CN211264161U - 一种真空三维位移平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空三维位移平台，包括下法兰、X方向螺母座、Y方向螺母座和X向活动块，所述下法兰的上方设置有波纹管，且波纹管的外侧连接有Y向固定法兰，所述Y向固定法兰的上方连接有连接块，所述连接块的左侧设置有Y向固定块，且Y向固定块的正面安置有Y向活动块，所述Y向活动块的上侧安装有X方向固定块，且X方向固定块的X方向活动块，所述Z向轴承座的内侧表面镶嵌有Z向卡簧，且Z向轴承的上方设置有Z向第二螺母，所述Z向轴承的内侧设置有Z向调节丝杆，且Z向调节丝杆的顶侧末端固定有Z向手轮。设置有Z向轴承座与Z向固定块，能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，且使其达到三维位移调节的功能。

Description

一种真空三维位移平台

技术领域

本实用新型涉及物理气相沉积技术领域，具体涉及一种真空用X、Y、Z 三维垂直可调的位移平台。

背景技术

随着社会与科学的发展进步，真空技术被应用在社会上的各行各业。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。真空的应用范围极广，主要分为低真空、中真空、高真空和超高真空应用。

市场上的三维位移平台使用过程中，不能够在部件形变时不影响真空密封功能，不能够很好地避免由于被测轴和基准轴轴径比较小，轴阶多，轴阶较短，而导致很难平稳地吸附在基准轴上的情况，不能使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件，不能使其通过微调使其具有较高的同轴对中等和装配带来的尺寸误差较小，不能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，不能使其达到三维位移调节的功能，不能使其达到调节位移平台改变两个真空部件相对位置状态的功能的问题，为此，我们提出一种实用性更高的三维位移平台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空三维位移平台，以解决上述背景技术中提出的不能够在部件形变时不影响真空密封功能，不能够很好地避免由于被测轴和基准轴轴径比较小，轴阶多，轴阶较短，而导致很难平稳地吸附在基准轴上的情况，不能使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件，不能使其通过微调使其具有较高的同轴对中等和装配带来的尺寸误差较小，不能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，不能使其达到三维位移调节的功能，不能使其达到调节位移平台改变两个真空部件相对位置状态的功能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空三维位移平台，包括下法兰、X方向螺母座、Y方向螺母座和X向活动块，所述下法兰的上方设置有波纹管，且波纹管的外侧连接有Y向固定法兰，所述Y向固定法兰的上方连接有连接块，所述连接块的左侧设置有Y向固定块，且Y向固定块的正面安置有Y向活动块，所述Y向活动块的上侧安装有X方向固定块，且X方向固定块的X方向活动块，所述X方向螺母座设置于波纹管的右侧，且X方向螺母座的右端固定有X方向第一螺母，所述X方向第一螺母的底端连接有X方向调节丝杆，且X方向调节丝杆的外表面安装有X方向轴承，所述X方向轴承的右侧设置有X方向第二螺母，且X方向第二螺母的右侧设置有X方向手轮，所述X方向轴承的外侧设置有X方向轴承座，且X方向活动块的左侧设置有第一交叉滚子导轨，所述Y方向螺母座设置于波纹管的后侧，且Y方向螺母座的内侧固定有Y方向第一螺母，所述Y方向第一螺母的后侧设置有Y方向轴承，所述Y方向轴承的后侧设置有Y方向第二螺母，且Y方向第二螺母的外侧设置有Y方向轴承座，所述Y方向轴承座的内表面镶嵌有Y 方向卡簧，所述Y方向轴承的内侧设置有Y方向调节丝杆，且Y方向调节丝杆的后侧末端连接有Y方向调节手轮，所述Y方向轴承的外侧设置有Y方向轴承座，且Y方向轴承座，所述Y方向轴承的下方设置有第二交叉滚子导轨，所述X向活动块设置于波纹管的前端，且X向活动块的上方设置有Z向法兰，所述Z向法兰的前端固定有Z向活动块，且Z向活动块的前端设置有Z向固定块，所述Z向活动块的正上方设置有Z向第一螺母，且Z向第一螺母的正上方设置有Z向螺母座，所述Z向螺母座的上端设置有Z向轴承座，且Z向轴承座的内侧固定有Z向轴承，所述Z向轴承座的内侧表面镶嵌有Z向卡簧，且Z向轴承的上方设置有Z向第二螺母，所述Z向轴承的内侧设置有Z向调节丝杆，且Z向调节丝杆的顶侧末端固定有Z向手轮，所述Z向活动块的左右两端设置有交叉滚子轴承。

优选的，所述下法兰与波纹管之间为焊接连接，并且Y向固定法兰与连接块之间为固定连接。

优选的，所述Y方向螺母座与Y向活动块之间为构成滑动结构，且Y方向第一螺母与Y方向螺母座之间为螺纹连接。

优选的，所述Y方向轴承与Y方向卡簧之间构成卡合结构，且Y方向轴承与Y方向调节丝杆之间构成旋转结构。

优选的，所述Z向固定块与Z向活动块之间构成滑动连接，且Z向活动块与Z向螺母座之间为螺纹连接。

优选的，所述Z向轴承座与Z向固定块之间紧密贴合，且Z向轴承与Z 向轴承座之间构成转动。

优选的，所述Z向手轮与Z向调节丝杆之间构成转动结构，且Z向调节丝杆与Z向第二螺母之间为螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该真空三维位移平台设置有下法兰与波纹管，能够通过下法兰与波纹管一端连接，波纹管另一端与Z向法兰连接，使其中位移平台的固定法兰与其中一件真空部件连接，使其达到调节下法兰和Z向法兰方的相对位移调节功能，且其中波纹管随之形变，不影响真空密封功能，设置有Y方向螺母座与Y 向活动块，能够使相对位移部件与Y向位移平台的相对固定部件相连接，使其能够对Y向位移平台进行微调，且能够很好地避免由于被测轴和基准轴轴径比较小，轴阶多，轴阶较短，导致很难平稳地吸附在基准轴上的情况。

该真空三维位移平台设置有Y方向轴承与Y方向卡簧，能够将真空腔室外部的X、Y方向位移运动传递到真空腔室内部，且使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件，设置有Z向固定块与Z向活动块，能够对于真空系统中经常会遇到多个部件安装后需要较高的同轴对中等要求时，针对无法避免的焊接和装配带来的尺寸误差，且使其通过微调使其具有较高的同轴对中等和装配带来的尺寸误差较小。

该真空三维位移平台设置有Z向轴承座与Z向固定块，能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，且使其达到三维位移调节的功能，设置有Z向手轮与Z向调节丝杆，能够通过旋转Z向手轮，Z向调节丝杆跟着转动，且使其达到调节位移平台改变两个真空部件相对位置状态的功能。

附图说明

图1为本实用新型正面剖面结构示意图；

图2为本实用新型侧面剖面结构示意图；

图3为本实用新型交叉滚子轴承结构示意图。

图中：1、下法兰；2、波纹管；3、Y向固定法兰；4、连接块；5、Y向固定块；6、Y向活动块；7、X方向固定块；8、X方向活动块；9、X方向螺母座；10、X方向第一螺母；11、X方向调节丝杆；12、X方向轴承；13、X 方向第二螺母；14、X方向手轮；15、X方向轴承座；16、第一交叉滚子导轨； 17、Y方向螺母座；18、Y方向第一螺母；19、Y方向轴承；20、Y方向调节丝杆；21、Y方向调节手轮；22、Y方向轴承座；23、Y方向第二螺母；24、第二交叉滚子导轨；25、Y方向卡簧；26、Z向固定块；27、Z向活动块；28、 Z向第一螺母；29、Z向螺母座；30、Z向轴承座；31、Z向轴承；32、Z向卡簧；33、Z向手轮；34、Z向调节丝杆；35、Z向第二螺母；36、Z向法兰； 37、X向活动块；38、交叉滚子轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空三维位移平台，包括下法兰1、X方向螺母座9、Y方向螺母座17和X向活动块37，下法兰1 的上方设置有波纹管2，且波纹管2的外侧连接有Y向固定法兰3，Y向固定法兰3的上方连接有连接块4，下法兰1与波纹管2之间为焊接连接，并且Y 向固定法兰3与连接块4之间为固定连接，设置有下法兰1与波纹管2，能够通过下法兰1与波纹管2一端连接，波纹管2另一端与Z向法兰36连接，使其中位移平台的固定法兰与其中一件真空部件连接，使其达到调节下法兰1 和Z向法兰36方的相对位移调节功能，且其中波纹管2随之形变，不影响真空密封功能；连接块4的左侧设置有Y向固定块5，且Y向固定块5的正面安置有Y向活动块6，Y向活动块6的上侧安装有X方向固定块7，且X方向固定块7的X方向活动块8，X方向螺母座9设置于波纹管2的右侧，且X方向螺母座9的右端固定有X方向第一螺母10，X方向第一螺母10的底端连接有 X方向调节丝杆11，且X方向调节丝杆11的外表面安装有X方向轴承12，X 方向轴承12的右侧设置有X方向第二螺母13，且X方向第二螺母13的右侧设置有X方向手轮14，X方向轴承12的外侧设置有X方向轴承座15，且X方向活动块8的左侧设置有第一交叉滚子导轨16，Y方向螺母座17设置于波纹管2的后侧，且Y方向螺母座17的内侧固定有Y方向第一螺母18，Y方向螺母座17与Y向活动块6之间为构成滑动结构，且Y方向第一螺母18与Y方向螺母座17之间为螺纹连接，设置有Y方向螺母座17与Y向活动块6，能够使相对位移部件与Y向位移平台的相对固定部件相连接，使其能够对Y向位移平台进行微调，且能够很好地避免由于被测轴和基准轴轴径比较小，轴阶多，轴阶较短，导致很难平稳地吸附在基准轴上的情况；

Y方向第一螺母18的后侧设置有Y方向轴承19，Y方向轴承19的后侧设置有Y方向第二螺母23，且Y方向第二螺母23的外侧设置有Y方向轴承座 22，Y方向轴承座22的内表面镶嵌有Y方向卡簧25，Y方向轴承19与Y方向卡簧25之间构成卡合结构，且Y方向轴承19与Y方向调节丝杆20之间构成旋转结构，设置有Y方向轴承19与Y方向卡簧25，能够将真空腔室外部的X、 Y方向位移运动传递到真空腔室内部，且使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件；Y方向轴承19的内侧设置有Y方向调节丝杆20，且Y方向调节丝杆20的后侧末端连接有Y方向调节手轮21，Y方向轴承19的外侧设置有Y方向轴承座22，且Y方向轴承座22， Y方向轴承19的下方设置有第二交叉滚子导轨24，X向活动块37设置于波纹管2的前端，且X向活动块37的上方设置有Z向法兰36，Z向法兰36的前端固定有Z向活动块27，且Z向活动块27的前端设置有Z向固定块26，Z向活动块27的正上方设置有Z向第一螺母28，且Z向第一螺母28的正上方设置有Z向螺母座29，Z向固定块26与Z向活动块27之间构成滑动连接，且Z 向活动块27与Z向螺母座29之间为螺纹连接，设置有Z向固定块26与Z向活动块27，能够对于真空系统中经常会遇到多个部件安装后需要较高的同轴对中等要求时，针对无法避免的焊接和装配带来的尺寸误差，且使其通过微调使其具有较高的同轴对中等和装配带来的尺寸误差较小；

Z向螺母座29的上端设置有Z向轴承座30，且Z向轴承座30的内侧固定有Z向轴承31，Z向轴承座30与Z向固定块26之间紧密贴合，且Z向轴承31与Z向轴承座30之间构成转动，设置有Z向轴承座30与Z向固定块26，能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，且使其达到三维位移调节的功能；Z向轴承座30的内侧表面镶嵌有Z向卡簧32，且Z向轴承 31的上方设置有Z向第二螺母35，Z向手轮33与Z向调节丝杆34之间构成转动结构，且Z向调节丝杆34与Z向第二螺母35之间为螺纹连接，设置有Z 向手轮33与Z向调节丝杆34，能够通过旋转Z向手轮33，Z向调节丝杆34 跟着转动，且使其达到调节位移平台改变两个真空部件相对位置状态的功能； Z向轴承31的内侧设置有Z向调节丝杆34，且Z向调节丝杆34的顶侧末端固定有Z向手轮33，Z向活动块27的左右两端设置有交叉滚子轴承38。

工作原理：对于这类的三维位移平台,首先通过下法兰1与波纹管2一端焊接，波纹管2另一端与Z向法兰36焊接，Y向固定法兰3通过连接块4与Y向固定块5连接在一起，Y向固定块5与Y向活动块6由第一交叉滚子导轨 16连接在一起，Y方向螺母座17固定在Y向活动块6上，Y方向第一螺母18 安装在Y方向螺母座17中，Y方向轴承座22固定在Y向固定块5上，轴承座中有Y方向轴承19及Y方向卡簧25，轴承中装有Y方向调节丝杆20，调节丝杠另一面由Y方向第二螺母23固定，丝杠的螺纹端与Y方向第一螺母18 配合，Y方向调节手轮21固定在丝杠另一端，旋转Y方向调节手轮21，Y方向调节丝杆20跟着转动，从而带动Y方向第一螺母18轴线方向的移动，通过Y方向螺母座17带动Y向活动块6的Y向移动。Y向活动块6与X方向固定块7，固连在一起，X方向活动块8固定在X方向固定块7的上方，X方向螺母座9固定在X方向第一螺母10上，X方向轴承座15里面装有方向轴承 12，X方向调节丝杆11装在轴承中，外面有两个X方向第二螺母13，X方向调节丝杆11一端与X方向手轮14固联，丝杠的另一端螺纹端与X方向第一螺母10配合，这样旋转X方向手轮14，X方向调节丝杆11跟着转动，从而带动X方向第一螺母10轴线方向的移动，通过X方向螺母座9带动X方向活动块8的X向移动，从而实现X向位移的调节。X方向的位移调节原理与Y方向调节同理。Z向固定块26与X向活动块37固定连接，XY向位移调节平台实现与Z向位移的连接。Z向固定块26与Z向活动块27由交叉滚子轴承38 连接在一起。Z向第一螺母28在Z向螺母座29中，Z向螺母座29安装在Z 向活动块27凹槽中，Z向活动块27由第二交叉滚子导轨24连接在一起。Z 向轴承座30安装在Z向固定块26上，Z向轴承座30里面装有Z向轴承31，外面装有Z向卡簧32，Z向调节丝杆34装在轴承中，外面有两个Z向第二螺母35，Z向调节丝杆34一端与Z向手轮33固联，丝杠的另一端螺纹端与Z向第一螺母28配合，这样旋转Z向手轮33，Z向调节丝杆34跟着转动，从而带动Z向第一螺母28轴线方向的移动，通过Z向螺母座29带动Z向活动块27的Z向移动，Z向活动块27带动与之固定在一起的Z向法兰36Z向运动，从而实现Z向位移的调节，就这样完成整个三维位移平台的使用过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种真空三维位移平台，包括下法兰(1)、X方向螺母座(9)、Y方向螺母座(17)和X向活动块(37)，其特征在于：所述下法兰(1)的上方设置有波纹管(2)，且波纹管(2)的外侧连接有Y向固定法兰(3)，所述Y向固定法兰(3)的上方连接有连接块(4)，所述连接块(4)的左侧设置有Y向固定块(5)，且Y向固定块(5)的正面安置有Y向活动块(6)，所述Y向活动块(6)的上侧安装有X方向固定块(7)，且X方向固定块(7)的X方向活动块(8)，所述X方向螺母座(9)设置于波纹管(2)的右侧，且X方向螺母座(9)的右端固定有X方向第一螺母(10)，所述X方向第一螺母(10)的底端连接有X方向调节丝杆(11)，且X方向调节丝杆(11)的外表面安装有X方向轴承(12)，所述X方向轴承(12)的右侧设置有X方向第二螺母(13)，且X方向第二螺母(13)的右侧设置有X方向手轮(14)，所述X方向轴承(12)的外侧设置有X方向轴承座(15)，且X方向活动块(8)的左侧设置有第一交叉滚子导轨(16)，所述Y方向螺母座(17)设置于波纹管(2)的后侧，且Y方向螺母座(17)的内侧固定有Y方向第一螺母(18)，所述Y方向第一螺母(18)的后侧设置有Y方向轴承(19)，所述Y方向轴承(19)的后侧设置有Y方向第二螺母(23)，且Y方向第二螺母(23)的外侧设置有Y方向轴承座(22)，所述Y方向轴承座(22)的内表面镶嵌有Y方向卡簧(25)，所述Y方向轴承(19)的内侧设置有Y方向调节丝杆(20)，且Y方向调节丝杆(20)的后侧末端连接有Y方向调节手轮(21)，所述Y方向轴承(19)的外侧设置有Y方向轴承座(22)，且Y方向轴承座(22)，所述Y方向轴承(19)的下方设置有第二交叉滚子导轨(24)，所述X向活动块(37)设置于波纹管(2)的前端，且X向活动块(37)的上方设置有Z向法兰(36)，所述Z向法兰(36)的前端固定有Z向活动块(27)，且Z向活动块(27)的前端设置有Z向固定块(26)，所述Z向活动块(27)的正上方设置有Z向第一螺母(28)，且Z向第一螺母(28)的正上方设置有Z向螺母座(29)，所述Z向螺母座(29)的上端设置有Z向轴承座(30)，且Z向轴承座(30)的内侧固定有Z向轴承(31)，所述Z向轴承座(30)的内侧表面镶嵌有Z向卡簧(32)，且Z向轴承(31)的上方设置有Z向第二螺母(35)，所述Z向轴承(31)的内侧设置有Z向调节丝杆(34)，且Z向调节丝杆(34)的顶侧末端固定有Z向手轮(33)，所述Z向活动块(27)的左右两端设置有交叉滚子轴承(38)。

2.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述下法兰(1)与波纹管(2)之间为焊接连接，并且Y向固定法兰(3)与连接块(4)之间为固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Y方向螺母座(17)与Y向活动块(6)之间为构成滑动结构，且Y方向第一螺母(18)与Y方向螺母座(17)之间为螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Y方向轴承(19)与Y方向卡簧(25)之间构成卡合结构，且Y方向轴承(19)与Y方向调节丝杆(20)之间构成旋转结构。

5.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向固定块(26)与Z向活动块(27)之间构成滑动连接，且Z向活动块(27)与Z向螺母座(29)之间为螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向轴承座(30)与Z向固定块(26)之间紧密贴合，且Z向轴承(31)与Z向轴承座(30)之间构成转动。

7.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向手轮(33)与Z向调节丝杆(34)之间构成转动结构，且Z向调节丝杆(34)与Z向第二螺母(35)之间为螺纹连接。

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