CN211236560U - 一种精准定位的纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种精准定位的纳米压印设备，腔体内壁顶面通过支架固定装配有承压板，腔体的内腔顶部固定装配有紫外灯，承压板的中部开设有观察窗，承压板顶部四角处固定安装有线光源发射器，线光源发射器的光线于承压板中心位置交汇形成荧光标记，承压板的底面吸附有软膜，腔体内腔底面中部固定装配有带电机的升降装置，升降装置的上端通过加热底盘固定装配有托盘，托盘上端插接有定位器，托盘上端吸附有基板，本装置四角分布有线光源发射器，光线交汇形成荧光标记，下方的基片通过定位器进行位置的精准定位，通过对上下位置对应的软膜和基片分别进行精准定位，实现制备的印章与玻璃之间零偏差的效果，提高成品率。

Description

一种精准定位的纳米压印设备

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种精准定位的纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是华裔科学家周郁在1995年发明的一项成本低廉、分辨率高的光刻技术。在纳米压印中，相当昂贵的光刻只需要用一次来制备印章，就可以大量生产复制品，因此纳米图案复制领域一直是各国科学家研究的热点，各种纳米压印设备也应运而生。

但是对于满结构的硅片来说，一旦制备的印章与玻璃存在偏差，复制品就会有部分结构丢失，成为废品，造成大量资源的浪费，相应的使得生产成体随之提高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种精准定位的纳米压印设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种精准定位的纳米压印设备，包括腔体，且腔体设有铰接的门，所述腔体内壁顶面中部固定装配有支架，所述支架下端固定装配有承压板，所述腔体的内腔顶部固定装配有紫外灯，且紫外灯位于承压板正上方，所述承压板的中部开设有观察窗，所述承压板顶部四角处固定安装有线光源发射器，所述线光源发射器的光线于承压板中心位置交汇形成荧光标记，所述承压板的底面吸附有软膜，所述腔体内腔底面中部固定装配有电机，且电机上固定装配有匹配的升降装置，所述升降装置的上端固定装配有加热底盘，所述加热底盘的上端固定装配有托盘，所述托盘上端插接有定位器，所述托盘上端吸附有基板，且基板卡接于定位器内侧，所述基板与软膜平行、且上下对应。

优选的，所述托盘的顶面开设有环形真空槽，且环形真空槽的数量至少为两个，所述环形真空槽上吸附有基板，所述环形真空槽内均匀开设有微孔，且微孔通过通道与托盘外部相连通。

优选的，所述托盘边缘设有尺寸定位孔，所述尺寸定位孔内插接有定位器，所述定位器由两个一体形成的细杆组成，所述定位器的两个细杆之间夹角为120度，所述定位器细杆的内壁均与基板外侧壁贴合。

优选的，所述承压板的底面设有真空卡槽，所述软膜吸附于真空卡槽下方，所述真空卡槽内设有连通承压板外部的连通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本方案设计了一种精准定位的纳米压印设备，本装置设有四个呈四角分布的线光源发射器，它们工作后在承压板中部交汇形成荧光标记，通过这个荧光标记辅助放置软膜，使得软膜中心点与荧光标记位置重叠，提高了软膜放置位置的精准性；下方的基片通过定位器进行位置的精准定位，保证基片放置位置的精准性，通过对上下位置对应的软膜和基片分别进行精准定位，实现制备的印章与玻璃之间零偏差的效果，解决上述问题，提高成品率，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中承压板结构示意俯视图；

图3为本实用新型中托盘结构示意俯视图；

图4为本实用新型中基板和定位器装配结构示意图。

图中：1腔体、2紫外灯、3承压板、4支架、5线光源发射器、6软膜、7基板、8托盘、81环形真空槽、82微孔、83尺寸定位孔、84定位器、9加热底盘、10升降装置、11电机、12真空卡槽、13观察窗、14荧光标记。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3和图4，本实用新型提供一种技术方案：一种精准定位的纳米压印设备，包括腔体1，且腔体1设有铰接的门，腔体1内壁顶面中部固定装配有支架4，支架4下端固定装配有承压板3，腔体1的内腔顶部固定装配有紫外灯2，且紫外灯2位于承压板3正上方，承压板3的中部开设有观察窗13，承压板3顶部四角处固定安装有线光源发射器5，线光源发射器5的光线于承压板3中心位置交汇形成荧光标记14，承压板3的底面吸附有软膜6，本实施中采用PET软膜，腔体1内腔底面中部固定装配有电机11，且电机11上固定装配有匹配的升降装置10，升降装置10的上端固定装配有加热底盘9，加热底盘9的上端固定装配有托盘8，托盘8上端插接有定位器84，托盘8上端吸附有基板7，且基板7卡接于定位器84内侧，基板7与软膜7平行、且上下对应。

本实施例中，紫外灯2、线光源发射器5、电机11分别连接外部电源，通过开关控制电路通断，本实施例中，电机11和升降装置10为整体结构，采用升降电机，紫外灯2设置在腔体1内腔顶部，为部分胶体的固化提供光源，加热底盘9内部嵌入有加热丝，连接外部电源，通过开关控制电路通断，对托盘8上的基板7进行加热，同时在加热底盘9的外侧可以添加检测单元，用于检测加热底盘9的温度是否合适，以提高加热的精准性，带有电机11的升降装置10带动加热底盘9、托盘8和基板7进行升降，使得基板7和软膜6贴合，完成复制压印过程。

托盘8的顶面开设有环形真空槽81，且环形真空槽81的数量至少为两个，环形真空槽81上吸附有基板7，环形真空槽81内均匀开设有微孔82，且微孔82通过通道与托盘8外部相连通。

微孔82与外界的真空泵或抽气泵相连通，当真空泵或抽气泵连通电源开始工作时，通过微孔82抽出环形真空槽81内的空气，利用真空吸附效果吸附贴合在环形真空槽81上的软膜6。

托盘8边缘设有尺寸定位孔83，尺寸定位孔83内插接有定位器84，定位器84由两个一体形成的细杆组成，定位器84的两个细杆之间夹角为120度，定位器84细杆的内壁均与基板7外侧壁贴合。

如图3和4所示，尺寸定位孔83成对分布，在托盘8上分布有多对尺寸定位孔83，分布的数量根据需求进行设计和加工，每对尺寸定位孔83对应不同尺寸的定位器84，也就相应的对不同尺寸的基板7进行定位，利用定位器84的夹角限定放入基板7的位置，使得基板7圆心与上方软膜6圆心上下对应。

承压板3的底面设有真空卡槽12，软膜6吸附于真空卡槽12下方，真空卡槽12内设有连通承压板3外部的连通孔，这些连通孔与外界的真空泵或抽气泵相连通，当真空泵或抽气泵连通电源开始工作时，通过连通孔抽出真空卡槽12内的空气，利用真空吸附效果吸附铺设在真空卡槽12上的基板7。

操作过程：

(1)将软膜6取好中点，打开线光源发射器5，显示中心定位标记14，将软膜6中点与中心定位标记14对准，通过真空吸附在承压板3下方；将相应尺寸的定位器84插入对应定位孔83，将基片7定位好中心吸附在托盘8上，然后将定位器84取下；

(2)将光刻胶定量滴在基片7中心位置，打开电机11驱动升降装置10使基片7匀速与软膜6平行接触，使得光刻胶均匀摊开；

(3)根据胶体类型选择打开紫外灯2或加热盘10使胶体充分固化，例如UV胶水需要紫外灯2进行固化；

(4)脱模，打开电机11驱动升降装置10使基片7匀速与软膜6分离。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种精准定位的纳米压印设备，包括腔体(1)，且腔体(1)设有铰接的门，其特征在于：所述腔体(1)内壁顶面中部固定装配有支架(4)，所述支架(4)下端固定装配有承压板(3)，所述腔体(1)的内腔顶部固定装配有紫外灯(2)，且紫外灯(2)位于承压板(3)正上方，所述承压板(3)的中部开设有观察窗(13)，所述承压板(3)顶部四角处固定安装有线光源发射器(5)，所述线光源发射器(5)的光线于承压板(3)中心位置交汇形成荧光标记(14)，所述承压板(3)的底面吸附有软膜(6)，所述腔体(1)内腔底面中部固定装配有电机(11)，且电机(11)上固定装配有匹配的升降装置(10)，所述升降装置(10)的上端固定装配有加热底盘(9)，所述加热底盘(9)的上端固定装配有托盘(8)，所述托盘(8)上端插接有定位器(84)，所述托盘(8)上端吸附有基板(7)，且基板(7)卡接于定位器(84)内侧，所述基板(7)与软膜(6)平行、且上下对应。

2.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述托盘(8)的顶面开设有环形真空槽(81)，且环形真空槽(81)的数量至少为两个，所述环形真空槽(81)上吸附有基板(7)，所述环形真空槽(81)内均匀开设有微孔(82)，且微孔(82)通过通道与托盘(8)外部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述托盘(8)边缘设有尺寸定位孔(83)，所述尺寸定位孔(83)内插接有定位器(84)，所述定位器(84)由两个一体形成的细杆组成，所述定位器(84)的两个细杆之间夹角为120度，所述定位器(84)细杆的内壁均与基板(7)外侧壁贴合。

4.根据权利要求1所述的一种精准定位的纳米压印设备，其特征在于：所述承压板(3)的底面设有真空卡槽(12)，所述软膜(6)吸附于真空卡槽(12)下方，所述真空卡槽(12)内设有连通承压板(3)外部的连通孔。

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