28),所述支撑板(28)之间转动设有带轮(29),所述带轮(29)外侧面之间套接设有相配合的打磨带(30),靠近升降板(4)上端的支撑板(28)上固定连接设有电机二(31),所述电机二(31)输出端与带轮(29)延伸出支撑板(28)的一端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒生产截断装置,其特征在于:所述打磨带(30)靠近横板(3)的外侧面与线锯(33)设为同一水平线。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产截断装置,其特征在于:所述夹持件(16)相对的侧面上均布设有防滑凸起(32)。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113085038A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-07-09 | 郑冬梅 | 一种集成电路用单晶硅棒切割装置 |
CN115319933A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-11-11 | 天通日进精密技术有限公司 | 一种开磨机用排丝张力调节装置及其调节方法 |
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