CN210803968U - 一种新型滴胶纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种新型滴胶纳米压印设备，包括：外壳；底座，位于外壳的底端；加热板，安装于底座上；托板，位于加热板上，托板上开设有多个真空槽，部分真空槽内开设有真空孔，真空孔与外接的真空泵A通过气管连接；压板，位于托板上方，压板中间开设有透视窗，在托板的下表面上开设有环形真空槽，环形真空槽内开设有气孔，气孔通过气管与外接的真空泵B连接；升降装置，升降装置的底端与底座连接，顶端与压板连接，升降装置上设置有微调整单元；滴胶装置，包括旋转臂，旋转臂上设置有滴胶针头，与滴胶针头通过胶管连接有胶桶，与胶桶连接有推拉杆；紫外灯，位于压板上方的外壳内侧。本实用新型能够防止气泡的产生，提高成品率，降低了成本。

Description

一种新型滴胶纳米压印设备

技术领域

本实用新型属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种新型滴胶纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是华裔科学家周郁在1995年发明的一项成本低廉、分辨率高的光刻技术。在纳米压印中，只需要用一次压印就可以大量生产复制品，因此纳米图案复制领域一直是各国科学家研究的热点。

目前，现有的压印设备在滴胶压印过程中，常常容易产生气泡，尤其在采用比较稀的胶液时，由于滴胶完成后胶液扩散速度快，很容易出现多个接触点，从而产生气泡。

发明内容

本实用新型针对上述的技术问题，提出一种新型滴胶纳米压印设备，其能够防止气泡的产生，提高压印的成品率，降低了生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种新型滴胶纳米压印设备，包括：

外壳；

底座，位于所述外壳内侧的底部；

加热板，安装于所述底座上；

托板，位于所述加热板上，所述托板上开设有多个真空槽，基板位于所述托板的上表面，所述部分真空槽内开设有真空孔，所述真空孔与外接的真空泵A通过气管连接，基板放置在所述托板的上表面通过所述真空泵A产生的负压吸附在所述托板上；

压板，位于所述托板上方，所述压板中间开设有透视窗，在所述托板的下表面上开设有环形真空槽用于固定模板，所述环形真空槽内开设有气孔，所述气孔通过气管与外接的真空泵B连接；

升降装置，所述升降装置的底端与所述底座连接，所述升降装置的顶端与所述压板连接用于驱动所述压板竖向移动，所述升降装置上设置有微调整单元用于调节所述压板与所述托板之间的平行度使所述压板与所述托板之间保持平行；

滴胶装置，包括可旋转的旋转臂，所述旋转臂上设置有滴胶针头，与所述滴胶针头通过胶管连接有用于盛放胶液的胶桶，与胶桶连接有可对胶桶内的胶液施压的推拉杆；

紫外灯，位于所述压板上方的外壳内侧，与所述外壳连接可透过所述透视窗对胶液固化。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，所述滴胶纳米压印设备还包括控制器，所述控制器与所述加热板、所述真空泵A，所述真空泵B、所述升降装置、所述微调整单元以及所述紫外灯电性连接。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，与所述加热板连接有温度传感器，所述温度传感器与所述控制器电性连接。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，所述升降装置包括竖向设置在所述底座上的两丝杠，所述丝杠通过电机驱动，在所述压板上连接有螺母，所述螺母与所述丝杠螺纹连接。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，所述微调整单元为设置在所述压板上的直线位移光栅。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，所述旋转臂包括横向设置的横向支撑臂以及竖向设置的竖向支撑臂，所述滴胶针头位于横向支撑臂远离所述竖向支撑臂的一端，所述横向支撑臂与所述竖向支撑臂呈L型设置，在所述横向支撑臂与所述竖向支撑臂之间连接有第一调整螺母，在竖向支撑臂底端设置有第二调整螺母，所述第二调整螺母与所述外壳底部转动连接。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，与所述推拉杆连接有驱动机构。

作为优选的，上述新型滴胶纳米压印设备，所述驱动机构为气缸、液压缸或电动缸中的任意一种。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

通过控制压板与托板之间的高度，从而实现基板与模板的相互挤压与分离，以保证压印能够顺利进行；通过滴胶装置在基板上滴胶，同时在模板上滴一滴胶，制造接触点，防止气泡产生，大大提高了压印成功率，降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型内部结构示意图；

图2为托板的俯视图；

图3为压板的俯视图。

具体实施方式

下面，通过示例性的实施方式对本实用新型进行具体描述。然而应当理解，在没有进一步叙述的情况下，一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

一种新型滴胶纳米压印设备，参见图1至3，包括：

外壳1，外壳1上连接有开关门便于安装及检修元器件；

底座2，位于外壳1内侧的底部；

加热板3，安装于底座2上；

托板4，位于加热板3上，托板4上开设有多个同心的环形的真空槽41用于固定基板5，基板5位于托板4的上表面，基板5为硅片或玻璃，部分真空槽41内开设有真空孔42，其余真空槽43用于收集压印过程中产生的废胶液，真空孔42与外接的真空泵A通过气管连接，真空泵A为现有技术，在图中未给出，基板5放置在托板4的上表面通过真空泵A产生的负压吸附在托板4上；

压板6，位于托板4上方，压板6中间开设有透视窗61，透视窗61由透明质玻璃制成，在托板4的下表面上开设有环形真空槽62用于固定模板7，模板7为软膜，软膜采用高分子聚合物，可为聚酯、聚乙烯或聚碳酸酯，环形真空槽62内开设有气孔63，气孔63通过气管与外接的真空泵B连接，真空泵B为现有技术，在图中未给出；

升降装置8，升降装置8的底端与底座2转动连接，升降装置8的顶端与压板6连接用于驱动压板6竖向移动，升降装置8上设置有微调整单元81用于调节压板6与托板4之间的平行度使压板6与托板4之间保持平行；

滴胶装置9，包括可旋转的旋转臂91，旋转臂91上设置有滴胶针头92，与滴胶针头92通过胶管连接有用于盛放胶液的胶桶93，胶桶93放置在保护盒94中方便更换胶液又避免胶液被污染，与胶桶93连接有可对胶桶93内的胶液施压的推拉杆95，滴胶装置9在基板5上滴胶液，同时在模板7上滴一滴胶，制造接触点；

紫外灯10，位于压板6上方的外壳1内侧，与外壳1连接可透过透视窗61对基板5与模板7之间的胶液固化；

通过控制压板6与托板4之间的高度，从而实现基板5与模板7的相互挤压与分离，以保证压印能够顺利进行；通过滴胶装置9在基板5上滴胶，同时在模板7上滴一滴胶，制造接触点，防止气泡产生，大大提高了压印成功率，降低了生产成本。

进一步的，为了实现自动控制，滴胶纳米压印设备还包括控制器，控制器与加热板3、真空泵A，真空泵B、升降装置8、微调整单元81以及紫外灯10电性连接，控制器采用MCU控制或PLC控制。

为了检测加热板3的温度，与加热板3连接有温度传感器，温度传感器与控制器电性连接用于检测加热盘3的温度是否精准。

升降装置具体结构包括竖向设置在底座2上的两丝杠82，丝杠82通过电机83驱动，在压板6上开设有通孔，丝杠82穿过通孔，在通孔上方与压板6连接有螺母84，螺母84与丝杠82螺纹连接。

微调整单元81具体为设置在压板6上的直线位移光栅。

旋转臂91包括横向设置的横向支撑臂911以及竖向设置的竖向支撑臂912，滴胶针头92位于横向支撑臂911远离竖向支撑臂912一端，横向支撑臂911与竖向支撑臂912呈L型设置，在横向支撑臂911与竖向支撑臂912之间连接有第一调整螺母913用于实现滴胶针头92上下转动，在竖向支撑臂912底端设置有第二调整螺母914用于实现滴胶针头92左右转动，第二调整螺母914与外壳1底部转动连接，本实施例中采用手动调节，为了实现自动化控制，第一调整螺母913与第二调整螺母914可以分别采用电机驱动，具体在螺母上连接齿轮，通过电机驱动齿轮实现。

为了实现滴胶装置9的自动滴胶，与推拉杆95连接有驱动机构96，驱动机构96为气缸、液压缸或电动缸中的任意一种。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种新型滴胶纳米压印设备，其特征在于，包括：

外壳；

底座，位于所述外壳内侧的底部；

加热板，安装于所述底座上；

托板，位于所述加热板上，所述托板上开设有多个真空槽，基板位于所述托板的上表面，所述部分真空槽内开设有真空孔，所述真空孔与外接的真空泵A通过气管连接；

压板，位于所述托板上方，所述压板中间开设有透视窗，在所述托板的下表面上开设有环形真空槽用于固定模板，所述环形真空槽内开设有气孔，所述气孔通过气管与外接的真空泵B连接；

升降装置，所述升降装置的底端与所述底座连接，所述升降装置的顶端与所述压板连接用于驱动所述压板竖向移动，所述升降装置上设置有微调整单元用于调节所述压板与所述托板之间的平行度使所述压板与所述托板之间保持平行；

滴胶装置，包括可旋转的旋转臂，所述旋转臂上设置有滴胶针头，与所述滴胶针头通过胶管连接有用于盛放胶液的胶桶，与胶桶连接有可对胶桶内的胶液施压的推拉杆；

紫外灯，位于所述压板上方的外壳内侧，与所述外壳连接可透过所述透视窗对胶液固化。

2.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述滴胶纳米压印设备还包括控制器，所述控制器与所述加热板、所述真空泵A，所述真空泵B、所述升降装置、所述微调整单元以及所述紫外灯电性连接。

3.根据权利要求2所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：与所述加热板连接有温度传感器，所述温度传感器与所述控制器电性连接。

4.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述升降装置包括竖向设置在所述底座上的两丝杠，所述丝杠通过电机驱动，在所述压板上连接有螺母，所述螺母与所述丝杠螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述微调整单元为设置在所述压板上的直线位移光栅。

6.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述旋转臂包括横向设置的横向支撑臂以及竖向设置的竖向支撑臂，所述滴胶针头位于横向支撑臂远离所述竖向支撑臂的一端，所述横向支撑臂与所述竖向支撑臂呈L型设置，在所述横向支撑臂与所述竖向支撑臂之间连接有第一调整螺母，在竖向支撑臂底端设置有第二调整螺母，所述第二调整螺母与所述外壳底部转动连接。

7.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：与所述推拉杆连接有驱动机构。

8.根据权利要求7所述的新型滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述驱动机构为气缸、液压缸或电动缸中的任意一种。

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