CN211178254U - 半导体晶棒直径测量辅助装置 - Google Patents

Abstract

一种半导体晶棒直径测量辅助装置，包括基座、旋转台、定位销、卡尺夹具，旋转台同轴安装在基座的上表面，旋转台与基座转动连接，定位销为柱状，定位销沿旋转台的周向布置，卡尺夹具为两个，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置可以辅助作业人员使用游标卡尺测量晶棒，定位销的设置能保证晶棒的轴线与旋转台的轴线同轴，使得晶棒的轴线位置得以精准的确定，利用旋转台将晶棒转动不同角度进行测量，既能保证测量的准确度，而且能及时发现圆度不合格的晶棒，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置，不需要人员翻动晶棒，避免了晶棒出现磕碰状况，进而导致晶棒崩边，或者造成隐裂的问题，测量误差小、测量时间短、生产效率高、过程能力高。

Description

半导体晶棒直径测量辅助装置

技术领域

本实用新型涉及单晶棒测量设备技术领域，特别涉及一种半导体晶棒直径测量辅助装置。

背景技术

晶棒在滚磨加工完成后，需要对滚磨后的直径进行测量，但是晶棒直径测量使用的计量器具主要为游标卡尺或千分尺，而采用游标卡尺或千分尺存在如下问题：其一，使用千分尺测量时，晶棒轴线在测量时难以寻找，导致直径测量误差较大，测量时间较长，生产效率低下，过程能力偏低；其二，游标卡尺在测量过程中，会出现不能和晶棒形成切垂直的问题，直径偏大，其三，利用游标卡尺手动测量时，需要人员翻动晶棒，易出现磕碰状况，导致晶棒崩边，或者造成隐裂。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种测量误差小、测量时间短、生产效率高、过程能力高的半导体晶棒直径测量辅助装置。

一种半导体晶棒直径测量辅助装置，包括基座、旋转台、定位销、卡尺夹具，所述旋转台、基座均为圆盘状，所述旋转台同轴安装在基座的上表面，所述旋转台的直径小于基座的直径，所述旋转台与基座转动连接，所述定位销为柱状，所述定位销安装在基座的上表面，所述定位销的轴线方向与旋转台的轴线方向平行，所述定位销不少于两个，所述定位销沿旋转台的周向布置，所述卡尺夹具为两个，两个卡尺夹具设置于旋转台的两侧，每一个卡尺夹具距离旋转台的圆心距离相等，两个卡尺夹具之间的连线通过旋转台的圆心，所述卡尺夹具包括滑杆、第一滑块、夹持头，所述滑杆竖直设置，所述第一滑块可沿滑杆上下滑动，所述夹持头与第一滑块连接，一个卡尺夹具的夹持头用于夹住游标卡尺的一个量爪，另一个卡尺夹具的夹持头用于夹住游标卡尺的另一个量爪。

优选的，所述半导体晶棒直径测量辅助装置还包括底座，所述底座为圆盘状，所述基座固定安装于底座上，在底座上固定安装有三块固定基，所述固定基沿底座的周向均布，所述基座固定安装于固定基上，所述滑杆的上端为自由端，所述滑杆的下端与底座固定连接。

优选的，在底座上固定安装有三块固定块，三块固定块沿底座的径向直线布置，三块固定块的连线与两个卡尺夹具的连线共线，在底座还设有第一轨道，所述第一轨道的延伸方向与三块固定块的连线方向一致，固定块上设有安装孔，所述半导体晶棒直径测量辅助装置还包括水平推进机构，所述水平推进机构包括丝杆、第二滑块，所述丝杆依次穿过三个固定块的安装孔，并与三块固定块转动连接，第二滑块与第一轨道滑动配合，所述第二滑块套装在丝杆上，转动丝杆，所述第二滑块沿第一轨道往复滑动，其中一个卡尺夹具的滑杆的下端与第二滑块固定连接。

优选的，所述定位销为两个，两个定位销均位于旋转台周向的四分点上。

优选的，所述定位销为三个，三个定位销均位于旋转台周向的四分点上。

优选的，所述定位销为四个，四个定位销沿旋转台的周向均布。

优选的，所述定位销的两端面边缘倒圆角。

优选的，在所述旋转台上设有多个销孔，所述销孔沿旋转台的圆心成同心圆分布，所述销孔的内径等于定位销的外径。

优选的，在旋转台的径向上，相邻两个销孔之间的距离为1寸。

优选的，所述夹持头包括上夹持板、下夹持板，所述上夹持板、下夹持板相向运行以将游标卡尺的量爪夹紧。

利用该半导体晶棒直径测量辅助装置可以辅助作业人员使用游标卡尺测量晶棒，待测量的晶棒安装在旋转台，在旋转台的周向设置有定位销，定位销的设置能保证晶棒的轴线与旋转台的轴线同轴，使得晶棒的轴线位置得以精准的确定，利用旋转台将晶棒转动不同角度进行测量，既能保证测量的准确度，而且能及时发现圆度不合格的晶棒，两个卡尺夹具的连线通过圆心，确保了游标卡尺与晶棒相切垂直，保证了测量的精度，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置，不需要人员翻动晶棒，避免了晶棒出现磕碰状况，进而导致晶棒崩边，或者造成隐裂的问题，测量误差小、测量时间短、生产效率高、过程能力高，游标卡尺夹装在夹持头上，夹持头固定安装在第一滑块，游标卡尺在第一滑块的带动下沿滑杆上下自由移动，保证了晶棒不同高度圆度的检测和直径的测量。

附图说明

图1为所述半导体晶棒直径测量辅助装置的主视图。

图2为所述半导体晶棒直径测量辅助装置的俯视图。

图中：晶棒10、基座20、旋转台30、销孔31、定位销40、卡尺夹具50、滑杆51、第一滑块52、夹持头53、上夹持板531、下夹持板532、底座60、固定基61、固定块62、第一轨道63、水平推进机构70、丝杆71、第二滑块72。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

参见图1和图2，本实用新型实施例提供了一种半导体晶棒直径测量辅助装置，包括基座20、旋转台30、定位销40、卡尺夹具50，旋转台30、基座20均为圆盘状，旋转台30同轴安装在基座20的上表面，旋转台30的直径小于基座20的直径，旋转台30与基座20转动连接，定位销40为柱状，定位销40安装在基座20的上表面，定位销40的轴线方向与旋转台30的轴线方向平行，定位销40不少于两个，定位销40沿旋转台30的周向布置，卡尺夹具50为两个，两个卡尺夹具50设置于旋转台30的两侧，每一个卡尺夹具50距离旋转台30的圆心距离相等，两个卡尺夹具50之间的连线通过旋转台30的圆心，卡尺夹具50包括滑杆51、第一滑块52、夹持头53，滑杆51竖直设置，第一滑块52可沿滑杆51上下滑动，夹持头53与第一滑块52连接，一个卡尺夹具50的夹持头53用于夹住游标卡尺的一个量爪，另一个卡尺夹具50的夹持头53用于夹住游标卡尺的另一个量爪。

利用该半导体晶棒直径测量辅助装置可以辅助作业人员使用游标卡尺测量晶棒10，待测量的晶棒10安装在旋转台30，在旋转台30的周向设置有定位销40，定位销40的设置能保证晶棒10的轴线与旋转台30的轴线同轴，使得晶棒10的轴线位置得以精准的确定，利用旋转台30将晶棒10转动不同角度进行测量，既能保证测量的准确度，而且能及时发现圆度不合格的晶棒10，两个卡尺夹具50的连线通过圆心，确保了游标卡尺与晶棒10相切垂直，保证了测量的精度，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置，不需要人员翻动晶棒10，避免了晶棒10出现磕碰状况，进而导致晶棒10崩边，或者造成隐裂的问题，测量误差小、测量时间短、生产效率高、过程能力高，游标卡尺夹装在夹持头53上，夹持头53固定安装在第一滑块52，游标卡尺在第一滑块52的带动下沿滑杆51上下自由移动，保证了晶棒10不同高度圆度的检测和直径的测量。

参见图1和图2，进一步，半导体晶棒直径测量辅助装置还包括底座60，底座60为圆盘状，基座20固定安装于底座60上，在底座60上固定安装有三块固定基61，固定基61沿底座60的周向均布，基座20固定安装于固定基61上，滑杆51的上端为自由端，滑杆51的下端与底座60固定连接。

参见图1和图2，进一步，在底座60上固定安装有三块固定块62，三块固定块62沿底座60的径向直线布置，三块固定块62的连线与两个卡尺夹具50的连线共线，在底座60还设有第一轨道63，第一轨道63的延伸方向与三块固定块62的连线方向一致，固定块62上设有安装孔，半导体晶棒直径测量辅助装置还包括水平推进机构70，水平推进机构70包括丝杆71、第二滑块72，丝杆71依次穿过三个固定块62的安装孔，并与三块固定块62转动连接，第二滑块72与第一轨道63滑动配合，第二滑块72套装在丝杆71上，转动丝杆71，第二滑块72沿第一轨道63往复滑动，其中一个卡尺夹具50的滑杆51的下端与第二滑块72固定连接。

参见图1和图2，进一步，定位销40为两个，两个定位销40均位于旋转台30周向的四分点上。

参见图1和图2，进一步，定位销40为三个，三个定位销40均位于旋转台30周向的四分点上。

参见图1和图2，进一步，定位销40为四个，四个定位销40沿旋转台30的周向均布。

参见图1和图2，进一步，定位销40的两端面边缘倒圆角。

本实施例中，定位销40的两端面边缘倒圆角可避免定位销40尖锐边缘刮伤晶棒10的表面。

参见图1和图2，进一步，在旋转台30上设有多个销孔31，销孔31沿旋转台30的圆心成同心圆分布，销孔31的内径等于定位销40的外径。

参见图1和图2，进一步，在旋转台30的径向上，相邻两个销孔31之间的距离为1寸。

本实施例中，销孔31同心圆分布，且相邻两个销孔31之间的距离设置为1寸，能适用不同规格晶棒10的测量，适用性强。

参见图1和图2，进一步，夹持头53包括上夹持板531、下夹持板532，上夹持板531、下夹持板532相向运行以将游标卡尺的量爪夹紧。

在一个具体的实施例中，卡尺夹具50还包括第二轨道，第二轨道的长度方向与旋转台30的径向平行，第二轨道与第一滑动固定连接，夹持头53可沿第二轨道往复直线滑动。

本实施例中，当晶棒10测量完毕后，将游标卡尺相对晶棒10沿第二轨道拉开，避免了反复安装游标卡尺带来的不便。

在一个具体的实施例中，卡尺夹具50还包括第三轨道，第三轨道的长度方向与第二轨道的长度方向垂直，第三轨道与第一滑动固定连接，第二轨道可沿第三轨道往复直线滑动，夹持头53可沿第二轨道往复直线滑动。

在一个具体的实施例中，第一滑块52受外力可沿滑杆51上下滑动，第一滑块52不受外力与滑杆51相对固定，第二轨道受外力可沿第三轨道滑动，第二滑块72不受外力与第三轨道相对固定。

本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：包括基座、旋转台、定位销、卡尺夹具，所述旋转台、基座均为圆盘状，所述旋转台同轴安装在基座的上表面，所述旋转台的直径小于基座的直径，所述旋转台与基座转动连接，所述定位销为柱状，所述定位销安装在基座的上表面，所述定位销的轴线方向与旋转台的轴线方向平行，所述定位销不少于两个，所述定位销沿旋转台的周向布置，所述卡尺夹具为两个，两个卡尺夹具设置于旋转台的两侧，每一个卡尺夹具距离旋转台的圆心距离相等，两个卡尺夹具之间的连线通过旋转台的圆心，所述卡尺夹具包括滑杆、第一滑块、夹持头，所述滑杆竖直设置，所述第一滑块可沿滑杆上下滑动，所述夹持头与第一滑块连接，一个卡尺夹具的夹持头用于夹住游标卡尺的一个量爪，另一个卡尺夹具的夹持头用于夹住游标卡尺的另一个量爪。

2.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述半导体晶棒直径测量辅助装置还包括底座，所述底座为圆盘状，所述基座固定安装于底座上，在底座上固定安装有三块固定基，所述固定基沿底座的周向均布，所述基座固定安装于固定基上，所述滑杆的上端为自由端，所述滑杆的下端与底座固定连接。

3.如权利要求2所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：在底座上固定安装有三块固定块，三块固定块沿底座的径向直线布置，三块固定块的连线与两个卡尺夹具的连线共线，在底座还设有第一轨道，所述第一轨道的延伸方向与三块固定块的连线方向一致，固定块上设有安装孔，所述半导体晶棒直径测量辅助装置还包括水平推进机构，所述水平推进机构包括丝杆、第二滑块，所述丝杆依次穿过三个固定块的安装孔，并与三块固定块转动连接，第二滑块与第一轨道滑动配合，所述第二滑块套装在丝杆上，转动丝杆，所述第二滑块沿第一轨道往复滑动，其中一个卡尺夹具的滑杆的下端与第二滑块固定连接。

4.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述定位销为两个，两个定位销均位于旋转台周向的四分点上。

5.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述定位销为三个，三个定位销均位于旋转台周向的四分点上。

6.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述定位销为四个，四个定位销沿旋转台的周向均布。

7.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述定位销的两端面边缘倒圆角。

8.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：在所述旋转台上设有多个销孔，所述销孔沿旋转台的圆心成同心圆分布，所述销孔的内径等于定位销的外径。

9.如权利要求8所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：在旋转台的径向上，相邻两个销孔之间的距离为1寸。

10.如权利要求1所述的半导体晶棒直径测量辅助装置，其特征在于：所述夹持头包括上夹持板、下夹持板，所述上夹持板、下夹持板相向运行以将游标卡尺的量爪夹紧。

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